CN203726650U - 击锤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种击锤装置，安装于一劈裂机上，并用于敲击一劈刀单元，该击锤装置包含一可变电压输出单元、一致动器与一击锤，其中该可变电压输出单元电性连接于该致动器，并提供一可变电压输入至该致动器，该致动器固定于该劈裂机上，且该致动器具有受该可变电压驱动而位移的一位移件，该击锤固定于该位移件上且正对该劈刀单元设置，并受到该位移件的连动而撞击该劈刀单元。据此，本实用新型通过改变该可变电压输出单元的可变电压的电压大小，即可改变该击锤撞击该劈刀单元的力道，因而可以适用于制成各种厚度与尺寸的晶粒，使该劈刀单元确实劈断晶圆，满足使用上的需求。

Description

击锤装置

技术领域

本实用新型涉及劈裂晶圆的晶圆劈裂机，尤其是有涉及晶圆劈裂机的劈裂驱动结构。

背景技术

请参阅图1与图2所示，晶圆劈裂机用于将晶圆1劈裂为一粒粒的晶粒，以进行后续的封装作业，晶圆1在进行劈裂之前，会先用激光切割出横向与纵向的激光切割线2，晶圆1上的激光切割线2并未断裂，其约略保留三分之二的厚度相连，接着将晶圆1贴附一蓝片3（或白膜），再于晶圆1上方覆盖一保护膜（图未示）加以保护后，通过一固定夹具4送入一晶圆劈裂机进行劈裂作业。

晶圆劈裂机包含一工作台5、一劈刀6、两个劈裂台7与一图像获取系统8，该工作台5夹置该固定夹具4，并可作平面方向的移动与转动，该劈刀6与该两个劈裂台7分设于该晶圆1的上下两侧，以使该晶圆1抵压该两个劈裂台7，并通过击锤（图未示）敲击该劈刀6所产生的冲击力进行劈裂作业，该图像获取系统8则用于截取该晶圆1的图像。

据而该晶圆1可通过该劈刀6的冲击力与该工作台5的定量位移，对多个激光切割线2连续进行劈裂，而该图像获取系统8则在连续劈裂过程中监控该晶圆1的定位是否偏移，以视偏移的程度重新进行定位，而当横向与纵向的激光切割线2均被劈裂之后即完成劈裂作业。

此已知的晶圆劈裂机，其在劈裂的过程中，击锤敲击该劈刀6的力道为固定不变的，因此其所产生的冲击力固定不动，因此当该晶圆1的厚度较厚时，或是较小尺寸的晶粒时，劈刀6即无法有效劈断晶圆1，其产生的晶粒会有双晶（两片晶粒相连）现象的产生，其会减少工艺良率，尤其对于要产生中小尺寸的晶粒来说，其产生双晶现象的状况更为明显与严重。

又若无限制地加大击锤敲击该劈刀6的力道，则容易产生容易有崩裂、斜裂等问题，显然无法满足工艺使用上的需求。

实用新型内容

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种击锤装置，其因应需求改变劈裂力道，而满足工艺使用上的需求。

经由以上可知，为达上述目的，本实用新型为一种击锤装置，安装于一劈裂机上并用于敲击一劈刀单元，该击锤装置包含一可变电压输出单元、一致动器与一击锤，其中该可变电压输出单元提供一可变电压，致动器固定于劈裂机上，可变电压输出单元电性连接该致动器，并将可变电压输入至该致动器，该致动器具有受该可变电压驱动而位移的一位移件，该击锤固定于该位移件上且正对该劈刀单元设置，并且该击锤受到该位移件的连动而撞击该劈刀单元。

进一步地，劈刀单元设置于一滑动单元上，滑动单元固定于一滑座上，且滑座相对一滑轨移动，滑轨固定于劈裂机上。

进一步地，位移件与致动器之间设置一复位弹簧。

进一步地，劈裂机上具有一悬臂板，悬臂板与致动器固定在一起。

据此，本实用新型的优点在于，通过改变该可变电压输出单元的可变电压的电压大小，即可改变该击锤撞击该劈刀单元的力道，因而可以适用于各种厚度的晶圆，以使该劈刀单元确实劈断晶圆，满足使用上的需求。

附图说明

图1为已知晶圆劈裂示意图。

图2为已知晶圆的结构图。

图3为本实用新型结构图。

具体实施方式

为使得对本实用新型的特征、目的及功效有着更加深入的了解与认同，现列举优选实施例并配合图式说明如下：

请参阅图3所示，本实用新型为一种可变换力道的击锤装置，安装于一劈裂机10上，并用于敲击一劈刀单元20，该可变换力道的击锤装置包含一可变电压输出单元30、一致动器40与一击锤50，其中该可变电压输出单元30提供一可变电压，该可变电压输出单元30电性连接该致动器40，并将该可变电压输入至该致动器40。

该致动器40固定于该劈裂机10上，在实际实施上，该劈裂机10上可以具有一悬臂板11，该悬臂板11与该致动器40固定在一起，该致动器40具有受该可变电压驱动而位移的一位移件41，该击锤50固定于该位移件41上且正对该劈刀单元20设置，并受到该位移件41的连动而撞击该劈刀单元20，又该位移件41与该致动器40之间可以设置一复位弹簧60，通过该复位弹簧60的弹力，该位移件41可以回复原位而离开该劈刀单元20。

又该劈刀单元20可以设置于一滑动单元70上，该滑动单元70固定于一滑座71上，且该滑座71相对一滑轨72移动，该滑轨72固定于该劈裂机10上，其可以提供该劈刀单元20线性位移的自由度，以供进行晶圆劈裂作业。

而要进行晶圆劈裂作业时，将一晶圆片80置于一晶圆基座81上，再让该滑动单元70滑动，直至该劈刀单元20接近该晶圆片80，即可通过该可变电压输出单元30输出该可变电压，来驱使该击锤50单元撞击该劈刀单元20，使该劈刀单元20对该晶圆基座81上的该晶圆片80实施劈裂的动作。

如上所述，本实用新型可以通过改变该可变电压输出单元的可变电压的电压大小，即可改变该击锤撞击该劈刀单元的力道，因而可以适用于各种厚度的晶圆，以使该劈刀单元确实劈断晶圆；且该可变电压输出单元的可变电压，在实际控制上，可以程控来改变电压大小的，也即通过本实用新型，配合程控该可变电压输出单元的可变电压，可以依据工艺需求，自由变换击锤装置的敲击力道，可以满足工艺使用上的需求。

Claims (4)

1.一种击锤装置，安装于一劈裂机上并用于敲击一劈刀单元，其特征在于，所述击锤装置包含：

一可变电压输出单元，所述可变电压输出单元提供一可变电压；

一致动器，所述致动器固定于所述劈裂机上，所述可变电压输出单元电性连接所述致动器，并将所述可变电压输入至所述致动器，所述致动器具有受所述可变电压驱动而位移的一位移件；以及

一击锤，所述击锤固定于所述位移件上且正对所述劈刀单元设置，并且所述击锤受到所述位移件的连动而撞击所述劈刀单元。

2.根据权利要求1所述的击锤装置，其特征在于，所述劈刀单元设置于一滑动单元上，所述滑动单元固定于一滑座上，且所述滑座相对一滑轨移动，所述滑轨固定于所述劈裂机上。

3.根据权利要求1所述的击锤装置，其特征在于，所述位移件与所述致动器之间设置一复位弹簧。

4.根据权利要求1所述的击锤装置，其特征在于，所述劈裂机上具有一悬臂板，所述悬臂板与所述致动器固定在一起。