CN204792748U - 一种晶粒自动抓取装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶粒自动抓取装置，安装于晶圆自动目检机台，用于自动检测、抓取晶圆上的晶粒，包括夹具及与所述夹具连接的可升降旋转的横杆，其特征在于：所述夹具上设有感应元件和光学元件。通过本实用新型提供的晶粒自动抓取装置，可实现降低人力成本且同时提高芯片端良率与生产效率的功效。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种晶粒自动抓取装置。
背景技术
在实际生产中，为保证客户收到的产品的质量，晶粒在出货前需进行外观检测，以挑出外观具有脏污、划伤等缺陷晶粒。当前主要是人工先通过电子显微镜进行检测并确定缺陷晶粒的位置，后手动挑除缺陷晶粒。而以人工方式进行检测所耗费的检测成本较高，首先，需对挑选晶粒的人员进行详细的技能训练，才能有效利用显微镜检测出缺陷晶粒；其次，因晶粒品种众多，判断标准也较复杂，从而导致人工挑除晶粒过程中易误挑除良好晶粒，同时手动用镊子挑除缺陷晶粒作业时易造成晶粒的再次污染与刮伤。所以人工操作不仅造成产品良率偏低，而且工作效率低下，生产成本偏高，不适用于大规模生产的需求。
因此，亟需提供一种晶粒自动抓取装置，以提高芯片端良率、降低误判和误挑、提高工作效率和降低成本。
发明内容
本实用新型提供一种晶粒自动抓取装置，安装于晶圆自动目检机台，用于自动检测、抓取晶圆上的晶粒，包括夹具及与所述夹具连接的可升降旋转的横杆，其中，所述夹具上设有感应元件和光学元件。
优选的，所述夹具包括镊子。
优选的，所述镊子包括交叉固定的左臂和右臂。
优选的，所述左臂和右臂上端部通过弹簧连接。
优选的，所述光学元件为放大镜。
优选的，所述晶粒抓取装置还包括一控制装置。
优选的，所述光学元件为放大镜。
优选的，所述感应元件为位置感应器。
本实用新型中，所利用的晶圆自动目检机台包括晶圆料盒、光学检测装置、目检平台、晶粒收集装置和计算机装置，所述晶圆在晶圆料盒、光学检测装置和目检平台之间通过输送装置传输，所述目检平台与晶粒收集装置之间通过晶粒自动抓取装置连接。
优选的，所述光学检测装置为晶圆缺陷目检光学显微镜。
优选的，所述输送装置包括可升降旋转的机械手臂，所述机械手臂的数目大于等于2。
本实用新型提供的一种晶圆自动目检装置，其至少具有如下有益效果：1）将人工手动作业转换为机械自动化作业，提高了工作效率；2）人工自主判断晶粒外观转换为机台判断减少人员误判比例，提高芯片端良率，同时减少人员污染、误伤的比率；3）采用计算机控制装置，可以分析单张晶圆外观异常种类及数量，供工艺人员分析并对制程进行改善；4）采用晶粒抓取装置，准确定位、抓取缺陷晶粒。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。
图1本实用新型实施例之晶粒抓取装置侧视图。
图2本实用新型实施例之晶粒抓取装置部分结构示意图。
图3本实用新型实施例之自动目检装置俯视图。
附图标注：10.抓取装置；11.镊子；111.左臂；112.右臂；113.手柄；114.螺栓；115.弹簧；12.横杆；13.控制装置；14.感应器；15.放大镜；16.连杆；20.晶圆料盒；30.光学检测装置；40.目检平台；50.晶粒收集装置；60.计算机装置；70.输送装置；71.机械手臂；80.晶圆；90.机架。
具体实施方式
下面将参照附图对本实用新型作进一步的详细描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，为了清楚，不描述实际实施例的全部特征，且在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、清晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。因此，下列描述应当被理解为对本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
参看附图1，一种晶粒自动抓取装置10，包括夹具、与所述夹具连接的可升降旋转的横杆12和控制装置13，所述夹具优选为体积小且操作方便的镊子11；横杆12通过连杆16可分别在水平、竖直方向上旋转和升降，通过控制横杆12的升降和旋转来控制镊子11取放晶粒。为了准确抓取晶粒，镊子11上还设有感应元件和光学元件，其中，感应元件为晶粒位置感应器14，光学元件优选放大镜15，感应器14通过放大镜15的放大作用精确感应晶粒位置，控制装置13进而可以通过横杆12精确调整镊子11与晶粒的相对位置，防止误伤、误抓晶粒。
进一步地，参看附图2，镊子11包括左臂111和右臂112，左臂111、右臂112分别与手柄113的一端相连，手柄113的另一端连接有横杆12；具体地，左臂111与右臂112交叉处通过螺栓114固定，且可通过螺栓114固定处在水平方向上摆动，同时，左臂111、右臂112的上端通过弹簧115连接固定，从而对左臂111、右臂112的相对摆动起到限制作用，防止左臂111、右臂112在摆动过程中摆幅过大或过小而误伤良好晶粒；控制装置13通过控制横杆12来实现弹簧115的伸缩功能，进而实现晶粒的取放动作；为了不妨碍手柄113之间的相向移动，感应器14设置于手柄113外侧，放大镜15设置于左臂111与右臂112交叉处，且当左臂111、右臂112摆动时，放大镜15不随之摆动，感应器14通过放大镜15放大晶粒后感应缺陷晶粒位置。
本实用新型提供的晶粒自动抓取装置10，安装于晶圆自动目检机台，用于自动目检机台的终端晶粒抓取作业，节省现有人工手动剔除晶粒所产生的人工成本，同时提高效率，以实现全自动检测、剔除残缺晶粒作业。参看附图3，所述自动目检机台包括一机架90及安装于其上的晶圆料盒20、光学检测装置30、目检平台40、晶粒收集装置50和计算机装置60，晶圆80在晶圆料盒20、光学检测装置30和目检平台40之间通过输送装置70传输；晶粒自动抓取装置10位于目检平台40与晶粒收集装置50之间，用于抓取置于目检平台40上的晶粒至晶粒收集装置50。
其中，晶圆料盒20不少于2个，分别用于放置待目检晶圆80与已目检晶圆80’(附图未标出)；晶圆输送装置70包括可升降旋转的机械手臂71，机械手臂71的数目大于等于2，用于拾取晶圆料盒20中的待目检晶圆80至光学检测装置30；光学检测装置30为晶圆缺陷目检光学显微镜，经由检测可产生一检测资料并传送至计算机装置60，计算机装置60上的处理单元将检测资料与设定的标准资料对比，继而产生一对比信号，该对比信号记录待目检晶圆80上缺陷晶粒信息，计算机装置60的处理单元再把缺陷晶粒信息传输给抓晶粒自动抓取装置10，晶粒自动抓取装置10根据计算机传输给其的缺陷晶粒信息，首先为避免误伤晶粒，先设定镊子11下端间距大于待抓取缺陷晶粒尺寸，优选镊子11下端间距为待抓取缺陷晶粒尺寸的1.1倍；控制装置13控制横杆12升降，使镊子11下端分别位于待抓取缺陷晶粒两侧后，横杆12再使镊子11下端间距收缩至等于或小于晶粒尺寸，横杆旋转180°后将缺陷晶粒放置于晶粒收集装置50上，实现自动化生产，降低人力成本。
此外，计算机装置60内置的分析软件可以分析单张晶圆80上缺陷晶粒种类及数量，提供制程改善建议。其中机械手臂71之间相互配合工作，一条机械手臂71将位于光学检测装置30上已检测完毕的晶圆80输送至目检平台40时，另一机械手臂71则同时将晶圆料盒20内的晶圆80输送至光学检测装置30进行检测，提高工作效率。当然，若光学检测装置30检测产生的检测资料经处理单元对比后无缺陷晶粒信息，机械手臂71则直接将位于光学检测装置30上的待目检晶圆80传送至已目检的晶圆料盒20，节省操作流程，提高工作效率。
本实用新型提出的晶粒自动抓取装置，不仅减少了人工肉眼判断晶粒缺陷的误判比例，提高芯片端良率，同时减少人员污染、误伤的比率，且当出现特殊情况需要时，可将抓取的缺陷晶粒重新还原至原晶圆，防止缺陷晶粒的随意丢弃，不仅造成污染、而且浪费。
应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶粒自动抓取装置，安装于晶圆自动目检机台，用于自动检测、抓取晶圆上的晶粒，包括夹具接的可升降旋转的横杆，其特征在于：所述夹具上设有感应元件和光学元件。
2.根据权利要求1所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述夹具包括镊子。
3.根据权利要求2所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述镊子包括交叉固定的左臂和右臂。
4.根据权利要求3所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述左臂和右臂上端部通过弹簧连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述感应元件为位置感应器。
6.根据权利要求1所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述光学元件为放大镜。
7.根据权利要求1所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述晶粒自动抓取装置还包括一控制装置。
8.根据权利要求1所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述晶圆自动目检机台包括晶圆料盒、光学检测装置、目检平台、晶粒收集装置和计算机装置、输送装置，所述晶圆在晶圆料盒、光学检测装置和目检平台之间通过输送装置传输，所述目检平台与晶粒收集装置之间通过晶粒自动抓取装置连接。
9.根据权利要求8所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述光学检测装置为晶圆缺陷目检光学显微镜。
10.根据权利要求8所述的一种晶粒自动抓取装置，其特征在于：所述输送装置包括具备升降旋转功能的机械手臂，所述机械手臂的数目不少于2个。
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| CN201520491751.8U CN204792748U (zh) | 2015-07-09 | 2015-07-09 | 一种晶粒自动抓取装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106269585A (zh) * | 2016-07-14 | 2017-01-04 | 无锡宏纳科技有限公司 | 通过摄像头挑选不合格晶粒的仪器 |
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2015
- 2015-07-09 CN CN201520491751.8U patent/CN204792748U/zh active Active
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