CN205129541U - 双轨驱动的晶片磨平机 - Google Patents
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Abstract
双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架上安装有固定盘，固定盘的上表面安装圆环形的下磨片盘，固定盘的中心安装有中心转轴，中心转轴的上部安装有中心驱动齿轮，在下磨片盘的外围安装有环形齿圈，在下磨片盘上安装有多个圆形的磨片座，磨片座的外齿与中心驱动齿轮的外齿、环形齿圈的内齿啮合，在上支架的上方安装有气缸，气缸下端安装有上磨片盘，在环形齿圈的下端安装有多个滚针轴承，在环形齿圈的内侧下方，安装有侧转轴，侧转轴的上端安装有侧驱动齿轮，侧驱动齿轮与环形齿圈的内齿啮合。采用本技术方案，当环形齿圈与中心驱动齿轮的转动方向相反时，卡在环形齿圈与中心驱动齿轮之间的磨片座的运动速度会大大加快，晶片的磨平速度大大加快。
Description
技术领域
本实用新型属于晶片打磨设备技术领域，涉及一种蓝宝石晶片的双轨驱动的晶片磨平机。
背景技术
现有技术中，人造蓝宝石晶片用双面打磨机进行磨平，双面打磨机的支撑架上安装有固定盘，固定盘的上表面安装圆环形的下磨片盘，固定盘下安装有磨片液的回流管，固定盘的中心安装有中心转轴，中心转轴的上部安装有中心驱动齿轮，中心转轴的下部通过传动齿轮连接中心驱动电机，在下磨片盘的外围安装有环形齿圈，在下磨片盘上安装有多个圆形的磨片座，磨片座上加工有晶片固定孔，磨片座的外齿与中心驱动齿轮的外齿、环形齿圈的内齿啮合，在支撑架的两侧安装有上支架，在上支架的上方安装有气缸，气缸下端安装有上磨片盘，上磨片盘上安装有磨片液的流入管。这种双面打磨机的磨片座仅由中心驱动齿轮带动，其运动速度较慢，设备的生产效率较低。
发明内容
为解决现有技术中采用双面打磨机对晶片表面进行精磨，磨片座的运动速度慢，设备的生产效率较低的问题，本实用新型提供一种双轨驱动的晶片磨平机，提高设备的生产效率。
实现本实用新型目的的技术方案是：一种双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架上安装有固定盘，固定盘的上表面安装圆环形的下磨片盘，固定盘下安装有磨片液的回流管，固定盘的中心安装有中心转轴，中心转轴的上部安装有中心驱动齿轮，中心转轴的下部通过传动齿轮连接中心驱动电机，在下磨片盘的外围安装有环形齿圈，在下磨片盘上安装有多个圆形的磨片座，磨片座上加工有晶片固定孔，磨片座的外齿与中心驱动齿轮的外齿、环形齿圈的内齿啮合，在支撑架的两侧安装有上支架，在上支架的上方安装有气缸，气缸下端安装有上磨片盘，上磨片盘上安装有磨片液的流入管，在环形齿圈的下端安装有多个滚针轴承，滚针轴承安装在支撑架上，在环形齿圈的内侧下方，安装有侧转轴，侧转轴的上端安装有侧驱动齿轮，侧驱动齿轮与环形齿圈的内齿啮合，侧转轴的下端通过传动齿轮与侧驱动电机连接。
采用本技术方案，磨片座的外齿与中心驱动齿轮的外齿和环形齿圈的内齿啮合，在中心齿轮转动，带动磨片座运动；另外，由于环形齿圈活动安装在滚针轴承上，侧驱动齿轮与环形齿圈的内齿啮合，当驱动电机工作时带动侧驱动齿轮转动，驱动齿轮再带动环形齿圈运动，当环形齿圈与中心驱动齿轮的转动方向相反时，卡在环形齿圈与中心驱动齿轮之间的磨片座的运动速度会大大加快，装在磨片座晶片固定孔内的晶片运动速度加快，其磨平速度大大加快，设备的生产效率大幅提高。
附图说明
图1为本实用新型的剖面结构示意图。
图2为图1中A—A向，磨片座在下磨片盘上的结构示意图。
具体实施方式
实施例：如图1和图2所示，一种双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架4上安装有固定盘5，固定盘5的上表面安装圆环形的下磨片盘6，固定盘5下安装有磨片液的回流管11，固定盘5的中心安装有中心转轴7，中心转轴7的上部安装有中心驱动齿轮9，中心转轴7的下部通过传动齿轮连接中心驱动电机8，在下磨片盘6的外围安装有环形齿圈12，在下磨片盘6上安装有多个圆形的磨片座15，磨片座15上加工有晶片固定孔14，磨片座15的外齿与中心驱动齿轮9的外齿、环形齿圈12的内齿啮合，在支撑架4的两侧安装有上支架13，在上支架13的上方安装有气缸18，气缸18下端安装有上磨片盘16，上磨片盘16上安装有磨片液的流入管17，在环形齿圈12的下端安装有多个滚针轴承10，滚针轴承10安装在支撑架4上，在环形齿圈12的内侧下方，安装有侧转轴2，侧转轴2的上端安装有侧驱动齿轮1，侧驱动齿轮1与环形齿圈12的内齿啮合，侧转轴2的下端通过传动齿轮与侧驱动电机3连接。
Claims (1)
1.双轨驱动的晶片磨平机，在其支撑架（4）上安装有固定盘（5），固定盘（5）的上表面安装圆环形的下磨片盘（6），固定盘（5）下安装有磨片液的回流管（11），固定盘（5）的中心安装有中心转轴（7），中心转轴（7）的上部安装有中心驱动齿轮（9），中心转轴（7）的下部通过传动齿轮连接中心驱动电机（8），在下磨片盘（6）的外围安装有环形齿圈（12），在下磨片盘（6）上安装有多个圆形的磨片座（15），磨片座（15）上加工有晶片固定孔（14），磨片座（15）的外齿与中心驱动齿轮（9）的外齿、环形齿圈（12）的内齿啮合，在支撑架（4）的两侧安装有上支架（13），在上支架（13）的上方安装有气缸（18），气缸（18）下端安装有上磨片盘（16），上磨片盘（16）上安装有磨片液的流入管（17），其特征在于：在环形齿圈（12）的下端安装有多个滚针轴承（10），滚针轴承（10）安装在支撑架（4）上，在环形齿圈（12）的内侧下方，安装有侧转轴（2），侧转轴（2）的上端安装有侧驱动齿轮（1），侧驱动齿轮（1）与环形齿圈（12）的内齿啮合，侧转轴（2）的下端通过传动齿轮与侧驱动电机（3）连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520936550.4U CN205129541U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 双轨驱动的晶片磨平机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520936550.4U CN205129541U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 双轨驱动的晶片磨平机 |
Publications (1)
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Family
ID=55615365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520936550.4U Active CN205129541U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 双轨驱动的晶片磨平机 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205129541U (zh) |
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2015
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| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
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