CN204769733U - 激光清洗机的结构 - Google Patents

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章尚仁
江尚伟
陈良波
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Abstract

本实用新型为有关一种激光清洗机的结构，主要结构包括一用于清洁薄膜式探针卡(Probe？Card)的激光产生装置、一位于该激光产生装置的激光照射路径上的机构平台，该机构平台供承载该薄膜式探针卡，以及一设于该激光产生装置一侧供显示激光光点处的影像的影像捕获设备。借上述结构，将待清洁的薄膜式探针卡置于机构平台上，并调整该激光产生装置或该机构平台，使薄膜式探针卡对位激光照射路径，然后进行激光清洗的动作，并配合影像捕获设备更精准的控制位置及检视清洁状态。借此，完成半自动化的薄膜式探针卡的清洁方式。

Description

激光清洗机的结构
技术领域
本实用新型为提供一种激光清洗机的结构，尤指一种可利用激光对薄膜式探针卡进行清洁的激光清洗机的结构。
背景技术
按，探针，用于检查受检查体的电特性，如形成在半导体晶圆上的集成电路、大规模集成电路等电子电路的电特性检查，皆使用安装在探针装置的探针卡进行，而探针卡通常具多数探针，且晶圆电特性的检查是使多数探针接触晶圆的电子电路的电极，并从各探针对晶圆上的电子电路的电极，施加检查用电信号而进行。
为了适切地检查该晶圆的电子电路上的电特性，必需将位在电极表层的绝缘层的铝氧化膜削去，使探针接触电极表层下的铝，且以既定的接触压力使其压接。并且，该铝氧化膜的削去量及接触压力愈大，则愈容易确保其接触性良好。但是如此一来，该种杂质容易附着在探针前端，而附着的铝及杂质会成为凸起物，当探针接触电极时会造成较深的打痕，而损伤电极。
因此，保持探针的清洁便显得格外重要，而一般清洁是将探针前端推压于清洁片上而除去附着物。于此情形，不仅是附着物，也会使探针前端造成磨耗。故上述探针于使用时，为确实存在下列问题与缺失尚待改进：
一、探针清洁方式非常不方便。
二、探针清洁效果有待商榷，且可能导致探针本身功效下降或外型损坏。
是以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在者。
实用新型内容
故，本实用新型的设计人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，始设计出此种利用激光对薄膜式探针卡进行较精准、较有效率的半自动化清洁的激光清洗机的结构的实用新型专利者。
本实用新型的主要目的在于：激光产生装置对薄膜式探针卡进行清洁时，配合影像捕获设备的使用，提高清洁的效果及效率，同时借由半自动机械化的操作增加使用者的方便性。
为达上述目的，本实用新型的解决方案是：
一种激光清洗机的结构，包含：
一激光产生装置，用于清洁薄膜式探针卡(Probecard)；
一位于该激光产生装置的激光照射路径上的机构平台，供承载该薄膜式探针卡；
一设于该激光产生装置一侧的影像捕获设备，供显示激光光点处的影像。
进一步，该激光产生装置包含一移动装置、及至少一设于该移动装置一端用于清洁薄膜式探针卡(Probecard)的激光头。
进一步，该移动装置包含一双线性滑轨、及一枢设于该双线性滑轨上的移动支架，使该激光头得以前后、左右及上下位移。
进一步，该激光产生装置内设有一冷却装置。
进一步，该机构平台上设有一控制装置，供控制该激光产生装置及该影像捕获设备的动作。
进一步，该激光产生装置的充电电压为650V至1000V的交流电。
进一步，该激光产生装置的发射振幅波长为532奈米(nm)至1064奈米(nm)。
进一步，该激光产生装置发出的脉冲能量为800微焦耳(mJ)。
进一步，该影像捕获设备为高阶感光耦合(ChargeCoupledDevice,CCD)数字摄影机。
进一步，该薄膜式探针卡为钨合金针、莱钨针、铍铜合金针、钯合金针或白金合金其中之一者。
当使用者用本实用新型作薄膜式探针卡的清洁时，将薄膜式探针卡放置在机构平台上，并调整激光产生装置的激光头，使其与待清洁的薄膜式探针卡初步对位后，再利用影像捕获设备精确调整位置，接着即可以激光产生装置发出的脉冲波对该薄膜式探针卡进行清洁，借此增加使用者清洁薄膜式探针卡时的方便性，同时提高其清洁效果，且由于影像捕获设备的高阶解析影像，使清洁动作更精准，而不会发生薄膜式探针卡在被清洁时损伤的状况。
借由上述技术，可针对习用清洁薄膜式探针卡的方式所存在的方便性不足、清洁效果不佳及可能造成探针损伤的问题点加以突破，达到上述优点的实用进步性。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的立体图；
图2为本实用新型较佳实施例的结构方块图；
图3为本实用新型较佳实施例的动作示意图；
图4为本实用新型较佳实施例的使用状态图。
【符号说明】
激光产生装置1
移动装置11
双线性滑轨111
移动支架112
激光头12
冷却装置13
机构平台2
控制装置21
影像捕获设备3
薄膜式探针卡4。
具体实施方式
为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及构造，兹绘图就本实用新型较佳实施例详加说明其特征与功能如下，俾利完全了解。
请参阅图1及图2所示，为本实用新型较佳实施例的立体图及结构方块图，由图中可清楚看出本实用新型包括：
一用于清洁薄膜式探针卡(Probecard)的激光产生装置1，该激光产生装置1包含一移动装置11、及至少一设于该移动装置11一端用于清洁薄膜式探针卡(Probecard)的激光头12，并于该激光产生装置1内设有一冷却装置13，而其中该移动装置11包含一双线性滑轨111、及一枢设于该双线性滑轨111上的移动支架112，使该激光头12得以前后、左右及上下位移，另该薄膜式探针卡为钨合金针、莱钨针、铍铜合金针、钯合金针或白金合金其中之一者；
一位于该激光产生装置1的激光照射路径上的机构平台2，供承载该薄膜式探针卡，且该机构平台2上设有一控制装置21，供控制该激光产生装置1及下述影像捕获设备3的动作；
一设于该激光产生装置1一侧供显示激光光点处的影像的影像捕获设备3，该影像捕获设备3为高阶感光耦合(ChargeCoupledDevice,CCD)数字摄影机。
请同时配合参阅图1至图4所示，为本实用新型较佳实施例的立体图、结构方块图、动作示意图及使用状态图，由图中可清楚看出，借由上述构件组构时，本实用新型就整体而言其核心结构即为激光产生装置1，其发射振幅（脉冲震波）的脉冲能量值为800微焦耳(mJ)，此脉冲能量值为最适合清洁薄膜式探针卡4的强度，有别于一般清洁用激光的震波，因无法达到800微焦耳(mJ)的脉冲能量，而无法对薄膜式探针卡4作彻底清洁，或为了完成清洁目的而反复以激光分解薄膜式探针卡4上的杂质，反而导致薄膜式探针卡4的损伤。因此，本实用新型的激光产生装置1乃搭配650V至1000V的交流电的充电电压，及波长为532奈米(nm)至1064奈米(nm)的发射振幅，来达到800微焦耳(mJ)的激光脉冲能量，也是具有最佳清洁效果的最佳值。另于激光产生装置1内设置一冷却装置13，适时降低激光头12与机台本身的温度，对于机具的使用寿命更有帮助。
此外，过去清洁薄膜式探针卡4的方式，一般为人工手持一激光枪，以对薄膜式探针卡4手动清洁，此手法的方便性及稳定性明显不足，故本实用新型的操作方式乃将薄膜式探针卡4置于机构平台2上，同时以激光产生装置1配合控制装置21及一具有三维方向移动性的移动装置11，并将激光头12设置于该移动装置11的一端，借此机械化的操作取代传统的人工操作，而该移动装置11包含一双线性滑轨111，用来控制激光头12Ｘ、Ｙ方向(纵向及横向)的移动，再于该双线性滑轨111上枢设一移动支架112，用以控制激光头12Ｚ方向(垂直方向)的移动，使激光头12可同时具有前后左右及上下位移的操控方式，而增加使用者操作上的便利性。
且由于薄膜式探针卡4的体积非常小，本实用新型更搭配影像捕获设备3来达到彻底清洁的功效，且该影像捕获设备3为高阶感光耦合(ChargeCoupledDevice,CCD)数字摄影机，配合控制装置21的使用，可精准的控制，使激光头12的光点与薄膜式探针卡4(含探针)能够准确对位，当然也能因为高解析画面的清洁状态检视提高其清洁效果。
故，请参阅全部附图所示，本实用新型使用时，与习用技术相较，着实存在下列优点：
一、可达到800微焦耳(mJ)的脉冲能量，而具有最佳的薄膜式探针卡4清洁效果。
二、借由移动装置11，让激光头12的位置控制机械化，更方便使用者操作。
三、搭配高解析的影像捕获设备3，让清洁效果更完善。
综上所述，本实用新型的激光清洗机的结构于使用时，为确实能达到其功效及目的。惟，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，非因此即局限本实用新型的专利范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的简易修饰及等效结构变化，均应同理包含于本实用新型的专利范围内，合予陈明。

Claims (10)

1.一种激光清洗机的结构，其特征在于，包含：
一用于清洁薄膜式探针卡的激光产生装置；
一位于该激光产生装置的激光照射路径上的供承载薄膜式探针卡的机构平台；
一设于该激光产生装置一侧的供显示激光光点处的影像的影像捕获设备。
2.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置包含一移动装置、及至少一设于该移动装置一端用于清洁薄膜式探针卡的激光头。
3.如权利要求2所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该移动装置包含一双线性滑轨、及一枢设于该双线性滑轨上的移动支架，该激光头得以前后、左右及上下位移。
4.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置内设有一冷却装置。
5.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该机构平台上设有一供控制该激光产生装置及该影像捕获设备的动作的控制装置。
6.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置的充电电压为650V至1000V的交流电。
7.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置的发射振幅波长为532奈米至1064奈米。
8.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该激光产生装置发出的脉冲能量为800微焦耳。
9.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该影像捕获设备为高阶感光耦合数字摄影机。
10.如权利要求1所述的激光清洗机的结构，其特征在于：该薄膜式探针卡为钨合金针、莱钨针、铍铜合金针、钯合金针或白金合金其中之一者。
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