CN202297847U - 用于单晶炉封闭阀板的旋转机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉技术领域的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，包括：开阀气缸、转动块、转轴、限位块和连接杆，开阀气缸的缸筒与隔离阀阀体活动连接，开阀气缸的活塞杆与连接杆固定连接，连接杆与转动块活动连接，转动块和隔离阀阀体通过转轴串联连接，转动块与转轴固定连接，转轴与隔离阀阀体活动连接，转轴与封闭阀板固定连接，限位块用于限制转动块的转动位置且与隔离阀阀体固定连接，限位块和转动块设置于隔离阀阀体的同一侧面。本实用新型使阀板向下作90度翻转为完全打开状态且设置限位结构，能够使阀板至水平位置时为关闭状态。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种单晶炉技术领域的机构，具体是一种用于单晶炉封闭阀板的旋转机构。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
直拉式单晶炉采用直拉法生产硅单晶棒。生产时，当硅拉制成型后，需在上炉筒中冷却后取出，以避免高温硅棒暴露于大气中，影响硅棒质量，冷却时上炉筒需保持真空状态。
为了使上炉筒保持真空状态，单晶炉需要配置隔离阀，目前单晶炉的隔离阀阀板的旋转机构能够使阀板向上作90度翻转，即阀板至90度位置时为打开状态，阀板至水平位置时为关闭状态，但是，阀板向上翻转，容易与晶棒发生碰撞，如果要避免碰撞，隔离阀体的垂直方向尺寸就必须增大，这样会使整机高度增加。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于克服上述用于单晶炉隔离阀阀板的旋转机构的缺陷，从而提供一种用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，以达到使阀板向下作90度翻转为完全打开状态且设置限位结构，能够使阀板至水平位置时为关闭状态。
为达到上述目的，本实用新型的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构包括：开阀气缸、转动块、转轴、限位块和连接杆，其中：开阀气缸的缸筒与隔离阀阀体活动连接，开阀气缸的活塞杆与连接杆固定连接，连接杆与转动块活动连接，转动块和隔离阀阀体通过转轴串联连接，转动块与转轴固定连接，转轴与隔离阀阀体活动连接，转轴与封闭阀板固定连接，限位块用于限制转动块的转动位置且与隔离阀阀体固定连接，限位块和转动块设置于隔离阀阀体的同一侧面。
所述的开阀气缸为SMC的标准型双作用气缸。
所述的转动块的横截面为镜像对称的图形，该横截面包括：气缸圆弧段、两个镜像对称的直线段和连接轴圆弧段，其中：直线段的两端分别与气缸圆弧段和连接轴圆弧段连接。
所述的转动块与连接杆连接，该连接的中心点与气缸圆弧段的圆心共线。
所述的转动块与隔离阀阀体固定连接，该固定连接的中心点与连接轴圆弧段的圆心共线。
所述的限位块的横截面为长方形，该长方形结构的长边与水平面所成的角度小于90度。
本实用新型工作时，当打开封闭阀板时，启动开阀气缸，使开阀气缸的活塞杆伸入缸筒中，转动块带动转轴转动，转轴带动封闭阀板转动，封闭阀板向下打开。活塞杆在缸筒中的运动行程能够限制转动块的旋转角度，从而控制转轴的旋转角度，使阀板组件向下打开状态的极限位置是向下旋转90度。限位块用于限制转动块的转动位置，即限制了转轴旋转的极限角度，使封闭阀板向下打开状态时的极限位置是向下旋转90度。
当关闭封闭阀板时，启动开阀气缸，使开阀气缸的活塞杆伸出缸筒中，转动块带动转轴转动，转轴带动封闭阀板转动，封闭阀板向上关闭，处于水平位置。
本实用新型的转动块的截面直线段所在的侧面在转动块向开阀气缸转动的过程中会碰到限位块的横截面的长方形的长边所在的侧面，转动块与限位块结合达到限位功能，使本旋转机构在开阀气缸限位实效的情况下，仍能够保证对封闭阀板运行位置的限位。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的封闭阀板工作状态剖视图，其中：图(a)为封闭阀板打开状态图，图(b)为封闭阀板关闭状态图。
具体实施方式
以下结合附图以具体实施例对本实用新型的技术特征作进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。
实施例1
如图1所示，本实用新型的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构包括：开阀气缸1、转动块2、转轴3、限位块4和连接杆5，其中：开阀气缸1的缸筒6与隔离阀阀体7活动连接，开阀气缸1的活塞杆9与连接杆5固定连接，连接杆5与转动块2活动连接，转动块2和隔离阀阀体7通过转轴3串联连接，转动块2与转轴3固定连接，转轴3与隔离阀阀体7活动连接，转轴3与封闭阀板8固定连接，限位块4用于限制转动块2的转动位置且与隔离阀阀体7固定连接。
所述的开阀气缸1为SMC的标准型双作用气缸。
所述的转动块2的横截面为镜像对称的图形，该横截面包括：气缸圆弧段11、两个镜像对称的直线段12和连接轴圆弧段13，其中：直线段12的两端分别与气缸圆弧段11和连接轴圆弧段13连接。
所述的转动块2与连接杆5连接，该连接的中心点与气缸圆弧段11的圆心共线。
所述的转动块2与隔离阀阀体7固定连接，该固定连接的中心点与连接轴圆弧段13的圆心共线。
所述的限位块4和转动块2设置于隔离阀阀体7的同一侧面。
所述的限位块4的横截面为长方形，该长方形结构的长边41与水平面所成的角度小于90度。
如图1和图2所示，本实用新型工作时，当打开封闭阀板8时，启动开阀气缸1，使开阀气缸1的活塞杆9伸入缸筒6中，转动块2带动转轴3转动，转轴3带动封闭阀板8转动，封闭阀板8向下打开。活塞杆9在缸筒6中的运动行程能够限制转动块2的旋转角度，从而控制转轴3的旋转角度，使阀板组件向下打开状态的极限位置是向下旋转90度。限位块4用于限制转动块2的转动位置，即限制了转轴3旋转的极限角度，使封闭阀板8向下打开状态时的极限位置是向下旋转90度。
当关闭封闭阀板8时，启动开阀气缸1，使开阀气缸1的活塞杆9伸出缸筒6中，转动块2带动转轴3转动，转轴3带动封闭阀板8转动，封闭阀板8向上关闭，处于水平位置。
本装置的转动块2的截面直线段12所在的侧面在转动块2向开阀气缸1转动的过程中会碰到限位块4的横截面的长方形的长边41所在的侧面，转动块2与限位块4结合达到限位功能，使本旋转机构在开阀气缸1限位失效的情况下，仍能够保证对封闭阀板8运行位置的限位。
Claims (4)
1.一种用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，包括：开阀气缸、转动块、转轴、限位块和连接杆，其特征在于，开阀气缸的缸筒与隔离阀阀体活动连接，开阀气缸的活塞杆与连接杆固定连接，连接杆与转动块活动连接，转动块和隔离阀阀体通过转轴串联连接，转动块与转轴固定连接，转轴与隔离阀阀体活动连接，转轴与封闭阀板固定连接，限位块用于限制转动块的转动位置且与隔离阀阀体固定连接，限位块和转动块设置于隔离阀阀体的同一侧面。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，其特征是，所述的开阀气缸为SMC的标准型双作用气缸。
3.根据权利要求1所述的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，其特征是，所述的转动块的横截面为镜像对称的图形，该横截面包括：气缸圆弧段、两个镜像对称的直线段和连接轴圆弧段，其中：直线段的两端分别与气缸圆弧段和连接轴圆弧段连接；
所述的转动块与连接杆连接，该连接的中心点与气缸圆弧段的圆心共线；
所述的转动块与隔离阀阀体固定连接，该固定连接的中心点与连接轴圆弧段的圆心共线。
4.根据权利要求1所述的用于单晶炉封闭阀板的旋转机构，其特征是，所述的限位块的横截面为长方形，该长方形结构的长边与水平面所成的角度小于90度。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN109253266A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-01-22 | 浙江晶阳机电有限公司 | 单晶炉隔离阀板移动装置 |
| CN114165602A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-03-11 | 新沂中大节能科技有限公司 | 一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构 |
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- 2011-10-09 CN CN 201120377331 patent/CN202297847U/zh not_active Expired - Lifetime
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| CN114165602A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-03-11 | 新沂中大节能科技有限公司 | 一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构 |
| CN114165602B (zh) * | 2022-02-14 | 2022-05-10 | 新沂中大节能科技有限公司 | 一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构 |
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