CN114518696A - 清洁系统、曝光机台及清洁方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种清洁系统、曝光机台及清洁方法；清洁系统集成于曝光机台中，曝光机台包含浸没罩及可平移地设置于浸没罩下方的工作台；清洁系统包含图像采集单元、清洁单元以及控制单元；图像采集单元设置于工作台表面，用以采集浸没罩的通孔的图像信息；清洁单元包含清洁管及真空泵，清洁管设置于工作台内部，且一端由工作台顶面伸出，真空泵连接于清洁管另一端；控制单元电连接于图像采集单元和真空泵；控制单元用以根据图像信息判断通孔是否堵塞，控制工作台平移，使清洁管一端位于堵塞的通孔的正下方，并控制真空泵通过清洁管对堵塞的通孔施加负压，以清洁浸没罩。

Description

清洁系统、曝光机台及清洁方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种清洁系统、曝光机台及清洁方法。

背景技术

曝光机台的浸没罩中存在超纯水，在维持水流稳定时需要数量较多的进水孔和出水孔。当一些进水孔或出水孔堵塞时，会造成浸没罩的水流不稳、存在气泡或者水流分布不均等问题，进而造成晶圆表面缺陷。

为检测和清洁浸没罩上堵塞的孔洞，现有的浸没罩通孔检测方案为：将曝光机台停机，对浸没罩的孔洞进行逐一检测，并在发现堵塞的孔洞时，采用手动清理方式去除污染源。

然而，上述现有检测和清洁方案中，由于采用手动清理、拆装曝光机台的方式，为工程师增加了大量工作量，且拆装过程中容易出现结构损伤。并且，上述现有方案中，需要在检测和清理前将曝光机台停机，导致曝光机台停机和重启都需要耗费较长时间，严重影响曝光机台的产能。

发明内容

本发明的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种无需曝光机停机即可自动清洁浸没罩的通孔的清洁系统。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种清洁系统；其中，所述清洁系统集成于曝光机台中，所述曝光机台包含浸没罩及可平移地设置于所述浸没罩下方的工作台；所述清洁系统包含图像采集单元、清洁单元以及控制单元；所述图像采集单元设置于所述工作台表面，用以采集所述浸没罩的通孔的图像信息；所述清洁单元包含清洁管及真空泵，所述清洁管设置于所述工作台内部，且一端由所述工作台顶面伸出，所述真空泵连接于所述清洁管另一端；所述控制单元电连接于所述图像采集单元和所述真空泵；其中，所述控制单元用以根据所述图像信息判断所述通孔是否堵塞，控制所述工作台平移，使所述清洁管一端位于堵塞的所述通孔的正下方，并控制所述真空泵通过所述清洁管对堵塞的所述通孔施加负压，以清洁所述浸没罩。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁单元还包含驱动机构；所述驱动机构设置于所述工作台内部，所述驱动机构用以驱动所述清洁管移动，而使所述清洁管一端可伸缩地由所述工作台顶面伸出；其中，所述控制单元电连接于所述驱动机构，据此控制所述驱动机构驱动所述清洁管，使所述清洁管一端与堵塞的所述通孔连通。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁管上设置有驱动固定结构，所述驱动固定结构连接于所述驱动机构，以供所述驱动机构通过所述驱动固定结构驱动所述清洁管移动。

根据本发明的其中一个实施方式，所述驱动机构包含电机、主动轮、从动轮、传动带及连接件，所述电机用以驱动所述主动轮，所述主动轮通过所述传动带与所述从动轮传动连接，所述连接件连接于所述传动带与所述清洁管之间。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁管伸出于所述工作台顶面的一端设置有接头，所述工作台顶面设置有卡扣，所述清洁管一端设置的接头穿过所述卡扣，以使所述卡扣与所述接头单向卡接固定。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁单元还包含定位导向管；所述定位导向管设置于所述工作台内部，并具有第一段和第二段，所述第一段沿水平方向延伸，所述第二段一端连接于所述第一段，另一端弯曲向上延伸；其中，所述清洁管穿设于所述定位导向管内，以使所述清洁管一端保持沿竖直方向伸出于所述工作台顶面，且另一端沿水平方向延伸。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁单元还包含控制阀组；所述控制阀组设置于所述清洁管上；其中，所述控制单元电连接于所述控制阀组，用以控制所述控制阀组调节所述清洁管的开闭和流量。

根据本发明的其中一个实施方式，所述真空泵通过所述清洁管抽真空的负压流量为10L/min～30L/min。

根据本发明的其中一个实施方式，所述图像采集单元为摄像机；其中，所述摄像机具有可变焦功能；和/或，所述摄像机的分辨率大于或者等于720p。

根据本发明的其中一个实施方式，所述图像采集单元设置于所述工作台侧面，所述图像采集单元与所述清洁管的伸出于所述工作台顶面的一端相邻布置。

根据本发明的其中一个实施方式，所述控制单元预设有图像参照信息，所述图像参照信息表征所述浸没罩的通孔未堵塞时的图像；其中，所述控制单元通过将所述图像参照信息，与所述图像采集单元采集到的所述图像信息进行比对，以此与判断所述通孔是否堵塞。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洁系统还包含自清洁单元，所述自清洁单元包含自清洁管以及清洗液源；所述自清洁管通过多个接口连接于所述清洁管；所述清洗液源连接于所述自清洁管，用以储存和供应清洗液；其中，所述控制单元电连接于所述清洗液源，用以控制所述清洗液源向所述自清洁管输送清洗液，并经由所述多个接口喷洒至所述清洁管内。

根据本发明的其中一个实施方式，所述清洗液包含酒精。

根据本发明的其中一个实施方式，所述接口的连接于所述清洁管的一端设置有喷雾结构，以使流经所述喷雾结构的清洗液呈喷雾状喷洒至所述清洁管内。

由上述技术方案可知，本发明提出的清洁系统的优点和积极效果在于：

本发明提出的清洁系统，包含图像采集单元、清洁单元以及控制单元。控制单元能够根据图像采集单元采集到的图像信息，判断浸没罩的通孔是否堵塞，并能够控制清洁系统对堵塞的通孔施加负压，使得造成通孔堵塞的污染被清除。通过上述设计，本发明能够在曝光机无需停机的前提下，检测浸没罩的通孔的实时状况，减少因停机和拆装曝光机造成的产能问题。并且，本发明能够实现对浸没罩的堵塞的通孔的自动清理，避免因拆装及手工清理而产生的巨大人力浪费。本发明提出的清洁系统，具有堵塞检测效率较高、检测及时准确、自动化清洁等优点。

本发明的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有本发明提出的清洁系统的曝光机。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种曝光机台，所述曝光机台包含工作台以及浸没罩，所述工作台可平移地设置于所述浸没罩下方；其中，所述曝光机台还包含本发明提出的并在上述实施方式中详细说明的所述清洁系统。

由上述技术方案可知，本发明提出的曝光机台的优点和积极效果在于：

本发明提出的曝光机台，通过采用本发明提出的清洁系统，能够无需停机即可完成对浸没罩的通孔的检测和清洁。通过上述设计，本发明提出的曝光机台具有产能较高、检测及清洁耗费人力较少、产品良率较高的优点。

本发明的又一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种清洁方法。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

根据本发明的一个方面，提供一种清洁方法；其中，所述清洁方法应用于包含本发明提出的并在上述实施方式中所述的清洁系统的曝光机台，所述清洁方法包含：

通过图像采集单元采集浸没罩的通孔的图像信息；

通过控制单元根据所述图像信息判断通孔是否堵塞；

通过所述控制单元控制工作台平移，使清洁管一端位于堵塞的所述通孔的正下方；

通过所述控制单元控制真空泵通过所述清洁管对堵塞的所述通孔施加负压，以清洁所述浸没罩。

由上述技术方案可知，本发明提出的清洁方法的优点和积极效果在于：

本发明提出的清洁方法，通过采用本发明提出的清洁系统，对曝光机台进的浸没罩的通孔进行检测和清洁，能够无需停机即可完成对浸没罩的通孔的检测和清洁。通过上述设计，本发明提出的清洁方法在实现清洁功能的同时，能够保证曝光机台的产能，降低检测及清洁耗费人力，提高产品良率。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本发明的优选实施方式的详细说明，本发明的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本发明的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1是根据一示例性实施方式示出的一种清洁系统设置于曝光机台的布置示意图；

图2是图1示出的清洁系统的系统框图；

图3是根据另一示例性实施方式示出的一种清洁系统设置于曝光机台的布置示意图；

图4是图3示出的清洁系统的局部放大图。

附图标记说明如下：

110.浸没罩；

111.通孔；

120.工作台；

130.排气管；

140.交互界面；

150.自动化系统；

200.图像采集单元；

310.清洁管；

311.驱动固定结构；

312.接头；

313.卡扣；

320.真空泵；

331.主动轮；

332.从动轮；

333.传动带；

334.连接件；

340.定位导向管；

341.第一段；

342.第二段；

350.控制阀组；

400.控制单元；

510.自清洁管；

511.接口；

512.喷雾结构；

520.清洗液源；

600.服务器；

610.终端设备；

700.厂务净化装置；

d.距离。

具体实施方式

体现本发明特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本发明。

在对本发明的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本发明的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本发明的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本发明范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本发明的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本发明的范围内。

参阅图1，其代表性地示出了本发明提出的清洁系统设置于曝光机台的布置示意图。在该示例性实施方式中，本发明提出的清洁系统是以应用于曝光机台为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将本发明的相关设计应用于其他类型的设备或其他工艺中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本发明提出的清洁系统的原理的范围内。

如图1所示，在本实施方式中，本发明提出的清洁系统能够集成于曝光机台中，该曝光机台包含工作台120以及浸没罩110，工作台120可平移地设置于浸没罩110的下方。其中，清洁系统包含图像采集单元200、清洁单元以及控制单元400。配合参阅图2至图4，图2中代表性地示出了能够体现本发明原理的清洁系统的系统框图；图3中代表性地示出了能够体现本发明原理的另一示例性实施方式，具体示出了在该实施方式中清洁系统设置于曝光机台的布置示意图；图4中代表性地示出了图3的局部放大图。以下将结合上述附图，对本发明提出的清洁系统的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说。

如图1和图2所示，在本实施方式中，图像采集单元200设置于工作台120表面，图像采集单元200能够用于采集浸没罩110的通孔111的图像信息。清洁单元包含清洁管310以及真空泵320。清洁管310设置于工作台120内部，清洁管310的一端由工作台120顶面伸出，真空泵320连接于清洁管310的另一端。其中，为了便于描述，以下定义清洁管310的伸出于工作台120顶面的一端为其第一端，并定义清洁管310的另一端为第二端。控制单元400电连接于图像采集单元200和真空泵320。据此，控制单元400能够根据图像采集单元200采集到的图像信息判断通孔111是否堵塞，如果判断某一通孔111堵塞，控制单元400能够控制工作台120平移，而使清洁管310的第一端位于堵塞的通孔111的正下方，并控制真空泵320通过清洁管310对堵塞的通孔111施加负压，以此清洁浸没罩110。其中，为了便于描述，以下定义待清洁的堵塞的通孔111为目标通孔。

通过上述设计，本发明能够在曝光机无需停机的前提下，检测浸没罩110的通孔111的实时状况，减少因停机和拆装曝光机造成的产能问题。并且，本发明能够实现对浸没罩110的堵塞的通孔111的自动清理，避免因拆装及手工清理而产生的巨大人力浪费。本发明提出的清洁系统，具有堵塞检测效率较高、检测及时准确、自动化清洁等优点。

另外，以晶圆的“涂胶-曝光-显影”的工艺为例，现有的检测方案是在显影后的最终产品出现缺陷后，判断产品缺陷是否由于曝光阶段的浸没罩110通孔111堵塞而产生，然后再将曝光机停机并手动清洁浸没罩110通孔111。相比之下，本发明提出的清洁系统与现有方案存在本质差异和显著区别，本发明是在无需曝光机停机的基础上，直接对浸没罩110通孔111进行实时、便捷、精确的检测，一旦发现通孔111堵塞可以不停机直接进行清洁，实现了早发现，早清理的检测和清洁功能，避免通孔111已经堵塞的浸没罩110连续影响一个批次甚至多个批次的产品的最终良率。

可选地，如图1所示，在本实施方式中，清洁单元还可以包含驱动机构。具体而言，该驱动机构设置于工作台120内部，驱动机构能够用于驱动清洁管310移动，从而使得清洁管310的第一端可伸缩地由工作台120的顶面伸出，即实现对清洁管310伸出工作台120顶面的行程调节和控制。举例而言，以浸没罩110与工作台120之间的距离d为5cm为例，且以未进行清洁动作时的清洁管310的第一端大致与工作台120的顶面平齐为例，则如在清洁时需要清洁管310的第一端接触于浸没罩110，则驱动机构驱动清洁管310的驱动行程大致为5cm。在此基础上，控制单元400电连接于驱动机构，控制单元400能够控制驱动机构驱动清洁管310，使得清洁管310的第一端与目标通孔连通。通过上述设计，本发明能够实现对清洁管310的伸缩调控，在清洁单元未工作时，通过缩回清洁管310而避免对浸没罩110的正常运行产生影响，并在清洁单元工作时，通过伸出清洁管310而实现其与目标通孔的靠近或者接触，使得负压环境更加充分地作用在目标通孔处，进一步优化清洁效果。

承上所述，在本实施方式中，清洁管310可以选用塑料软管，以便其在水平方向与竖直方向之间的移动弯折过程中不会折断破损，关于上述弯折设计将在下述内容中叙明，在此不予赘述。在其他实施方式中，清洁管310亦可采用其他材质的软管，或可采用硬质管材，均不以本实施方式为限。

进一步地，如图1所示，基于清洁单元包含驱动机构的设计，在本实施方式中，清洁管310上可以设置有驱动固定结构311，该驱动固定结构311连接于驱动机构，以供驱动机构通过驱动固定结构311驱动清洁管310移动。其中，驱动固定结构311可以例如为支架或者硬质的管件，清洁管310可以部分设置或者穿设于该支架或者管件上。通过上述设计，由于本实施方式中清洁管310采用塑料软管，驱动固定结构311能够在软质的清洁管310与驱动机构之间形成结构连接，进一步优化对清洁管310的驱动效果。

进一步地，如图1所示，基于清洁单元包含驱动机构的设计，在本实施方式中，驱动机构可以包含电机、主动轮、从动轮332以及传动带333。具体而言，电机设置于工作台120并用以驱动主动轮331。从动轮332设置于工作台120。传动带333传动连接于主动轮331与从动轮332之间。在此基础上，清洁管310可以通过连接件334与传动带333相连接。

进一步地，如图1所示，基于驱动机构包含传动带333，且清洁管310上设置有驱动固定结构311的设计，在本实施方式中，驱动固定结构311可以通过连接件与传动带333连接。

进一步地，基于驱动机构包含电机的设计，在本实施方式中，电机可以选用微型马达。

可选地，如图1所示，在本实施方式中，清洁管310的第一端可以设置有接头312。相对应的，工作台120的顶面可以设置有卡扣313。在此基础上，清洁管310的第一端设置的接头312穿过该卡扣313，卡扣313与接头312单向卡接固定(即卡扣313卡止接头312向下缩回)。

可选地，如图1所示，在本实施方式中，清洁单元还可以包含定位导向管340。具体而言，该定位导向管340设置于工作台120内部，并具有第一段341和第二段342。第一段341沿水平方向延伸，第二段342一端连接于第一段341，另一端弯曲向上延伸。其中，清洁管310穿设于定位导向管340内，以使清洁管310的第一端保持沿竖直方向伸出于工作台120顶面，且第二端沿水平方向延伸。

需说明的是，本实施方式中是以清洁管310的第一端沿竖直方向伸出，且清洁管310的第二端沿水平方向伸出并连接于真空泵320为例进行说明。在其他实施方式中，在浸没罩110位于工作台120上方的结构基础上，在保证清洁管310的第一端沿竖直方向伸出的前提下，清洁管310的第二端亦可沿其他方向延伸，例如倾斜方向或者竖直方向，并不限于本实施方式中的水平方向。换言之，本实施方式中采用清洁管310的第二端沿水平方向延伸的设计，能够适于将真空泵320布置在于工作台120近似相同的水平面上。在其他实施方式中，根据不同的布置需要，清洁管310的延伸方向亦可灵活调整。例如，如将真空泵320布置在工作台120的下方，则清洁管310的第二端亦可沿竖直方向向下延伸，在此基础上，亦可不设置上述定位导向管340，均不以本实施方式为限。

可选地，如图1和图2所示，在本实施方式中，清洁单元还可以包含控制阀组350，该控制阀组350设置于清洁管310上。在此基础上，控制单元400电连接于控制阀组350，控制单元400能够控制控制阀组350，调节清洁管310的开闭和流量(抽真空的负压流量)。

进一步地，基于清洁单元包含控制阀组350的设计，在本实施方式中，控制阀组350可以包含电磁阀。

可选地，在本实施方式中，真空泵320通过清洁管310抽真空的负压流量可以为10L/min～30L/min，例如10L/min、15L/min、25L/min、30L/min等。在其他实施方式中，清洁管310的抽真空的负压流量亦可小于10L/min，或可大于30L/min，例如9L/min、32L/min等，并不以本实施方式为限。

进一步地，基于清洁管310的抽真空的负压流量为10L/min～30L/min的设计，在本实施方式中，清洁管310的抽真空的负压流量可以进一步为20L/min。

可选地，如图2所示，在本实施方式中，真空泵320具体可以通过吸气端连接于清洁管310的第二端，对于真空泵320的排气端，可以将该排气端通过排气管130与外部净化装置相连接，以实现对抽真空过程中的排放气体的收集净化。其中，排气管130可以利用曝光机台的排气管130，外部净化装置可以为曝光机台所连接的厂务净化装置700。

可选地，在本实施方式中，图像采集单元200可以直接采集整个浸没罩110底部的图像，并将相应的图像信息发送至控制单元400。据此，控制单元400能够对表征整个浸没罩110底部的图像信息进行对比，例如可以上传至服务器600进行污染堵塞位置检索，待确定目标通孔的具体位置后再通过控制单元400发出控制指令，进行工作台120的平移和清洁单元的清洁。

可选地，在本实施方式中，图像采集单元200可以包含摄像机。在其他实施方式中，图像采集单元200亦可包含CCD图像传感器或者红外传感器等图像采集器件，并不以本实施方式为限。

进一步地，基于图像采集单元200包含摄像机的设计，在本实施方式中，摄像机可以具有可变焦功能。通过上述设计，本发明能够利用摄像机实现变焦拍摄，进一步优化图像信息的采集，使得对浸没罩110的通孔111的检测更加精确、灵敏。在其他实施方式中，当图像采集单元200包含摄像机时，根据不同的拍摄需要，摄像机亦可包含其他摄像功能，并不以本实施方式为限。

进一步地，基于图像采集单元200包含摄像机的设计，在本实施方式中，摄像机的分辨率可以大于或者等于720p，例如720p、1080p等。通过上述设计，本发明能够利用摄像机实现高清图像的拍摄，进一步优化图像信息的采集，使得对浸没罩110的通孔111的检测更加精确、灵敏。

可选地，在本实施方式中，图像采集单元200可以由曝光机台的机台电源供电，亦可自带独立电源。

可选地，在本实施方式中，图像采集单元200可以设置于工作台120的侧面，图像采集单元200与清洁管310的第一端(例如卡扣313)可以为相邻布置。例如，图像采集单元200与清洁单元可以设置在工作台120的同一侧的侧边，在此基础上，卡扣313于图像采集单元200相邻接。通过上述设计，当图像采集单元200对某一个通孔111进行图像采集，且控制单元400判断该通孔111堵塞时，由于清洁管310的第一端与图像采集单元200相连接，因此无需再次驱动工作台120平移，而能够直接控制清洁单元执行清洁动作，进一步提高本发明的工作效率。

可选地，在本实施方式中，控制单元400可以预设有图像参照信息，该图像参照信息能够表征浸没罩110的通孔111未堵塞时的图像。据此，控制单元400通过将图像参照信息，与图像采集单元200采集到的图像信息进行比对，以此与判断浸没罩110的通孔111是否堵塞。

可选地，在本实施方式中，本发明提出的清洁系统亦可根据最终产品表现出的产品缺陷进行反馈控制清洁动作。具体而言，当晶圆产线的自动化系统150提取显影机台的晶圆表面缺陷检测信息(例如WIS图像)时，能够判断曝光机台的浸没罩110的通孔111是否堵塞。当判断浸没罩110的通孔111堵塞时，控制单元400可以根据自动化系统150的反馈，控制工作台120平移至浸没罩110下方，并控制图像采集单元200对浸没罩110的通孔111进行图像信息采集，控制单元400可以据此通过图像算法，判断每个通孔111是否被堵住，如果有通孔111堵塞，控制单元400再控制清洁单元执行清洁动作。

可选地，在本实施方式中，控制单元400可以集成于曝光机台的控制系统160，例如曝光机台的CPU。在此基础上，控制单元400能够通过曝光机台的控制系统160分别与产线的自动化系统150和服务器600相连接，并能够通过服务器600与例如个人PC、手机、Pad等终端设备610实现信息交互和远程操控。另外，控制单元400还可以连接于曝光机台的交互界面140，例如曝光机台的操控面板及其显示屏，用以显示监测结果和清洁状态。

可选地，在本实施方式中，当曝光机台进行连续多个批次的晶圆的曝光处理时，产线的自动化系统150会向曝光机台的控制系统160发出指令，清洁系统的控制单元400据此能够在曝光机台相邻批次的间隔空闲时间内，控制图像采集单元200和清洁单元对浸没罩110进行检测和清洁。

可选地，在本实施方式中，控制单元400可以设置有定期信息反馈功能，例如，可在控制单元400中预设时间间隔，按照该时间间隔对曝光机台的浸没罩110进行定期监测，并向产线的自动化系统150反馈信息并协助判断是否需要清理，据此能够有助于预防产品缺陷产生。

可选地，在本实施方式中，控制单元400可以将每一次检测和清洁的数据上传至服务器600，服务器600可以采用大数据的算法计算出浸没罩110的通孔111出现堵塞的情况的规律性，据此可以在曝光机台保养时相应增加应对上述堵塞规律的养护项目，从而降低通孔111堵塞的出现几率。

基于上述对本发明提出的清洁系统的一示例性实施方式的详细说明，以下将结合图3和图4，对本发明提出的清洁系统的另一示例性实施方式进行说明。

如图3和图4所示，图3代表性地示出了该实施方式中，清洁系统设置于曝光机台的布置示意图；图4代表性地示出了清洁管310的局部放大图。其中，本发明提出的清洁系统与上述第一实施方式中的设计大致相同。以下将对本实施方式与上述第一实施方式的主要区别进行说明。

如图3和图4所示，在本实施方式中，本发明提出的清洁系统还可以包含自清洁单元。具体而言，该自清洁单元包含自清洁管510以及清洗液源520。自清洁管510通过多个接口511连接于清洁管310。清洗液源520连接于自清洁管510，用以储存和供应清洗液。在此基础上，控制单元400电连接于清洗液源520，控制单元400能够控制清洗液源520向自清洁管510输送清洗液，并经由多个接口511喷洒至清洁管310内。通过上述设计，本发明能够利用自清洁单元实现清洁系统的自清洁功能，从而延长设备的连续使用时间，减少清洁系统的维护次数和频度，进一步提高工作效率。

可选地，在本实施方式中，清洗液可以包含酒精。在此基础上，清洗液源520可以为一酒精罐。

可选地，如图4所示，在本实施方式中，接口511的连接于清洁管310的一端可以设置有喷雾结构512。据此，清洗液从自清洁管510经由接口511进入清洁管310时，能够通过流经喷雾结构512而呈喷雾状喷洒至清洁管310内。通过上述设计，能够进一步增大清洗液对清洁管310内壁的喷洒覆盖面积，从而进一步优化本发明的自清洁功能。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的清洁系统仅仅是能够采用本发明原理的许多种清洁系统中的几个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的清洁系统的任何细节或任何部件。

综上所述，本发明提出的清洁系统，包含图像采集单元、清洁单元以及控制单元。控制单元能够根据图像采集单元采集到的图像信息，判断浸没罩的通孔是否堵塞，并能够控制清洁系统对堵塞的通孔施加负压，使得造成通孔堵塞的污染被清除。通过上述设计，本发明能够在曝光机无需停机的前提下，检测浸没罩的通孔的实时状况，减少因停机和拆装曝光机造成的产能问题。并且，本发明能够实现对浸没罩的堵塞的通孔的自动清理，避免因拆装及手工清理而产生的巨大人力浪费。本发明提出的清洁系统，具有堵塞检测效率较高、检测及时准确、自动化清洁等优点。

基于上述对本发明提出的清洁系统的一示例性实施方式的详细说明，以下将对本发明提出的曝光机台的一示例性实施方式进行说明。

在本实施方式中，本发明提出的曝光机台可以工作台、浸没罩以及本发明提出的并在上述实施方式中详细说明的清洁系统。具体而言，工作台可平移地设置于浸没罩下方。清洁系统的清洁管设置于工作台，清洁管的一端由工作台顶面伸出，真空泵连接于清洁管的另一端。清洁系统的控制单元电连接于图像采集单元和真空泵。据此，控制单元能够根据图像采集单元采集到的图像信息判断通孔是否堵塞，如果判断某一通孔堵塞，控制单元能够控制工作台平移，而使清洁管的第一端位于堵塞的通孔的正下方，并控制真空泵通过清洁管对堵塞的通孔施加负压，以此清洁浸没罩。通过上述设计，本发明提出的曝光机台具有产能较高、检测及清洁耗费人力较少、产品良率较高的优点。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的曝光机台仅仅是能够采用本发明原理的许多种曝光机台中的几个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的曝光机台的任何细节或任何部件。

综上所述，本发明提出的曝光机台，通过采用本发明提出的清洁系统，能够无需停机即可完成对浸没罩的通孔的检测和清洁。通过上述设计，本发明提出的曝光机台具有产能较高、检测及清洁耗费人力较少、产品良率较高的优点。

基于上述对本发明提出的清洁系统及曝光机台的几个示例性实施方式的详细说明，以下将对本发明提出的清洁方法的一示例性实施方式进行说明。

在本实施方式中，本发明提出的清洁方法可以应用于包含本发明提出的并在上述实施方式中详细说明的清洁系统的曝光机台。其中，该清洁方法包含：

通过图像采集单元采集浸没罩的通孔的图像信息；

通过控制单元根据图像信息判断通孔是否堵塞；

通过控制单元控制工作台平移，使清洁管一端位于堵塞的通孔的正下方；

通过控制单元控制真空泵通过清洁管对堵塞的通孔施加负压，以清洁浸没罩。

在此应注意，附图中示出而且在本说明书中描述的清洁方法仅仅是能够采用本发明原理的许多种清洁方法中的几个示例。应当清楚地理解，本发明的原理绝非仅限于附图中示出或本说明书中描述的清洁方法的任何细节或任何步骤。

综上所述，本发明提出的清洁方法，通过采用本发明提出的清洁系统，对曝光机台进的浸没罩的通孔进行检测和清洁，能够无需停机即可完成对浸没罩的通孔的检测和清洁。通过上述设计，本发明提出的清洁方法在实现清洁功能的同时，能够保证曝光机台的产能，降低检测及清洁耗费人力，提高产品良率。

以上详细地描述和/或图示了本发明提出的清洁系统、曝光机台及清洁方法的示例性实施方式。但本发明的实施方式不限于这里所描述的特定实施方式，相反，每个实施方式的组成部分和/或步骤可与这里所描述的其它组成部分和/或步骤独立和分开使用。一个实施方式的每个组成部分和/或每个步骤也可与其它实施方式的其它组成部分和/或步骤结合使用。在介绍这里所描述和/或图示的要素/组成部分/等时，用语“一个”、“一”和“上述”等用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等。术语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。此外，权利要求书及说明书中的术语“第一”和“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数字限制。

虽然已根据不同的特定实施例对本发明提出的清洁系统、曝光机台及清洁方法进行了描述，但本领域技术人员将会认识到可在权利要求的精神和范围内对本发明的实施进行改动。

Claims (16)

1.一种清洁系统，其特征在于，所述清洁系统集成于曝光机台中，所述曝光机台包含浸没罩及可平移地设置于所述浸没罩下方的工作台；所述清洁系统包含：

图像采集单元，设置于所述工作台表面，用以采集所述浸没罩的通孔的图像信息；

清洁单元，包含清洁管及真空泵，所述清洁管设置于所述工作台内部，且一端由所述工作台顶面伸出，所述真空泵连接于所述清洁管另一端；以及

控制单元，电连接于所述图像采集单元和所述真空泵；

其中，所述控制单元用以根据所述图像信息判断所述通孔是否堵塞，控制所述工作台平移，使所述清洁管一端位于堵塞的所述通孔的正下方，并控制所述真空泵通过所述清洁管对堵塞的所述通孔施加负压，以清洁所述浸没罩。

2.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁单元还包含：

驱动机构，设置于所述工作台内部，所述驱动机构用以驱动所述清洁管移动，而使所述清洁管一端可伸缩地由所述工作台顶面伸出；

其中，所述控制单元电连接于所述驱动机构，据此控制所述驱动机构驱动所述清洁管，使所述清洁管一端与堵塞的所述通孔连通。

3.根据权利要求2所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁管上设置有驱动固定结构，所述驱动固定结构连接于所述驱动机构，以供所述驱动机构通过所述驱动固定结构驱动所述清洁管移动。

4.根据权利要求2所述的清洁系统，其特征在于，所述驱动机构包含电机、主动轮、从动轮、传动带及连接件，所述电机用以驱动所述主动轮，所述主动轮通过所述传动带与所述从动轮传动连接，所述连接件连接于所述传动带与所述清洁管之间。

5.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁管伸出于所述工作台顶面的一端设置有接头，所述工作台顶面设置有卡扣，所述清洁管一端设置的接头穿过所述卡扣，以使所述卡扣与所述接头单向卡接固定。

6.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁单元还包含：

定位导向管，设置于所述工作台内部，并具有第一段和第二段，所述第一段沿水平方向延伸，所述第二段一端连接于所述第一段，另一端弯曲向上延伸；

其中，所述清洁管穿设于所述定位导向管内，以使所述清洁管一端保持沿竖直方向伸出于所述工作台顶面，且另一端沿水平方向延伸。

7.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁单元还包含：

控制阀组，设置于所述清洁管上；

其中，所述控制单元电连接于所述控制阀组，用以控制所述控制阀组调节所述清洁管的开闭和流量。

8.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述真空泵通过所述清洁管抽真空的负压流量为10L/min～30L/min。

9.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述图像采集单元为摄像机；其中，所述摄像机具有可变焦功能；和/或，所述摄像机的分辨率大于或者等于720p。

10.根据权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述图像采集单元设置于所述工作台侧面，所述图像采集单元与所述清洁管的伸出于所述工作台顶面的一端相邻布置。

11.根据权利要求1～10任一项所述的清洁系统，其特征在于，所述控制单元预设有图像参照信息，所述图像参照信息表征所述浸没罩的通孔未堵塞时的图像；其中，所述控制单元通过将所述图像参照信息，与所述图像采集单元采集到的所述图像信息进行比对，以此与判断所述通孔是否堵塞。

12.根据权利要求1～10任一项所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁系统还包含自清洁单元，所述自清洁单元包含：

自清洁管，通过多个接口连接于所述清洁管；以及

清洗液源，连接于所述自清洁管，用以储存和供应清洗液；

其中，所述控制单元电连接于所述清洗液源，用以控制所述清洗液源向所述自清洁管输送清洗液，并经由所述多个接口喷洒至所述清洁管内。

13.根据权利要求12所述的清洁系统，其特征在于，所述清洗液包含酒精。

14.根据权利要求12所述的清洁系统，其特征在于，所述接口的连接于所述清洁管的一端设置有喷雾结构，以使流经所述喷雾结构的清洗液呈喷雾状喷洒至所述清洁管内。

15.一种曝光机台，所述曝光机台包含工作台以及浸没罩，所述工作台可平移地设置于所述浸没罩下方，其特征在于，所述曝光机台还包含：

权利要求1～14任一项所述的清洁系统。

16.一种清洁方法，其特征在于，应用于包含权利要求1～14任一项所述的清洁系统的曝光机台，所述清洁方法包含：

通过图像采集单元采集浸没罩的通孔的图像信息；

通过控制单元根据所述图像信息判断通孔是否堵塞；

通过所述控制单元控制工作台平移，使清洁管一端位于堵塞的所述通孔的正下方；

通过所述控制单元控制真空泵通过所述清洁管对堵塞的所述通孔施加负压，以清洁所述浸没罩。

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