CN204441260U - 硅片插片系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种硅片插片系统，包括用于输送硅片的硅片输送机构、用于输送盛装硅片的工装花篮的花篮输送机构、用于抓取及移动工装花篮的机械手、用于限定待插片的工装花篮的位置的限位机构，所述的限位机构包括相平行且沿竖直方向设置的第一侧立板和第二侧立板，所述的第一侧立板与所述的第二侧立板之间形成供工装花篮上下移动的通道，硅片在硅片输送机构上的移动路径的中心线与所述的通道的竖直中心线共面。本设计通过在插片位置处设置限位机构，用于对工装花篮的定位和升降进行限定，从而保证插片的准确性和升降移动的稳定性，有效降低了碎片率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片插片系统。
背景技术
将硅锭切割成硅片后，需要将硅片逐片插装在工装花篮中，由于硅片在硅片输送机构上的输出位置是不变的，所以需要在插片过程中，通过机械手实时移动工装花篮，并且机械手需要将空的工装花篮移至插片的位置及将满的工装花篮移走，这就需要每个位置都能够精确、稳定，特别是插片位置，要充分保证位置的精确性，否则会造成碎片。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种硅片插片系统，其在硅片进行插片的位置设置限位机构，既限定机械手能够准确放置工装花篮，又保证工装花篮上下移动时的稳定性，并且结构简单、成本低廉。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
一种硅片插片系统，包括用于输送硅片的硅片输送机构、用于输送盛装硅片的工装花篮的花篮输送机构、用于抓取及移动工装花篮的机械手、用于限定待插片的工装花篮的位置的限位机构，所述的限位机构包括相平行且沿竖直方向设置的第一侧立板和第二侧立板，所述的第一侧立板与所述的第二侧立板之间形成供工装花篮上下移动的通道，硅片在硅片输送机构上的移动路径的中心线与所述的通道的竖直中心线共面。
优选地，所述的第一侧立板和所述的第二侧立板之间连接设置有后侧板，所述的后侧板位于远离硅片输送机构的一侧，所述的第一侧立板、所述的后侧板与所述的第二侧立板的俯视图呈“Π”或“ㄇ”型。
优选地，所述的机械手上安装有压力传感器，所述的压力传感器的信号输出端连接在所述的机械手的控制电路中。
优选地，所述的机械手的控制电路中还连接有警灯或警笛。
优选地，所述的警灯或警笛并联在所述的机械手的控制电路中。
优选地，所述的花篮输送机构包括与所述的硅片输送机构相平行设置的用于输送空的工装花篮的第一输送机构和与所述的硅片输送机构相平行设置的用于输送满的工装花篮的第二输送机构。
优选地，所述的机械手包括设置在所述的第一输送机构对应所述的限位机构的位置的上方与所述的第二输送机构对应所述的限位机构的位置的上方之间的横梁、能够水平移动地设置在所述的横梁上的安装座、能够升降移动地设置在所述的安装座上的移动部、设置在所述的移动部的下端的用于抓取或释放工装花篮的夹持部。
本实用新型的有益效果在于：本设计通过在插片位置处设置限位机构，用于对工装花篮的定位和升降进行限定，从而保证插片的准确性和升降移动的稳定性，有效降低了碎片率。
附图说明
附图1为本实施例的硅片插片系统的结构示意图一；
附图2为本实施例的硅片插片系统的结构示意图二。
附图中：1、硅片输送机构；2、机械手；3、第一侧立板；4、第二侧立板；5、后侧板；6、第一输送机构；7、第二输送机构。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型作以下详细描述：
如附图1和附图2所示，一种硅片插片系统，包括用于输送硅片的硅片输送机构1、用于输送盛装硅片的工装花篮的花篮输送机构、用于抓取及移动工装花篮的机械手2、用于限定待插片的工装花篮的位置的限位机构，限位机构包括相平行且沿竖直方向设置的第一侧立板3和第二侧立板4，第一侧立板3与第二侧立板4之间形成供工装花篮上下移动的通道，硅片在硅片输送机构1上的移动路径的中心线与通道的竖直中心线共面。
更进一步地，第一侧立板3和第二侧立板4之间连接设置有后侧板5，后侧板5位于远离硅片输送机构1的一侧，第一侧立板3、后侧板5与第二侧立板4的俯视图呈“Π”或“ㄇ”型；机械手2上安装有压力传感器，压力传感器的信号输出端连接在机械手2的控制电路中；机械手2的控制电路中还连接有警灯或警笛；警灯或警笛并联在机械手2的控制电路中；花篮输送机构包括与硅片输送机构1相平行设置的用于输送空的工装花篮的第一输送机构6和与硅片输送机构1相平行设置的用于输送满的工装花篮的第二输送机构7。
上述的机械手2包括设置在第一输送机构6对应限位机构的位置的上方与第二输送机构7对应限位机构的位置的上方之间的横梁、能够水平移动地设置在横梁上的安装座、能够升降移动地设置在安装座上的移动部、设置在移动部的下端的用于抓取或释放工装花篮的夹持部。
工作过程：硅片经硅片输送机构1逐一输送至插片的预定位置，与此同时，第一输送机构6输送空的工装花篮，机械手2启动，沿横梁移动至对应的空工装花篮的上方并进行抓取，再移动至插片位置的上方并下降至与硅片输送机构1输出的硅片相对应的位置，逐一进行插片，待当前工装花篮装满后，硅片输送机构1停止，机械手2将满的工装花篮移至第二输送机构7上，由第二输送机构7送至指定位置，机械手2再去抓取下一个空的工装花篮，依上述过程进行循环。
工作过程中，若机械手2夹持工装花篮移至插片位置上方后下移时存在偏差，即工装花篮的下表面抵在第一侧立板3或第二侧立板4上，导致压力传感器检测输出不正常，从而引起警笛鸣起或警灯闪烁，并控制机械手2停止动作，提醒操作者及时进行调整后解除警报。
本设计通过在插片位置处设置限位机构，用于对工装花篮的定位和升降进行限定，从而保证插片的准确性和升降移动的稳定性，有效降低了碎片率。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅片插片系统，包括用于输送硅片的硅片输送机构、用于输送盛装硅片的工装花篮的花篮输送机构、用于抓取及移动工装花篮的机械手、用于限定待插片的工装花篮的位置的限位机构，其特征在于：所述的限位机构包括相平行且沿竖直方向设置的第一侧立板和第二侧立板，所述的第一侧立板与所述的第二侧立板之间形成供工装花篮上下移动的通道，硅片在硅片输送机构上的移动路径的中心线与所述的通道的竖直中心线共面。
2.根据权利要求1所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的第一侧立板和所述的第二侧立板之间连接设置有后侧板，所述的后侧板位于远离硅片输送机构的一侧，所述的第一侧立板、所述的后侧板与所述的第二侧立板的俯视图呈“Π”或“ㄇ”型。
3.根据权利要求1所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的机械手上安装有压力传感器，所述的压力传感器的信号输出端连接在所述的机械手的控制电路中。
4.根据权利要求3所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的机械手的控制电路中还连接有警灯或警笛。
5.根据权利要求4所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的警灯或警笛并联在所述的机械手的控制电路中。
6.根据权利要求1所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的花篮输送机构包括与所述的硅片输送机构相平行设置的用于输送空的工装花篮的第一输送机构和与所述的硅片输送机构相平行设置的用于输送满的工装花篮的第二输送机构。
7.根据权利要求6所述的硅片插片系统，其特征在于：所述的机械手包括设置在所述的第一输送机构对应所述的限位机构的位置的上方与所述的第二输送机构对应所述的限位机构的位置的上方之间的横梁、能够水平移动地设置在所述的横梁上的安装座、能够升降移动地设置在所述的安装座上的移动部、设置在所述的移动部的下端的用于抓取或释放工装花篮的夹持部。
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