CN204479905U - 一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，包括：用于平整PET防静电膜并能够将其贴附到玻璃光罩上的主动辊轴、用于安装PET防静电膜的被动辊轴、以及用于驱动主动辊轴运转的驱动装置，主动辊轴和被动辊轴之间由PET防静电膜连接，被动辊轴的运转则由主动辊轴通过PET防静电膜带动。本实用新型所述一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，通过设置主动辊轴、被动辊轴、以及驱动装置，使得PET防静电膜可以自动贴附到玻璃光罩上,实现防止玻璃光罩金属图层静电击伤的功能。克服了背景技术中所述手工贴附保鲜膜时可操作性差且容易在保鲜膜和玻璃光罩之间形成气泡的弊端。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃光罩技术领域，尤其涉及一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置。
背景技术
玻璃光罩photomask，也称铬版，是指在玻璃基板材料上溅射一层金属涂层然后覆盖一层表面光阻最后通过曝光显影蚀刻脱膜相关工序制作各种金属图形线路，以便用于感光胶涂层选择性曝光的一种结构。
由于玻璃光罩在制作、转移运输或使用的过程中容易产生表面静电，造成玻璃光罩金属图层损伤，严重影响玻璃光罩的使用寿命。因此，现有技术中，为防止玻璃光罩表面产生静电造成金属图层损伤，一般使用保鲜膜人工贴附到玻璃光罩正反两面，既可以防止表面静电损伤玻璃光罩金属图层，也能够避免玻璃光罩表面污染。
但是，保鲜膜较薄，质地柔软，因此在使用过程中极易造成破损起不到保护作用，同时手工贴膜，不易操作，且容易在保鲜膜和玻璃光罩之间形成气泡。
发明内容
为此，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，以克服现有技术中玻璃光罩表面产生静电造成金属图层损伤的不足。
本实用新型提供了一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，所述装置包括：用于平整PET防静电膜并能够将所述PET防静电膜贴附到玻璃光罩上的主动辊轴、用于安装所述PET防静电膜的被动辊轴、以及用于驱动所述主动辊轴运转的驱动装置，所述主动辊轴和所述被动辊轴之间由所述PET防静电膜连接，所述被动辊轴的运转则由所述主动辊轴通过所述PET防静电膜带动。
其中，所述装置包括两个所述主动辊轴和两个所述被动辊轴，且一个所述主动辊轴和一个所述被动辊轴组成一组，其中，一组所述主动滚轴和所述被动滚轴设置于所述玻璃光罩的上方，另一组所述主动滚轴和所述被动滚轴设置于所述玻璃光罩的下方，且两个所述主动辊轴紧邻设置以便在所述玻璃光罩上下两面分别贴附所述PET防静电膜。
所述装置还包括：用于回收PET覆盖膜的两个回收辊轴，且所述两个回收辊轴通过所述被动辊轴的运转间接实现驱动运转。
本实用新型所述一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，通过设置主动辊轴、被动辊轴、以及驱动装置，使得PET防静电膜可以自动贴附到玻璃光罩上。克服了背景技术中所述手工贴附保鲜膜时不易操作的弊端。又由于所述装置中主动辊轴可以起到平整PET防静电膜的作用，故克服了背景技术中手工贴膜容易在保鲜膜和玻璃光罩之间形成气泡的弊端。
附图说明
图1为本实施例所述一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置结构示意图。
具体实施方式
下面，结合附图对本实用新型进行详细描述。
如图1所示，本实施例提供了一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，该装置包括：用于平整PET防静电膜21并能够将其贴附到玻璃光罩20上的主动辊轴11、用于安装PET防静电膜21的被动辊轴12、以及用于驱动主动辊轴11运转的驱动装置（图中未标示），主动辊轴11和被动辊轴12之间由PET防静电膜21连接，被动辊轴12的运转则由主动辊轴11通过PET防静电膜21带动。
为实现玻璃光罩20上下两面同时贴PET防静电膜21，所述装置包括两个主动辊轴11和两个被动辊轴12，且一个主动辊轴11和一个被动辊轴12组成一组。其中，一组所述主动滚轴11和所述被动滚轴12设置于玻璃光罩20的上方，另一组所述主动滚轴11和所述被动滚轴12设置于玻璃光罩20的下方，且两个所述主动辊轴11紧邻设置以便在玻璃光罩20上下两面分别贴附PET防静电膜21。
为实现PET覆盖膜22的回收，本实施例所述一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置还包括两个用于回收PET覆盖膜22的回收辊轴13，且所述两个回收辊轴13通过被动辊轴12的转动间接实现驱动运转。
本实施例所述PET防静电膜21，其宽度为550mm，与其尺寸匹配的被动辊轴12最大贴膜宽度为600mm，用于驱动装置（图中未标示）运转的压缩空气气压为5.5～6.5bar。
本实施例所述装置首次在玻璃光罩行业将PET防静电膜与上述贴膜装置相结合用于防止玻璃光罩表面静电击伤。PET防静电膜不但具有防静电特点，还耐磨防尘不易划伤。
本实施例所述装置由于使用机器自动贴附，避免了贴附时气泡的产生。
综上所述，本实用新型所述一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，通过设置主动辊轴、被动辊轴、以及驱动装置，使得PET防静电膜可以自动贴附到玻璃光罩上。克服了背景技术中所述手工贴附保鲜膜时不易操作的弊端。又由于本实用新型所述装置中被动辊轴可以起到平整PET防静电膜的作用，故克服了背景技术中手工贴膜容易在保鲜膜和玻璃光罩之间形成气泡的弊端。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种防止玻璃光罩金属图层静电击伤的装置，其特征在于，所述装置包括：用于平整PET防静电膜并能够将所述PET防静电膜贴附到玻璃光罩上的主动辊轴、用于安装所述PET防静电膜的被动辊轴、以及用于驱动所述主动辊轴运转的驱动装置，所述主动辊轴和所述被动辊轴之间由所述PET防静电膜连接，所述被动辊轴的运转则由所述主动辊轴通过所述PET防静电膜带动。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括两个所述主动辊轴和两个所述被动辊轴，且一个所述主动辊轴和一个所述被动辊轴组成一组，其中，一组所述主动滚轴和所述被动滚轴设置于所述玻璃光罩的上方，另一组所述主动滚轴和所述被动滚轴设置于所述玻璃光罩的下方，且两个所述主动辊轴紧邻设置以便在所述玻璃光罩上下两面分别贴附所述PET防静电膜。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于回收PET覆盖膜的两个回收辊轴，且所述两个回收辊轴通过所述被动辊轴的运转间接实现驱动运转。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN105911743A (zh) * | 2016-06-21 | 2016-08-31 | 安徽今上显示玻璃有限公司 | Uv光屏蔽组件 |
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