CN204497199U - 刻蚀喷管及刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种刻蚀喷管及刻蚀设备。刻蚀喷管包括喷管管道和固定在喷管管道一侧的喷嘴，喷管管道与喷嘴连通，刻蚀喷管还包括与喷嘴位于喷管管道同侧的导流件，导流件包括主体，主体的外表面为斜面，斜面上设有导流槽，导流槽与喷管管道的轴线之间有夹角，导流槽远离喷管管道的一端与喷嘴相连通。湿法刻蚀生产过程中，附着在湿法刻蚀喷管上的酸性大液滴会沿着主体的外表面滑至导流槽内，随后沿导流槽滑至与导流槽相连通的喷嘴上，继而随喷嘴喷射的刻蚀液喷洒出去。因此，与传统的湿法刻蚀喷管相比，本申请的安装有导流件的刻蚀喷管能够防止酸性大液滴掉落到基板上，保证了刻蚀均匀，产品良率高。此外，刻蚀设备包括上述的刻蚀喷管。

Description

刻蚀喷管及刻蚀设备

技术领域

本实用新型涉及刻蚀技术领域，特别是涉及一种刻蚀喷管以及使用该刻蚀喷管的刻蚀设备。

背景技术

在显示面板的制备过程中的刻蚀工艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀。其中，湿法刻蚀工艺主要是指采用液态化学药品对刻蚀物进行去除的刻蚀技术。具体的说，湿法刻蚀是用适当的刻蚀液，与刻蚀物进行化学反应，改变刻蚀物的结构，使无光刻胶覆盖的部分脱离基片表面，而把有光刻胶覆盖的区域保存下来，这样便在基片表面得到了所需要的图形。

湿法刻蚀工艺是在湿法刻蚀槽内利用酸性液体对基板进行刻蚀，传统的湿法刻蚀喷管100如图1所示，包括喷管管道110和固定在喷管管道110上的多个喷嘴120，喷嘴120均匀分布在喷管管道110上。生产过程中，酸性液体在高温、雾化状态下挥发而成的酸雾逐渐附着在湿法刻蚀喷管100上形成酸性小液滴，该酸性小液滴会逐渐凝结成大的酸性液滴。然而，酸性溶液挥发凝集后的酸性液滴的浓度远远大于刻蚀液浓度，当大的酸性液滴掉落到基板上时，容易造成局部刻蚀速度快的现象，因此利用传统的湿法刻蚀喷管来进行刻蚀会导致对基板的刻蚀不均匀，影响产品良率。

实用新型内容

基于此，有必要针对利用传统的湿法刻蚀喷管进行刻蚀会导致刻蚀不均匀的问题，提供一种能够解决刻蚀不均匀问题的刻蚀喷管。

一种刻蚀喷管，包括喷管管道和固定在所述喷管管道一侧的喷嘴，所述喷管管道与所述喷嘴连通，所述刻蚀喷管还包括与所述喷嘴位于所述喷管管道同侧的导流件，所述导流件包括主体，所述主体的外表面为斜面，所述斜面上设有导流槽，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间有夹角，所述导流槽远离所 述喷管管道的一端与所述喷嘴相连通。

在其中一个实施例中，所述导流件还包括用于卡在所述喷管管道上的卡夹，所述卡夹与所述主体相连。

在其中一个实施例中，所述卡夹的形状与所述喷管管道的形状相适配。

在其中一个实施例中，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间的夹角为1°～30°。

在其中一个实施例中，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间的夹角为2°～3°。

在其中一个实施例中，所述主体包括两个斜面，所述两个斜面组成的主体沿所述喷管管道的径向截面为V形。

在其中一个实施例中，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间有夹角，所述V形底部远离所述喷管管道的一端与所述喷嘴相连通

在其中一个实施例中，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间的夹角为1°～30°。

在其中一个实施例中，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间的夹角为2°～3°。

此外，还提供一种包括上述刻蚀喷管的刻蚀设备。

上述刻蚀喷管的导流件与喷嘴位于喷管管道的同侧，导流件的主体的外表面为斜面，斜面上设有导流槽，导流槽与喷管管道的轴线之间有夹角，导流槽远离喷管管道的一端与喷嘴相连通。湿法刻蚀生产过程中，附着在湿法刻蚀喷管上的酸性大液滴会沿着上述主体的斜面滑至导流槽，随后沿导流槽滑至与导流槽相连通的喷嘴内，继而由喷嘴喷射出去。因此，与传统的湿法刻蚀喷管相比，本申请的安装有导流件的刻蚀喷管能够防止酸性大液滴掉落到基板上，保证了刻蚀均匀，产品良率高。

附图说明

图1为传统的湿法刻蚀喷管的示意图；

图2为本实用新型实施例中湿法刻蚀喷管的示意图；

图3为本实用新型实施例中导流件的主视图；

图4为本实用新型实施例中导流件的右视图。

图中标号表示含义如下：

湿法刻蚀喷管100，喷管管道110，喷嘴120，刻蚀喷管200，喷管管道210，喷嘴220，导流件230，卡夹231，主体232，导流槽233。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

利用传统的湿法刻蚀喷管进行刻蚀时，附着在湿法刻蚀喷管上的酸性大液滴会掉落到基板上，容易造成局部刻蚀速度快的现象，不仅容易导致对基板的刻蚀不均匀，还会影响产品良率。

为此，如图2所示，本实用新型实施例中提出一种刻蚀喷管200，用以防止酸性大液滴掉落到基板上，保证刻蚀均匀。刻蚀喷管200包括喷管管道210、固定在喷管管道210一侧的喷嘴220以及固定在喷管管道210一侧的导流件230。导流件230与喷嘴220位于喷管管道210的同侧。喷管管道210与喷嘴220相连通，使得喷管管道210中的刻蚀液能够通过喷嘴220喷出。喷嘴220和导流 件230的个数均为多个，喷嘴220和导流件230间隔排列，两两抵接且相连通，位于每个喷嘴220两侧的相邻两个导流件230与其紧密配合。

导流件230的主视图和右视图分别如图3和图4所示，导流件230包括用于固定在喷管管道210上的卡夹231以及与卡夹231相连接的主体232，主体232的外表面为斜面，斜面上开设有用于实现导流作用的导流槽233，导流槽233设置在喷管管道210的相对位置，如图2所示。卡夹231和主体232的形状与喷管管道210相适配。卡夹231为一端开口的圆环。每个导流件230设置两个卡夹231，能够将导流件230固定在喷管管道210上。

需要说明的是，此处卡夹231的个数不以此为限，只要能够实现将导流件固定在喷管管道210上即可。卡夹231的个数可以为一个，也可以为多个。此外，本实用新型实施例中卡夹231为一端开口的圆环，但卡夹231的形式不以此为限，卡夹231也可以设计为完整封闭的圆环，或者只由两个弧形件组成，还可以设计为方形环等，只要满足卡夹231与喷管管道210相适配使得卡夹231能够固定在喷管管道210上即可。同时为了使卡夹231能够更好地固定在喷管管道210上，也可以在卡夹231的外侧设置多个防滑触角或者表面摩擦力较大的卡夹套等。

如图4所示，主体232包括两个斜面，两个斜面组成的主体沿喷管管道210的径向截面为V形，这是由于主体232的外表面呈倾斜设置，底部为两个相交的平面，故在底部成V形。这样设置能够使酸性液滴沿主体232的外表面迅速滑至导流槽233上，从而减少酸性液滴在主体232的外表面上的滑动时间。主体232的V形底部与喷管管道210的轴线之间有夹角，上述V形底部与喷管管道210的轴线之间的夹角为2°。但此夹角不应以此为限，还可以为1°～30°。其中，该夹角优选为2°～3°。V形底部远离喷管管道210的一端与喷嘴220相连通。

将刻蚀喷管200水平放置时，导流槽233呈倾斜状，本实施例中导流槽233在主体232的外表面上的延伸方向与主体232的V形底部方向一致，因此导流槽233与喷管管道210的轴线之间的夹角为2°。但导流槽233与喷管管道210的轴线之间的夹角不应以此为限，该夹角可以为1°～30°。其中，该夹角优选为2°～3°。此外，导流槽233在主体232的外表面上的延伸方向也可以与主体232 的V形底部方向不一致，只要使导流槽233呈倾斜状，能够实现酸性液滴可在导流槽233上滑动即可。

在湿法刻蚀工艺生产过程中，喷管管道210水平放置，附着在刻蚀喷管200上的酸性大液滴会会沿着主体232的斜面滑至导流槽233上。由于导流槽233与喷嘴220相连通，且导流槽233呈倾斜状，故导流槽233内的酸性大液滴会滑至与导流槽233相抵接的喷嘴220上，继而随喷嘴220喷射的刻蚀液喷洒出去。因此，与传统的湿法刻蚀喷管相比，本实用新型的安装有导流件230的刻蚀喷管200防止酸性大液滴掉落到基板上，保证了刻蚀均匀，产品良率高。

需要说明的是，本实用新型实施例中的导流件230固定在喷管管道210上并与喷嘴220相抵接，但导流件230与喷管管道210的连接方式不限于此，导流件230与喷管管道210可以不固定连接，例如可以不需接触，只要导流件230与喷嘴220能够相连通而且位于喷管管道210的同一侧即可，这样设置也能够使喷管管道210上的酸性大液滴直接滴到导流件230的导流槽233上，并沿导流槽233滑至与导流槽233相连通的喷嘴220内，防止酸性大液滴掉落到基板上，保证了刻蚀均匀，产品良率高。

此外，本实用新型实施例中提出一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括上述的刻蚀喷管。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种刻蚀喷管，包括喷管管道和固定在所述喷管管道一侧的喷嘴，所述喷管管道与所述喷嘴连通，其特征在于，所述刻蚀喷管还包括与所述喷嘴位于所述喷管管道同侧的导流件，所述导流件包括主体，所述主体的外表面为斜面，所述斜面上设有导流槽，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间有夹角，所述导流槽远离所述喷管管道的一端与所述喷嘴相连通。

2.根据权利要求1所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述导流件还包括用于卡在所述喷管管道上的卡夹，所述卡夹与所述主体相连。

3.根据权利要求2所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述卡夹的形状与所述喷管管道的形状相适配。

4.根据权利要求1所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间的夹角为1°～30°。

5.根据权利要求1所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述导流槽与所述喷管管道的轴线之间的夹角为2°～3°。

6.根据权利要求1所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述主体包括两个斜面，所述两个斜面组成的主体沿所述喷管管道的径向截面为V形。

7.根据权利要求6所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间有夹角，所述V形底部远离所述喷管管道的一端与所述喷嘴相连通。

8.根据权利要求6所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间的夹角为1°～30°。

9.根据权利要求6所述的刻蚀喷管，其特征在于，所述主体的V形底部与所述喷管管道的轴线之间的夹角为2°～3°。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备包括如权利要求1～8中任一项所述的刻蚀喷管。