CN203037996U - 一种新型光刻胶剥膜液喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道(1)和喷嘴本体(2)，其特别之处在于：其中在喷嘴本体(2)上开有至少一个条状喷口(3)。本实用新型提供了一种应于在TFT基板制造过程中的新型的剥离液喷嘴，该喷嘴不同于现有的将很多圆型喷嘴(一般为4个圆型喷嘴以上)并排安装在一起的喷嘴结构，这种结构中药液通过很多喷嘴对基板喷淋剥膜液进行剥膜，而是采用一个完整的“一字型”的喷嘴，将剥膜液用一定压力导入喷嘴中，这些药液从喷嘴的一字型细缝中喷出，到达TFT基板表面进行剥离。这一新型喷嘴尤其适应于分辨率较高的TFT基板，经过试用证明，可以有效去除残留的PR。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种新型光刻胶剥膜液喷嘴。
背景技术
TFT(薄膜场效应晶体管)基板在制造过程中，需要多次进行光刻胶(PR)的剥膜工序加工(剥膜的次数根据产品结构的不同为4-10次或更多)，然后再进行下一膜层结构的成膜等，在这一过程中，如果剥膜不干净，PR的残留将会导致不良产品，造成器件品位低下，更严重的会出现产品报废。而剥膜干净与否和剥膜液喷嘴的设计密切相关。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，采用该喷嘴能够更有效的去除高分辨率TFT制程中的PR残留。
一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道和喷嘴本体，其特征在于：其中在喷嘴本体上开有至少一个条状喷口。
其中喷口的宽度为0.1-2mm。
其中喷口的长度与待剥膜基板的长度相同。
本实用新型提供了一种应于在TFT基板制造过程中的新型的剥离液喷嘴，该喷嘴不同于现有的将很多圆型喷嘴(一般为4个圆型喷嘴以上)并排安装在一起的喷嘴结构，这种结构中药液通过很多喷嘴对基板喷淋剥膜液进行剥膜，而是采用一个完整的“一字型”的喷嘴，将剥膜液用一定压力导入喷嘴中，这些药液从喷嘴的一字型细缝中喷出，到达TFT基板表面进行剥离。这一新型喷嘴尤其适应于分辨率较高的TFT基板，经过试用证明，可以有效去除残留的PR。
附图说明
附图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道1和喷嘴本体2，其中在喷嘴本体2上开有至少一个条状喷口3，喷口的宽度为0.1-2mm，喷口的长度与待剥膜基板的长度相同。喷口通常采用矩形口，矩形的长宽比通常大于10：1。
当剥膜液由外接泵经由剥膜液管道1输送到该新型喷嘴本体2内后，在里面形成并且保持0.25-0.75Mpa的压力，并经下面的条状喷口3喷淋到TFT基板表面上，有效的进行PR的剥膜。
本实用新型的设计主要是为了避免原有多种圆型喷嘴排列喷淋时，形成的不均匀性，以及各个圆型喷嘴喷出的剥膜液之间的互相干扰，另外也由于使用条状喷口3，可以减少喷嘴与TFT基板的间距，从而更有效的去除高分辨率TFT制程中的PR残留。
Claims (3)
1.一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道(1)和喷嘴本体(2)，其特征在于：其中在喷嘴本体(2)上开有至少一个条状喷口(3)。
2.如权利要求1所述的一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，其特征在于：其中喷口的宽度为0.1-2mm。
3.如权利要求1或2所述的一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，其特征在于：其中喷口的长度与待剥膜基板的长度相同。
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| CN 201220659869 CN203037996U (zh) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | 一种新型光刻胶剥膜液喷嘴 |
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| CN (1) | CN203037996U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110497298A (zh) * | 2019-08-28 | 2019-11-26 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种抛光装置及方法 |
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2012
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