CN204779918U - 一种坩埚托盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种坩埚托盘，包括托盘主体(1)，该托盘主体(1)包括与坩埚相接触的顶面(2)，以及与坩埚支撑杆相接触的底面(3)，所述顶面(2)的中央设有圆柱形凸起结构(4)，在圆柱形凸起结构(4)的外圆周上还设有一组呈环形布置的第一凹坑(5)。本实用新型通过对现有坩埚托盘的结构作出改进，在坩埚的顶面中央设置圆柱形凸起结构，并在圆柱形凸起结构的外圆周上布置一组呈环形布置的第一凹坑，减小了其与坩埚的接触面积，将原先的面-面接触改成面-线接触，在保证热场传导不受影响的前提下，确保其与坩埚在高温下不反应、不粘连。
Description
技术领域
本实用新型涉及改良泡生法用防粘连的新型坩埚托盘。
背景技术
在LED衬底及光学窗口材料领域的晶体生长方法中，泡生法是世界公认的最适合大规模工业化生产的一种方法。目前泡生法一般采用控制功率或者电压来控制热场温度，长晶过程很少甚至不提拉晶体，整个晶体生长过程都处于热区中，整个工艺过程持续时间较长。此时，热场中部件，如坩埚、坩埚托盘和坩埚支撑杆等部件受结构的影响会因高温下的相互挥发极易发生粘连，这就使得热场维护及拆装炉过程中容易引起设备部件的损坏。
鉴于此，如何设计开发一种新型坩埚托盘，以防止坩埚、坩埚托盘和坩埚支撑杆相互粘连，已成为本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
为了克服上述问题，本实用新型提供一种坩埚托盘，通过结构调整，在保证热场传导不受影响的前提下，确保其与坩埚在高温下不反应、不粘连。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种坩埚托盘，包括托盘主体，该托盘主体包括与坩埚相接触的顶面，以及与坩埚支撑杆相接触的底面，在顶面的中央设有圆柱形凸起结构，在圆柱形凸起结构的外圆周上还设有一组呈环形布置的第一凹坑，各个第一凹坑等距间隔布置。作为本实用新型的进一步优选，坩埚托盘的材料选用耐高温且稳定性极强的材料。
作为本实用新型的进一步优选，上述凸起结构与第一凹坑之间还设有一组呈环形布置的第二凹坑。
作为本实用新型的进一步优选，第一凹坑的个数为12～15个，第二凹坑的个数为12～15个。
作为本实用新型的更进一步优选，所述底面上还开设有限制坩埚支撑杆移动的限位凹槽。
本实用新型与现有技术相比，其优点在于：
本实用新型通过对现有坩埚托盘的结构作出改进，在坩埚的顶面中央设置圆柱形凸起结构，并在圆柱形凸起结构的外圆周上布置一组呈环形布置的第一凹坑，减小了其与坩埚的接触面积，将原先的面-面接触改成面-线接触，极大的避免坩埚与坩埚托盘粘连的可能。此外，在圆柱形凸起结构与第一凹坑之间还布置有第二凹坑，可有效防止因第一凹坑在长期使用后变形导致坩埚与坩埚托盘粘连的发生。
以下将结合附图和实施例，对本实用新型进行较为详细的说明。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的俯视图。
图中，1、托盘主体；2、顶面；3、底面；4、凸起结构；5、第一凹坑；6、第二凹坑；7、限位凹槽。
具体实施方式
实施例，请参阅图1，一种坩埚托盘，其包括托盘主体1，该托盘主体1包括与坩埚相接触的顶面2，以及与坩埚支撑杆相接触的底面3。在顶面2的中央设有圆柱形凸起结构4。上述托盘主体1整体呈上部大、下部小的收口状，在底面3上还开设有限位凹槽7。
请参阅图2，在托盘主体的顶面2的中央位置设有圆柱形凸起结构4，当然凸起结构4也可为其他形状，并不限于圆柱形，其形状与坩埚形状相适配。在圆柱形凸起结构4的外圆周上还设有一组呈环形布置的第一凹坑5，该第一凹坑5的个数为15个，且第一凹坑等距间隔布置，且彼此不相干涉。在凸起结构4与第一凹坑5之间还设有一组呈环形布置的第二凹坑6，该第二凹坑6的个数为15个，并且第二凹坑的大小略小于第一凹坑，15个第二凹坑等距间隔布置，且彼此不相干涉。第一凹坑5与第二凹坑6围绕圆柱形凸起结构4的圆形同心布置。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定，故在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型所述的构造、特征及原理所做的等效变化或装饰，如将环形布置的第一凹坑、第二凹坑对应修改成第一凸起、第二凸起以实现减小接触面积的目的，此类变换均应落入本实用新型的保护范围内。
Claims (4)
1.一种坩埚托盘，包括托盘主体(1)，该托盘主体(1)包括与坩埚相接触的顶面(2)，以及与坩埚支撑杆相接触的底面(3)，其特征在于：所述顶面(2)的中央设有圆柱形凸起结构(4)，在圆柱形凸起结构(4)的外圆周上还设有呈环形布置的一组第一凹坑(5)，各个第一凹坑(5)等距间隔布置。
2.如权利要求1所述坩埚托盘，其特征在于：所述凸起结构(4)与第一凹坑(5)之间还设有一组呈环形布置的第二凹坑(6)。
3.如权利要求2所述坩埚托盘，其特征在于：所述第一凹坑(5)的个数为12～15个，第二凹坑(6)的个数为12～15个。
4.如权利要求1至3任一项所述坩埚托盘，其特征在于：所述底面(3)上还开设有限制坩埚支撑杆移动的限位凹槽(7)。
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Cited By (4)
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