CN204566423U - 一种气动敲击装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种气动敲击装置,安装于晶圆劈裂机上,并且用于敲击劈刀单元,包括可变气压输出单元、制动器、击锤,其特征在于,所述可变气压输出单元连接制动器,并提供一可变气压输入至制动器,所述制动器固定于劈裂机上,且该制动器是具有受该可变气压驱动而位移的位移件,所述击锤固定于制动器上且垂直正对劈刀单元,并受到制动器的连动而敲击劈刀单元。据此,本实用新型通过改变气压输出单元的气压大小,可改变击锤敲击劈刀的力道,同时可以适用于制成不同规格的晶圆,使劈刀能够真实的劈开晶圆,达到劈裂的要求。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及劈裂晶圆的晶圆劈裂机,尤其涉及一种晶圆劈裂机的劈裂动力机构的气动敲击装置。
背景技术
晶圆劈裂机是将晶圆1劈裂成晶粒的装置,晶圆在劈裂之前会先用激光切割机划出横向和纵向的切割线2,但并未切断,会保留大约五分之三的厚度相连,再将该晶圆1贴附于蓝膜(或白膜)加盖一层保护膜,通过卡匣送入晶圆劈裂机进行劈裂作业。该晶圆1是在该授台4上由该劈刀单元3进行劈裂的,其中要使用影像系统5,该影像系统5用于监控该晶圆1的定位是否偏移,判断偏移的程度重新进行定位,以保证劈裂的良率。
已知的晶圆劈裂机,在劈裂过程中击锤敲击该劈刀3的力度是不可改变的,因此在劈裂尺寸较小或厚度较厚的该晶圆1时,该劈刀3就无法有效的劈开该晶圆1,会产生双晶(两颗晶粒相连)的现象;还有由于研磨的不精确性导致同一片该晶圆1的各个区域厚度也有所差异,这样使用同一力道敲击该劈刀3来劈裂就很容易产生不良品,力道轻会产生双晶,力道重会产生崩裂、斜裂等问题,显然无法满足工艺要求。
发明内容
鉴于以上内容,有必要提供一种在不致使结构复杂化的前提下,能够应需求改变劈裂力道,而满足工艺要求。
本实用新型提供了一种气动敲击装置,安装于晶圆劈裂机上并用于敲击劈刀单元,包括可变气压输出单元、制动器、击锤,其特征在于,所述可变气压输出单元提供制动器一可变气压,所述制动器内部的位移件受可变气压的驱动产生位移,所述击锤固定在位移件上且垂直正对劈刀单元,击锤受到位移件的连动而敲击劈刀单元。
进一步地,优选的是,所述制动器内部含有一复位弹簧,用于复位所述位移件。
进一步地,优选的是,所述劈刀单元固定于滑座单元上,所述滑座单元相对滑轨移动,所述滑轨固定于所述晶圆劈裂机上。
进一步地,优选的是,所述制动器固定于突出板上,所述突出板固定于所述晶圆劈裂机上。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
通过改变该可变气压输出单元的可变气压大小,即可改变该击锤敲击该劈刀单元的力道,并且8个区域力道可以随意设定,因而可以适用于各种尺寸、厚度的晶圆,同样也适用于同一片不同区域厚度不同的晶圆,以使该劈刀单元能够真实的劈断晶圆,达到工艺上的要求。
附图说明
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
图1是本实用新型气动敲击装置晶圆的结构图。
图2是本实用新型动敲击装置晶圆劈裂示意图。
图3是本实用新型气动敲击装置的结构图。
具体实施方式
参阅图1-3所示,为了对本实用新型有更好的了解和认同,现列举优选实施例配合图片说明如下:
本实用新型为一种可变气压控制力道的敲击装置,安装于晶圆劈裂机6上,并作用于劈刀单元13,该可变气压敲击装置包含可变气压输出单元7、制动器11和击锤9三大部分,其中该可变气压输出单元7提供可变气压,并将气压输入到该制动器11。该制动器11固定于该晶圆劈裂机6上,在实际实施上,该晶圆劈裂机6上可以有一突出板12,该突出板12与该制动器11固定在一起,该制动器11内部有一个受该可变气压驱动的位移件,该击锤9与该位移件连动,该位移件受气压变化产生位移时,该击锤9就会连动敲击该劈刀单元13,又该制动器11内设置有复位弹簧,该复位弹簧就能够将该位移件与该击锤9复位,离开该劈刀单元13。
该劈刀单元13固定于滑座上8,该滑座8相对滑轨10移动,该滑轨10固定在该晶圆劈裂机6上,该滑座8能够在该滑轨10上作线性位移,使该劈刀单元13对该晶圆14在该授台15上进行晶圆劈裂作业。
如上所述,本实用新型可以通过改变可变气压输出单元7的气压大小,即可改变该击锤9敲击该劈刀单元13的力度,因而可以适用于不同规格的晶圆,使都能达到工艺要求,由于气压大小可以在同一晶圆的不同区域设定不一样的数值,即能够很好的设定不同区域的力度,使同一片区域厚度不同的晶圆也能够达到很好的劈裂效果。
本实用新型主要针对小尺寸、不同厚度的晶圆做的敲击装置发明,以上所述仅为本实用新型较佳实施例而已,非因此即局限本实用新型的专利范围,故举凡用本实用新型说明书及图式内容所为的简易变化及等效变换,均应包含于本实用新型的专利范围内。
Claims (4)
1.一种气动敲击装置,安装于晶圆劈裂机上,并且用于敲击劈刀单元,包括可变气压输出单元、制动器、击锤,其特征在于:
所述可变气压输出单元提供可变气压;
所述制动器固定于晶圆劈裂机上,所述可变气压输出单元气压连接所述制动器,并将所述可变气压输入至所述制动器,所述制动器是具有所述可变气压驱动而位移的位移件;
所述击锤固定于所述制动器上且垂直正对所述劈刀单元,并且所述击锤收到所述制动器的连动而敲击所述劈刀单元。
2.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置,其特征在于:所述制动器内部含有一复位弹簧,用于复位所述位移件。
3.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置,其特征在于:所述劈刀单元固定于滑座单元上,所述滑座单元相对滑轨移动,所述滑轨固定于所述晶圆劈裂机上。
4.根据权利要求1所述的一种气动敲击装置,其特征在于:所述制动器固定于突出板上,所述突出板固定于所述晶圆劈裂机上。
Priority Applications (1)
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CN201520254714.5U CN204566423U (zh) | 2015-04-25 | 2015-04-25 | 一种气动敲击装置 |
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CN201520254714.5U CN204566423U (zh) | 2015-04-25 | 2015-04-25 | 一种气动敲击装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN204566423U true CN204566423U (zh) | 2015-08-19 |
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ID=53859109
Family Applications (1)
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CN201520254714.5U Active CN204566423U (zh) | 2015-04-25 | 2015-04-25 | 一种气动敲击装置 |
Country Status (1)
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CN (1) | CN204566423U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104786380A (zh) * | 2015-04-25 | 2015-07-22 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 | 一种气动敲击装置 |
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2015
- 2015-04-25 CN CN201520254714.5U patent/CN204566423U/zh active Active
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