CN204464249U - 密闭式晶圆传送盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型在于提供一种密闭式晶圆传送盒，由盒体、盖体、枢接结构及限位扣所构成，其中，盒体具有一容置空间，且于盒体的一侧开设有一开口，其供复数个经由该开口置入于盒体；盖体设于开口处，且相对应于开口，用以盖合于开口，使盒体呈一密闭盒体；枢接结构设在盖体上，并枢接于盒体的开口一端处，使枢接结构枢接盒体与盖体处可相对应；限位扣设在盒体一端且位于开口处，用以与枢接结构相配合，使限位扣能与枢接结构组卸连接，通过盖体盖合于盒体上，避免细微的灰尘在搬运中飘入盒体内，提高盒体内晶圆的良率。

Description

密闭式晶圆传送盒

技术领域

本实用新型是关于一种装载晶圆的设备，特别是一种用于半导体制程工作站与工作站之间进行搬运或移动所需能开启闭合的密闭式晶圆传送盒。

背景技术

晶圆是半导体集成电路制作时的硅晶片，从晶棒切割研磨后多呈现圆形薄片状，依不同的尺寸可分为6吋、8吋、12吋不等，由于晶圆十分薄，在搬运时会借助胶膜以将晶圆粘附固定于晶圆框架上而放入晶圆传送盒(即Wafer frame cassette)内，通过承载多片晶圆框架的晶圆传送盒来搬送。

照现有的晶圆传送盒并无设计外盖，在搬运时容易有细微的灰尘黏附在晶圆上，使后续的晶圆在使用上良率降低。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种密闭式晶圆传送盒，能避免细微的灰尘在搬运中飘入该盒体内，进而提高该盒体内晶圆的良率。

为达成上述目的的技术手段在于：

密闭式晶圆传送盒，其包括：

一个盒体，具有一个容置空间，且于该盒体的一侧开设有一个供数个晶圆框架置入于该盒体内的开口；

一个盖体，设于该开口处，且相对应于该开口，盖合于该开口时该盒体呈一个密闭盒体；

至少一个枢接结构，设在该盖体上，并枢接于该盒体的开口一端处，且该枢接结构枢接于该盒体与该盖体之处相对应；以及

至少一个限位扣，其设在该盒体一端且位于该开口处，并与该枢接结构相配合，该限位扣与该枢接结构可组卸的连接。

上述密闭式晶圆传送盒的该枢接结构包括一第一转轴及一与该第一转轴平行设置的第二转轴；该第一转轴的两端分别与该第二转轴的两端连接，且该第一转轴的轴表面与该第二转轴的轴表面相互不接触；该第一转轴与该限位扣可拆卸地枢接；该第二转轴与该盖体枢接。

上述密闭式晶圆传送盒的该盖体的内表面设有第一弹性夹持件；该盒体内设有第二弹性夹持件及第三弹性夹持件，且该第二、第三弹性夹持件两者与该第一弹性夹持件相对设置；该第一、第二、第三弹性夹持件三者与该各晶圆框架接触的表面均富弹性且呈波浪状，该波浪状可用于卡固该各晶圆框架。

上述密闭式晶圆传送盒的该盖体与该盒体间的接合处设有至少一用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的活动锁扣。

上述密闭式晶圆传送盒的该活动锁扣包含一活动连接轴片及一锁扣；该活动连接轴片的一端可旋转地连接于该盖体上，该活动连接轴片的另一端可旋转地连接于该锁扣的一端；该锁扣的另一端可拆卸地与该盒体连接。

上述密闭式晶圆传送盒的该盖体与该盒体间的接合处设有至少一用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的滑动锁扣。

上述的密闭式晶圆传送盒，其中，该滑动锁扣包含一长滑轨、一短滑轨及一滑扣；该长滑轨设于该盖体或该盒体上，且该短滑轨相对于该 长滑轨设置于相应的该盒体或该盖体上；该盖体与该盒体呈扣紧状态下，该滑扣与该长滑轨、该短滑轨两者滑配连接：该盖体与该盒体呈松开状态下，该滑扣与该长滑轨滑配连接。

上述密闭式晶圆传送盒的该盖体上设有一用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的旋动锁扣。

上述密闭式晶圆传送盒的该旋动锁扣包含一个旋转件及数根与该旋转件连动设置的连杆；该旋转件设置于该盖体的外表面；该各连杆设置于该盖体的内表面，且该各连杆的末端均设有勾扣；该盒体内设有与该各勾扣相配合的沟槽。

上述密闭式晶圆传送盒的该第一弹性夹持件包含有数个间隔条，其中该各间隔条的侧面呈现一个供引导并抵靠在该每一个晶圆框架相对于该盖体内面的对向边的V型开口，该两相邻间隔条之间具有一个供该各间隔条弹性接触该晶圆框架的对向边的间隙。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的密闭式晶圆传送盒，是由一盒体、一盖体、至少一枢接结构及至少一限位扣所构成，其中，该盒体是具有一容置空间，且于该盒体的一侧开设有一开口，其供数个晶圆框架经由该开口置入于该盒体；其中，置入该盒体内的晶圆框架为借助胶膜以将晶圆粘覆固定于该晶圆框架上；该盖体设于该开口处，且相对应于该开口，用以盖合于该开口，以使该盒体呈一密闭盒体；该枢接结构设在该盖体上，并枢接于该盒体的开口一端处，以使该枢接结构枢接该盒体与该盖体处可相对应；该限位扣设在该盒体一端且位于该开口处，用以与该枢接结构相配合，以使该限位扣能与该枢接结构组卸连接，通过将该盖体盖合于该盒体上，避免细微的灰尘在搬运中飘入该盒体内，进而提高该盒体内晶圆的良率。

附图说明

图1为本实用新型密闭式晶圆传送盒的结构示意图。

图2为本实用新型密闭式晶圆传送盒的分拆结构示意图。

图3为本实用新型密闭式晶圆传送盒中枢接结构与盒体结合的结构示意图。

图4为本实用新型密闭式晶圆传送盒中枢接结构与盒体拆分的结构示意图。

图5为本实用新型密闭式晶圆传送盒的内部俯视图。

图6为本实用新型密闭式晶圆传送盒于装载晶圆状态下的内部示意图。

图7a至图7c为本实用新型密闭式晶圆传送盒中活动锁扣的操作原理图。

图8为本实用新型密闭式晶圆传送盒中滑动锁扣的结构示意图。

图9为本实用新型密闭式晶圆传送盒中滑动锁扣于扣紧状态下的局部结构示意图。

图10为本实用新型密闭式晶圆传送盒中旋动锁扣的结构示意图。

图11为本实用新型密闭式晶圆传送盒中旋转件与连杆的结构示意图。

图12为本实用新型密闭式晶圆传送盒中旋动锁扣于扣紧状态下的局部结构示意图。

图13为本实用新型密闭式晶圆传送盒中旋动锁扣于松开状态下的局部结构示意图。

图14为本实用新型密闭式晶圆传送盒的第一弹性夹持件的结构示意图。

【主要元件符号说明】

[本实用新型]

1   密闭式晶圆传送盒

11  盒体

112 沟槽

12  盖体

13  枢接结构

131 第一转轴

132 第二转轴

14  限位扣

2   晶圆框架

3   晶圆

4   第一弹性夹持件

40  间隔条

41  间隙

42  凹口

43  凸部

5   第二弹性夹持件

6   第三弹性夹持件

7   活动锁扣

71  活动连接轴片

711 活动连接轴片的一端

712 活动连接轴片的另一端

72  锁扣

721 锁扣的另一端 

8   滑动锁扣

81  长滑轨

82  短滑轨

83  滑扣

9   旋动锁扣

91  旋转件

92  连杆

921 勾扣。

具体实施方式

为便于贵审查委员能对本实用新型的技术手段及运作过程有更进一步的认识与理解，兹举实施例配合图式，详细说明如下。

请参阅图1至图13，密闭式晶圆传送盒1，由一盒体11、一盖体12、至少一枢接结构13及至少一限位扣14所构成。

该盒体11具有一容置空间，且于该盒体11的一侧开设有一开口，其供数个晶圆或晶圆框架经由该开口置入于该盒体11内；其中，放入该 盒体11内的晶圆2可以是外缘能套设有晶圆框架3的晶圆2(如图6所示)；该盖体12设于该开口处，且相对应于该开口，用以盖合于该开口，以使该盒体11呈一密闭盒体；该枢接结构13设在该盖体12上，并枢接于该盒体11的开口一端处，以使该枢接结构13枢接该盒体11与该盖体12处可相对应；该限位扣14设在该盒体11一端且位于该开口处，用以与该枢接结构13相配合，从而使该限位扣14能与该枢接结构13组卸连接。通过枢接结构13将盖体12盖合于该盒体11上，当晶圆2放入盒体11中，该盖体12能减少空气中灰尘或微粒飘进盒体11内的风险，提高盒体11内晶圆2的良率。

本实施例中，该枢接结构13包括一第一转轴131及一与该第一转轴131平行设置的第二转轴132；该第一转轴131的两端分别与该第二转轴132的两端连接，且为避免摩擦产生细微的颗粒，该第一转轴131的轴表面与该第二转轴132的轴表面二者相互不接触；该第一转轴131与该限位扣14可拆卸地枢接，其中该限位扣14具有一球型曲面以枢接该第一转轴131；该第二转轴132与该盖体12枢接。通过第一转轴131与限位扣14枢接且第二转轴132与盖体12枢接，当盖体12掀开时，该盖体12能更平稳的放至于该盒体11上，且双轴结构的枢接结构13从而使盒体11与盖体12间的开合更加流畅。

本实施例中，该盖体12的内表面设有第一弹性夹持件4；该盒体11内设有第二弹性夹持件5及第三弹性夹持件6，且该第二弹性夹持件5、第三弹性夹持件6两者分别与该第一弹性夹持件4相对设置；该第一弹性夹持件4、第二弹性夹持件5、第三弹性夹持件6三者与该各晶圆框架接触的表面均富弹性且用于卡固该各晶圆框架3的波浪状。当晶圆2放入盒体11内并关上盖体12后，通过位于盖体12内表面的第一弹性夹持件4与第二弹性夹持件5及第三弹性夹持件6的夹持固定；富弹性且波 浪状表面结构的第一弹性夹持件4、第二弹性夹持件5及第三弹性夹持件6在密闭式晶圆传送盒1搬移时提供缓冲减震的作用，避免晶圆2在搬移时因震荡而损伤。值得一提的是该第一弹性夹持件4的结构特征如图14所示，其由数个间隔条40以水平阵列方式所构成，其中每一间隔条40的侧面呈现一V型开口，以引导并抵靠在每一晶圆框架3相对于该盖体12内面的对向边(如图5～图6所示)，而两相邻间隔条40之间具有一预设长度的间隙41，以供间隔条40弹性接触每一晶圆框架3的对向边，此外两相邻间隔条40的两相邻边，沿着该间隙41各凹设有多个凹口42及对应该各凹口42所凸设的多个凸部43，其中该每一凸部43用以导引定位每一晶圆框架无误置于该V型开口内而非间隙41。

本实施例中，该盖体12与该盒体11间的接合处设有至少一用于扣紧或松开该盖体12与该盒体11两者连接状态的活动锁扣7。当盖体12与盒体11盖合时，能通过活动锁扣7扣紧避免松动。

本实施例中，该活动锁扣7包含一活动连接轴片71及一锁扣72；该活动连接轴片71的一端811可旋转地连接于该盖体12上，该活动连接轴片71的另一端712可旋转地连接于该锁扣72的一端；该锁扣72的另一端721可拆卸地与该盒体11连接；该锁扣72通过该活动连接轴片71紧靠于该盖体12的状态下，该锁扣72的另一端卡固扣紧于该盒体11上(见图7a)；该锁扣72通过该活动连接轴片71远离于该盖体12的状态下，该锁扣72的另一端松开与该盒体11之间的连接(见图7b)；当要开启盖体12时，搬动锁扣72从而使锁扣72随活动连接轴片71运动远离盖体12，使锁扣72松开盒体11(如图7a、图7b、图7c依序所示)；当要闭合盖体12时，首先将锁扣72的另一端721扣住盒体11后，再搬动锁扣72使锁扣72随活动连接轴片71运动靠近盖体12，使锁扣72扣紧盒体11(如图7c、图7b、图7a依序所示)。

请参阅图8～图9，本实施例中，该盖体12与该盒体11间的接合处设有至少一用于扣紧或松开该盖体12与该盒体12两者连接状态的滑动锁扣8。当盖体12与盒体11盖合时，能通过滑动锁扣8扣紧避免松动。

在本实施例中，该滑动锁扣8包含一长滑轨81、一短滑轨82及一滑扣83；该长滑轨93设于该盖体12或该盒体11上，且该短滑轨82相对于该长滑轨81设置于相应的该盒体11或该盖体12上；该盖体12与该盒体11呈扣紧状态下，该滑扣83与该长滑轨81、该短滑轨82两者滑配连接(如图9所示)：该盖体12与该盒体11呈松开状态下，该滑扣83与该长滑轨81滑配连接(如图8所示)；该滑扣83滑配连接于该长滑轨81及该短滑轨82两者的状态下，该盖体12通过该滑扣83与该盒体11扣紧连接(如图9所示)；该滑扣83仅滑配连接于该长滑轨81的状态下，该盖体12与该盒体11呈松开状态(如图8所示)。

请参阅图10～图13，本实施例中，该盖体12上设有一用于扣紧或松开该盖体12与该盒体11两者连接状态的旋动锁扣9。当盖体12与盒体11盖合时，能通过旋动锁扣9扣紧避免松动。

在本实施例中，该旋动锁扣9包含一旋转件91及数根与该旋转件91连动设置的连杆92；该旋转件91设置于该盖体12的外表面；该各连杆92设置于该盖体12的内表面，且每该连杆92的末端均设有勾扣921；该盒体11内设有与该各勾扣921相配合的沟槽112；该旋转件91以逆方向带动该各勾扣921插入相对应的该沟槽112的状态下，该盖体12与该盒体11呈扣紧连接状态(如图12所示)；该旋转件91以顺方向带动该各勾扣脱离相对应的该沟槽的状态下，该盖体与该盒体呈松开状态(如图13所示)。

综上所述，本实用新型在于提供一种密闭式晶圆传送盒，由一盒体 及一盖体所构成，其中，该盒体具有一容置空间，该盒体的一侧面设有一用于将数个带有晶圆框架的晶圆放入该容置空间的开口；该盖体于该开口处设置，且与该盒体相配合；该盖体通过至少一个枢接结构与该盒体枢接；该盒体上设有与该枢接结构相配合的限位扣，且该枢接结构与该限位扣可拆卸地连接，通过将该盖体盖合于该盒体上，避免细微的灰尘在搬运中飘入该盒体内，进而提高该盒体内晶圆的良率。此外，本实用新型所揭露的密闭式晶圆传送盒所用的材质可以是选自于由塑胶、铝、金属合金所构成群组中的至少一种物质。

上列详细说明是针对本实用新型的可行实施例的具体说明，惟该实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施或变更，应包含于本实用新型的专利范围中。

Claims (10)

1.一种密闭式晶圆传送盒，其特征在于包括：

一个盒体，具有一个容置空间，且于该盒体的一侧开设有一个供数个晶圆框架置入于该盒体内的开口； 

一个盖体，设于该开口处，且相对应于该开口，盖合于该开口时该盒体呈一个密闭盒体；

至少一个枢接结构，设在该盖体上，并枢接于该盒体的开口一端处，且该枢接结构枢接于该盒体与该盖体之处相对应；以及

至少一个限位扣，其设在该盒体一端且位于该开口处并与该枢接结构相配合，该限位扣与该枢接结构可组卸的连接。

2.如权利要求1所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该枢接结构包括一个第一转轴及一个与该第一转轴平行设置的第二转轴；该第一转轴的两端分别与该第二转轴的两端连接；该第一转轴与该限位扣可拆卸地枢接；该第二转轴与该盖体枢接。

3.如权利要求2所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该盖体的内表面设有第一弹性夹持件；该盒体内设有第二弹性夹持件及第三弹性夹持件，且该第二、第三弹性夹持件两者与该第一弹性夹持件相对设置；该第一、第二、第三弹性夹持件三者与该各晶圆框架的接触表面均富弹性且呈波浪状。

4. 如权利要求1至3中任一项所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该盖体与该盒体间的接合处设有至少一个用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的活动锁扣。

5.如权利要求4所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该活动锁扣包含一个活动连接轴片及一个锁扣；该活动连接轴片的一端可旋转地连接于该盖体上，该活动连接轴片的另一端可旋转地连接于该锁扣的一端；该锁扣的另一端可拆卸地与该盒体连接。

6.如权利要求1至3中任一项所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该盖体与该盒体间的接合处设有至少一个用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的滑动锁扣。

7.如权利要求6所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该滑动锁扣包含一个长滑轨、一个短滑轨及一个滑扣；该长滑轨设于该盖体或该盒体上，且该短滑轨相对于该长滑轨设置于相应的该盒体或该盖体上；该盖体与该盒体呈扣紧状态下，该滑扣与该长滑轨、该短滑轨两者滑配连接：该盖体与该盒体呈松开状态下，该滑扣与该长滑轨滑配连接。

8.如权利要求1至3中任一项所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该盖体上设有一个用于扣紧或松开该盖体与该盒体两者连接状态的旋动锁扣。

9.如权利要求8所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该旋动锁扣包含一个旋转件及数根与该旋转件连动设置的连杆；该旋转件设置于该盖体的外表面；该各连杆设置于该盖体的内表面，且该各连杆的末端均设有勾扣；该盒体内设有与该各勾扣相配合的沟槽。

10.如权利要求3所述的密闭式晶圆传送盒，其特征在于：该第一弹性夹持件包含有数个间隔条，其中该各间隔条的侧面呈现一个供引导并抵靠在该每一个晶圆框架相对于该盖体内面的对向边的V型开口，该两相邻间隔条之间具有一个供该各间隔条弹性接触该晶圆框架的对向边的间隙。