CN204395653U - 一种真空清扫系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种真空清扫系统，包括真空泵组、分离器、电气控制柜和吸尘管道系统，所述真空泵组通过所述分离器与所述吸尘管道系统进行连接，所述电器控制柜控制连接所述真空泵组、所述分离器和所述吸尘管道系统。所述吸尘管道系统包括一主管道和多根分支管道，每一所述分支管道的一端头导通连接在所述主管道上，另一端头设置有一管道吹扫阀，并在所述分支管道两端头之间的不同管段位置上设置有用于外接清扫吸尘工具的连接阀。本实用新型的真空清扫系统具有清扫效率高，自动化程度均较高，运行稳定性和便捷性较好，且可以自动清洁管道内余灰的优点。

Description

一种真空清扫系统

技术领域

本实用新型涉及清扫系统设计的技术领域，尤其涉及一种用于半导体及LED液晶面板及光能元件生产的过程中的生产车间卫生清洁的真空清扫系统。

背景技术

现有的大型半导体及LED液晶面板及光能元件生产制造型工厂，生产芯片及元件，对生产的周围环境要求非常严格,灰尘等级要求有1万级、1千级、1百级，甚至有的生产企业要求10级。每天必须通过清洁人员对周围环境用无尘布或吸尘器进行清洁。人员使用量较大，导致进入无尘室次数增加，并且在清洁时因拖着清洁机器到处清理，无形当中会影响工作人员的操作。因无尘室面积较大，清理使用的一些器具无法在短时间内处理，甚至可能采生二次污染。

原有的清洁方式完全靠人力或简单的器具对环境卫生进行清洁，人力消耗大，使用清洁器具时有可能对生产操作有一定的影响，并且可能带来二次污染，也无法使整个无尘车间得到完全的清理，并且无法满足在清理时将清理物分成多个类型，多次处理的需要。

本次申请前对清扫系统进行了检索，发现了相关在先专利申请：申请号为201210502029.0，专利名称为一种真空清扫吸尘装置，包括袋式除尘器、旋风分离器、真空管道，所述的旋风分离器焊接在袋式除尘器上，所述的旋风分离器通过真空管道与袋式除尘器的进风口相连。其中，还包括罗茨真空泵，所述的罗茨真空泵的进风口通过真空管道与袋式除尘器的出风口相连通，所述的罗茨真空泵的出风口安装有消声器，所述的消声器上端安装出风帽。

申请号为200710012143.4，专利名称为碳素连续、集中清扫系统。该专利公开了一种碳素连续、集中清扫系统，其结构为：吸尘系统与灰尘输送管路连接，灰尘输送管路与收尘器连接，收尘器与储灰槽连接，收尘器与动力系统连接；它包括设置在各层楼面的多个吸尘罩、每隔吸尘罩经吸尘软管和管路与各自楼层的吸尘输送管连接，在吸尘软管和各自楼层的吸尘输送管之间的管路上设有调节阀，收尘器是由与灰尘输送管路连接的旋风收藏起和旋风收尘器通过管路连接的布袋收尘器构成。

通过上述检索发现，现有的清扫方式大多依靠人工清洁或利用家用型吸尘器拖动式进行环境卫生清洁，存在人工消耗量大，不好管理，效率低，无法短时间完成环境卫生清理的缺陷和垃圾处理分类难度大、二次污染可能性高的缺陷。而同时也发现了在先专利申请：所述真空清扫吸尘装置和所述碳素连续、集中清扫系统，所述真空清扫吸尘装置无法满足大范围清扫吸尘的需求，所述碳素连续、集中清扫系统虽然能够连续集中进行清扫吸尘，但是无法进行自清洁，在现场清扫吸尘完成时，设备停止运行，管道内的余灰没有及时吸出，容易造成积灰，影响设备的再次运行和清扫效果。此外，现有的清扫系统的自动化程度均较低，运行稳定性和便捷性较差，需要进一步改进。

因此，本申请人致力于开发一种清扫效率高，自动化程度均较高，运行稳定性和便捷性较好，且可以自动清洁管道内余灰的真空清扫系统。

实用新型内容

本实用新型的目的，就是提出一种清扫效率高，自动化程度均较高，运行稳定性和便捷性较好，且可以自动清洁管道内余灰的真空清扫系统。

本实用新型为解决上述技术问题，提供了一种真空清扫系统，包括：用于产生负压动力的真空泵组，用于气尘分离的分离器，用于控制整个系统自动运行的电气控制柜，以及用于传送负压动力和进行真空清扫的吸尘管道系统。

所述真空泵组通过所述分离器与所述吸尘管道系统进行连接，所述电气控制柜控制连接所述真空泵组、所述分离器和所述吸尘管道系统。

所述吸尘管道系统包括一用于连接至所述分离器上的主管道和多根设置在车间各位置上的分支管道，每一所述分支管道的一端头导通连接在所述主管道上，所述分支管道的另一端头设置有一用于管道自清洁的管道吹扫阀，并在所述分支管道两端头之间的不同管段位置上设置有用于外接清扫吸尘工具的连接阀。

较佳的，所述管道吹扫阀为电磁阀，所述电气控制柜控制连接每一所述管道吹扫阀。

较佳的，所述主管道上设置有用于调整真空及保护设备的呼吸阀，所述电气控制柜控制连接所述呼吸阀。

较佳的，所述主管道上设置有用于监测系统压力的压力变送器，所述电气控制柜控制连所述压力变送器。

较佳的，所述分离器包括壳体、树脂滤芯和垃圾桶，所述树脂滤芯设置在所述壳体内，所述垃圾桶设置在所述壳体的下部，用于承接过滤出的固态垃圾，在所述壳体上还设置有一用于外接清洗设备对所述树脂滤芯进行清洗的喷洗阀。

较佳的，所述壳体上还设置有用于判断所述树脂滤芯堵塞的压差表。

较佳的，所述喷洗阀为电磁阀，所述电气控制柜分别控制连接所述喷洗阀和所述压差表。

较佳的，所述真空泵组上设置有破坏阀。

综上所述，本实用新型真空清扫系统具有如下有益效果：

1、本实用新型克服了原有完全依靠人工清洁或利家家用型吸尘器拖动式进行环境卫生清洁的处理方法所存在的缺陷，有效的降低了人工消耗量，提高了工作效率，且没有二次污染问题，清扫过程也不影响其他工作人员的正常作业。

2、本实用新型克服了现有清扫系统无法自清洁的缺陷，实现了在现场清扫吸尘完成时，只需打开相应的管道吹扫阀，与外界大气导通，即可利用负压作用，将管道内没有及时吸出的余灰进行彻底的清扫。

3、本实用新型的自动化程度较高，稳定性和安全性能较高，本实用新型通过利用电气控制柜和各部件进行控制连接，可实时监测系统的运行情况，并进行相应的调节，可以有效的根据实际生产需求进行调节，并有效的降低设备实际运行功率。

4、本实用新型可自动连续运行，并有自我恢复能力，使用寿命较长，且无需垃圾分类，可一次性处理。

5、本实用新型尤其适合应用在半导体及光能元件生产制造型工厂的无尘车间中，可将分支管道铺设在无尘车间各清洁位置上，清洁操作人员在相近的连接阀连接上清扫吸尘工具即可，而无需拖动清洁机器或多次进出无尘车间，也不会影响他人操作。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：

图1为具体实施例真空清扫系统的结构示意图。

图2为具体实施例分离器的结构示意图。

附图标号说明：

真空泵组100，破坏阀110，分离器200，壳体210，树脂滤芯220，垃圾桶230，喷洗阀240，压差表250，电气控制柜300，吸尘管道系统400，主管道410，分支管道420，管道吹扫阀430，连接阀440，呼吸阀450，压力变送器460。

具体实施方式

本实施例公开了一种真空清扫系统，包括：用于产生负压动力的真空泵组100，用于气尘分离的分离器200，用于控制整个系统自动运行的电气控制柜300，以及用于传送负压动力和进行真空清扫的吸尘管道系统400。

如图1所示，本实施例的真空泵组100通过分离器200与吸尘管道系统400进行连接，电气控制柜300控制连接真空泵组100、分离器200和吸尘管道系统400。

本实施例的吸尘管道系统400包括一用于连接至所述分离器上的主管道410和多根设置在车间各位置上的分支管道420，每一分支管道420的一端头导通连接在主管道410上，分支管道420的另一端头设置有一用于管道自清洁的管道吹扫阀430，并在分支管道420两端头之间的不同管段位置上设置有用于外接清扫吸尘工具的连接阀440。

具体的，本实施例的电气控制柜300选用PLC控制柜，本实施例的管道吹扫阀430为电磁阀，并在主管道410上设置有用于调整真空及保护设备的呼吸阀450和用于监测系统压力的压力变送器460，在真空泵组100上设置有破坏阀110，电气控制柜300分别控制连接每一管道吹扫阀430、呼吸阀450和压力变送器460。

示例性的，如图2所示，本实施例的分离器200包括壳体210、树脂滤芯220和垃圾桶230，树脂滤芯220设置在壳体210内，垃圾桶230设置在壳体210的下部，用于承接过滤出的固态垃圾，在壳体210上还设置有一用于外接清洗设备对所述树脂滤芯进行清洗的喷洗阀240和一用于判断所述树脂滤芯堵塞的压差表250。在本实施例中，喷洗阀240选用电磁阀，电气控制柜300分别控制连接喷洗阀240和压差表250。

在具体实施过程中，本实施例涉及的真空泵组、分离器、电气控制柜、压差表、传感器件、各连接管道和/或各阀门等部件还可以根据需要进行选购使用，此处不再赘述。

示例性的，将本实施例的真空清扫系统应用在半导体及光能元件生产工厂的无尘车间中，具体应用情况如下：

如图1所示，在无尘车间内均匀布置七根分支管道420，再由主管道410接出至设置在车间外部的分离器200上，分离器200再与真空泵组100相连，压力变送器460所测数据反馈给电气控制柜300，由电气控制柜300发出指令，真空泵组100启动，并在吸尘管道系统400内产生一定量的真空度，这时候车间内的清洁人员可以在靠近所要清扫位置的连接阀440上连接清扫吸尘工具，即可进行车间内环境卫生的清洁，也可以多个位置同时使用。

当所有人全部结束清扫工作后，压力变送器460会实时接收到信号，并通过电气控制柜300控制设备停止运行。整个操作过程，无需人员操作，完全做到自动化。当车间清扫工作结束后，手动或信号控制管道吹扫阀430打开，吸尘管道系统由末端与外部大气导通，由于吸尘管道系统内部是负压状态，所以外部气流会由管道吹扫阀430进入对应的分支管道420末端，对各分支管道420进行自清洁吹扫，将管道内未来得及进入分离器的垃圾，尽量的靠近或进入分离器200，避免吸尘管道系统400内积灰。此外，当设备结束运转后，还可以手动或信号控制喷洗阀240接通外部清洗设备对分离器200的树脂滤芯220进行喷洗清理，延长树脂滤芯220的使用寿命和提高其过滤效果。

采取了上述技术方案以后，实践经验表明，本实施例具有下面的技术优点：1、效率高，人员使用量大大减少2、设备可自动连续运行，并有自我清洁和恢复能力，使用寿命较长3、无需垃圾分类，可一次性处理。4、综合地降低了系统的生产运行成本，也间接地给生产企业创造了更高的经济效益，本实施例大大提高了车间各生产点的稳定性，从而大大提供了生产产品的总体质量，进而使得生产高产能产效，是半导体及光能元件生产制造型工厂的生产产量质量提高技术之一。

以上述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种真空清扫系统，其特征在于，包括：

用于产生负压动力的真空泵组，

用于气尘分离的分离器，

用于控制整个系统自动运行的电气控制柜，以及

用于传送负压动力和进行真空清扫的吸尘管道系统；

所述真空泵组通过所述分离器与所述吸尘管道系统进行连接，所述电气控制柜控制连接所述真空泵组、所述分离器和所述吸尘管道系统；

所述吸尘管道系统包括一用于连接至所述分离器上的主管道和多根设置在车间各位置上的分支管道，每一所述分支管道的一端头导通连接在所述主管道上，所述分支管道的另一端头设置有一用于管道自清洁的管道吹扫阀，并在所述分支管道两端头之间的不同管段位置上设置有用于外接清扫吸尘工具的连接阀。

2.如权利要求1所述的真空清扫系统，其特征在于：所述管道吹扫阀为电磁阀，所述电气控制柜控制连接每一所述管道吹扫阀。

3.如权利要求1所述的真空清扫系统，其特征在于：所述主管道上设置有用于调整真空及保护设备的呼吸阀，所述电气控制柜控制连接所述呼吸阀。

4.如权利要求1所述的真空清扫系统，其特征在于：所述主管道上设置有用于监测系统压力的压力变送器，所述电气控制柜控制连所述压力变送器。

5.如权利要求1所述的真空清扫系统，其特征在于：所述分离器包括壳体、树脂滤芯和垃圾桶，所述树脂滤芯设置在所述壳体内，所述垃圾桶设置在所述壳体的下部，用于承接过滤出的固态垃圾，在所述壳体上还设置有一用于外接清洗设备对所述树脂滤芯进行清洗的喷洗阀。

6.如权利要求5所述的真空清扫系统，其特征在于：所述壳体上还设置有用于判断所述树脂滤芯堵塞的压差表。

7.如权利要求6所述的真空清扫系统，其特征在于：所述喷洗阀为电磁阀，所述电气控制柜分别控制连接所述喷洗阀和所述压差表。

8.如权利要求1所述的真空清扫系统，其特征在于：所述真空泵组上设置有破坏阀。