CN204529964U - 一种电子枪双挡板 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种电子枪双挡板，包括两个独立的挡板机构和与所述挡板机构连接的连接机构；所述挡板机构包括圆形挡板、连接杆和U型插件，所述连接杆的两端分别固定所述圆形挡板和所述U型插件；所述连接机构包括固定杆和安装在固定杆上的两个旋转轴承，每个所述旋转轴承上分别固定有可与所述U型插件匹配插接固定的卡槽；所述U型插件插接到所述卡槽中，使所述两个独立的挡板机构分别固定连接在所述连接机构上。本实用新型可防止镀膜过程中膜料污染，提高镀膜质量，同时方便对挡板的拆卸和清洁。

Description

一种电子枪双挡板

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种电子枪双挡板。

背景技术

目前，不论是进口的国外真空镀膜机还是国内生产的真空镀膜机，所配备的每个电子枪上方的挡板都仅有一个，即熔料和镀膜预熔阶段都使用同一个电子枪挡板，这样在熔料过程中进溅到挡板上的膜料残渣颗粒在镀膜每层材料的预熔和蒸镀时，会随着挡板的开合震动而调到膜料坩埚中，使膜料受到不必要的污染，从而在蒸镀时会被蒸镀到基片上，影响成膜质量。

为此，需要一种可有效避免镀膜过程中不同程序使膜料受污染的电子枪挡板，并可方便更换及清洁。

实用新型内容

本实用新型的目的在于客服现有技术的不足，解决在镀膜过程中膜料受污染，影响镀膜质量的问题，同时方便拆卸和清洁的电子枪挡板。

为了实现本实用新型的上述目的，本实用新型提供了一种电子枪双挡板，包括两个独立的挡板机构和与所述挡板机构连接的连接机构；

所述挡板机构包括圆形挡板、连接杆和U型插件，所述连接杆的两端分别固定所述圆形挡板和所述U型插件；

所述连接机构包括固定杆和安装在固定杆上的两个旋转轴承，每个所述旋转轴承上分别固定有可与所述U型插件匹配插接固定的卡槽；

所述U型插件插接到所述卡槽中，使所述两个独立的挡板机构分别固定连接在所述连接机构上。

作为优选，所述U型插件上设有固定螺丝。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点和有益效果：双挡板的设置，可使在熔料、镀膜材料预熔分别使用不同的挡板，可防止膜料污染，提高镀膜质量，同时方便对挡板的拆卸和清洁。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的挡板机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1、图2所示，根据本实用新型优选实施例的一种电子枪双挡板，包括两个独立的挡板机构、与两个独立的挡板机构连接的连接机构；

挡板机构包括圆形挡板11、连接杆12和U型插件13，连接杆12的两端分别固定圆形挡板11和U型插件13；

连接机构包括固定杆21和安装在固定杆21上的两个旋转轴承22，两个旋转轴承22上分别固定有可与U型插件13匹配插接固定的卡槽23；

U型插件13插接到卡槽23中，使两个独立的挡板机构分别固定连接在连接机构上；

U型插件13上设有固定螺丝14，固定螺丝14可使挡板机构牢固的固定在连接机构上。

U型插件13与卡槽23的设置可方便将挡板机构在连接机构上的拆装，便于对圆形挡板11的清洁。

下面将参照附图对本实用新型的工作原理进行简单描述。

如图1、图2所示，因挡板机构连接至旋转轴承22上，所以挡板机构可在旋转轴承22带动下旋转。

在熔料时位于上方的挡板机构旋转到合适的角度，从而使该挡板机构处于打开状态，而位于下方的另一个挡板机构保持原状，使下方的挡板机构处于关闭状态。

在蒸发前膜料预熔状态时，将位于上方的挡板机构旋转至初始位置，处于关闭状态，而将位于下方的另一个挡板机构旋转至合适角度，使上方的挡板机构处于打开状态。

这样使熔料及膜料预熔过程中分别使用不同的挡板机构，可有效避免两个过程中产生的膜料污染。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (2)

1.一种电子枪双挡板，其特征在于：包括两个独立的挡板机构和与所述挡板机构连接的连接机构；

所述挡板机构包括圆形挡板、连接杆和U型插件，所述连接杆的两端分别固定所述圆形挡板和所述U型插件；

所述连接机构包括固定杆和安装在固定杆上的两个旋转轴承，每个所述旋转轴承上分别固定有可与所述U型插件匹配插接固定的卡槽；

所述U型插件插接到所述卡槽中，使所述两个独立的挡板机构分别固定连接在所述连接机构上。

2.根据权利要求1所述的一种电子枪双挡板，其特征在于：所述U型插件上设有固定螺丝。