CN204361058U - 遮蔽框组件及基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种遮蔽框组件及基板处理装置，该遮蔽框组件包括扇片，连接扇片的连接座，以及用于将扇片安装到连接座的固定件，连接座包括连接片、第二凸出部以及第三凸出部，其中，所述连接片包括第一表面和第二表面，所述第二表面和所述第一表面相对，所述第二凸出部和所述第三凸出部设置在所述第二表面上，且所述第二凸出部和所述第三凸出部之间形成用于和所述基板相配合的容纳部。上述遮蔽框组件和基板处理装置，通过减轻遮蔽框组件的重量和调整基板和遮蔽框组件之间的接触，降低基板损坏的可能性。

Description

遮蔽框组件及基板处理装置

技术领域

本实用新型涉及显示器技术领域，特别是涉及一种遮蔽框组件及用于化学气相沉积的基板处理装置。

背景技术

化学气相沉积经数十年的发展，已成为半导体及薄膜晶体管液晶显示器制作过程中最主要的薄膜沉积方法。

在化学气相沉积的工艺腔室中，基板(比如玻璃基板)的边缘和背面以及腔室内部组件必须受到保护，以免其受到沉积。因此，需要在基板周围放置遮蔽框，以避免沉积所用的等离子体达到基板的边缘和背面，并保证在整个处理期间，将基板保持在支撑构件上。

一般的，遮蔽框和基板接触，在接触过程中，遮蔽框可能刮伤基板或使基板破裂。且在处理期间，基板和遮蔽框经过热胀冷缩，会在基板和遮蔽框两者之间产生机械应力，易造成基板的损坏。

实用新型内容

基于此，有必要针对基板的破裂和损坏的问题，提供一种遮蔽框组件及基板处理装置。

一种遮蔽框组件，用于遮蔽基板，所述遮蔽框组件包括四个扇片，所述遮蔽框组件还包括用于将相邻所述扇片分别连接形成一框架的四个连接座，和用于将所述扇片安装到所述连接座的固定件，所述连接座包括连接相邻的所述扇片的连接片、第二凸出部和第三凸出部，其中，所述连接片包括第一表面和第二表面，所述第二凸出部和所述第三凸出部设置在所述第二表面上，且所述第二凸出部和所述第三凸出部之间形成一用于和基板相配合的容纳部。

在其中一个实施例中，所述连接片的第一表面上还设有与固定于连接座上的扇片贴合的第一凸出部，所述第一凸出部在所述第一表面上的投影的面积小于所述第一表面的面积。

在其中一个实施例中，所述遮蔽框组件还包括用于遮盖相邻的所述扇片相连接所形成的缝的遮盖件。

在其中一个实施例中，所述第一表面上开设有第一固定件导孔，所述第一固定件导孔和所述固定件相配合。

在其中一个实施例中，所述第一表面上开设有第一固定件导孔，所述第一固定件导孔和所述固定件相配合。

在其中一个实施例中，所述第二凸出部包括第一支撑部和沿所述第一支撑部的垂直方向且从所述第一支撑部的一端延伸出来的第二支撑部，所述第三凸出部包括第三支撑部和沿所述第三支撑部的垂直方向且从所述第三支撑部的一端延伸出来的第四支撑部。

在其中一个实施例中，所述扇片包括第一基片和位于所述第一基片下方的第二基片，且所述第二基片的长度小于所述第一基片的长度。

在其中一个实施例中，所述第二基片的高度和所述连接片的厚度相等，所述连接片的厚度为所述第一表面和所述第二表面之间的垂直高度。

在其中一个实施例中，所述第一基片上开设有第二固定件导孔，所述第二固定件导孔和所述固定件相配合。

本实用新型还提供一种基板处理装置，包括基座和位于所述基座上的基板，还包括上述遮蔽框组件，所述遮蔽框组件的扇片覆盖所述基板的边缘，所述基板的四个角与所述遮蔽框组件中的所述第一凸出部和所述第二凸出部之间的容纳部相配合。

上述遮蔽框组件和基板处理装置，通过连接座，将扇片连接在一起，且使用固定件将扇片安装在连接座上，只要通过将固定件拆卸，就可以将通过连接座连接的扇片拆卸，减轻遮蔽框组件的重量，此外，连接片的第二表面上设置有第二凸出部和第三凸出部，且第二凸出部和第三凸出部之间形成容纳部，基板的角可以卡在第二凸出部和第三凸出部之间形成的容纳部中，从而使得基板在遮蔽框组件的容纳部中受到保护，通过减轻遮蔽框组件的重量和调整基板和遮蔽框组件之间的接触，降低基板破裂和损坏的可能性。

附图说明

图1为本实用新型遮蔽框组件的一实施例的俯视图；

图2为本实用新型遮蔽框组件的一实施例的侧视图；

图3为图1中所示遮蔽框组件的连接座的结构示意图；

图4为图1中所示遮蔽框组件的扇片的侧视图；

图5为图1中所示遮蔽框组件的扇片的俯视图；

图6为本实用新型基板处理装置的一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

结合图1和图2，本实用新型一实施例的遮蔽框组件100包括扇片110、连接座120、固定件130以及遮盖件140。具体地，在本实施例中，遮蔽框组件100包括四片扇片110，相邻扇片110的末端通过连接座120相连接，且扇片110和连接座120之间通过固定件130来连接，即扇片110通过固定件130安装到连接座120上。此外，相邻的扇片110之间即使通过连接座120连接，相邻的扇片110的相连接的末端之间仍然存在细缝，在化学气相沉积过程中，等离子体可以通过细缝而沉积到下面的基板，因此，使用遮盖件140将该细缝遮住。遮盖件140安装在相邻的扇片110之间。

参考图3，在本实施例中，连接座120包括连接片121、第一凸出部123、第二凸出部124以及第三凸出部125。具体地，连接片121包括第一表面和第二表面，第二表面和第一表面相对，第一凸出部123位于连接片121的第一表面上，且第一凸出部123在第一表面上的投影的面积小于连接片121中的第一表面的面积，从图3中可以看出，连接片121中的第一表面的两个相互垂直的边缘和对应的第一凸出部123中的两个边缘并没有对齐，而连接片121中的第一表面的另两个相互垂直的边缘和对应的第一凸出部123中的两个边缘对齐。连接片121的第一表面上开设有第一固定件导孔122，第一固定件导孔122和固定件130相配合，连接片121的第一表面上分布有四个第一固定件导孔122，连接片121中的第一表面上的两个相互垂直的边缘附近各分布有两个第一固定件导孔122。需要说明的是固定件130也可以为螺栓等，即使用螺栓等将扇片110安装在连接座120上。

此外，如图3所示，第二凸出部124和第三凸出部125形状和大小一样，第二凸出部124和第三凸出部125之间形成容纳部，即第二凸出部124和第三凸出部125的一个边缘相重合，并形成夹角，该夹角为60-120度，在本实施例中，该夹角为直角。需要说明的是，第一凸出部123和连接片121可以一体成型，也可以通过螺栓等连接在一起。

具体地，第二凸出部124包括第一支撑部124a和从第一支撑部124a的一端延伸出来的第二支撑部124b，第三凸出部125包括第三支撑部125a和从第三支撑部125a的一端延伸出来的第四支撑部125b，其中，第二支撑部124b沿第一支撑部124a的垂直方向延伸出来，即第一支撑部124a和第二支撑部124b相互垂直，同样地，第四支撑部125b与第三支撑部125a相互垂直。且第一支撑部124a和第三支撑部125a均为方体，第一支撑部124a和第三支撑部125a之间的夹角也为直角，第二支撑部124b和第四支撑部125b也相互垂直，即第二凸出部124和第三凸出部125均为倒L型。需要说明的是，第二凸出部124和第三凸出部125可以一体成型，也可以通过螺栓等固定连接，其中，第一支撑部124a和第二支撑部124b可以一体成型，也可以通过螺栓等固定连接，同样地，第三支撑部125a和第四支撑部125b可以一体成型，也可以通过螺栓等固定连接。在本实施例中，第一凸出部123、连接片121、第二凸出部124以及第三凸出部125也可以一体成型。

此外，结合图4和图5，扇片110包括第一基片111和位于第一基片111下方的第二基片112，第一基片111上开设有第二固定件导孔113，第二固定件导孔113和固定件130相配合。具体地，相邻的扇片110连接时，相邻的第一基片111的相接触的两个角连接时，形成直角。第二基片112的长度小于第一基片111的长度，且第二基片112的一端距离对应的第一基片111的一端的距离和第二基片112的另一端距离对应的第一基片111的另一端的距离相同。当扇片110安装到连接座120上时，第二固定件导孔113的位置和第一固定件导孔122的位置对应，固定件130可穿过第二固定件导孔113和第一固定件导孔122，从而将扇片110安装到连接座120上。

此外，第二基片112的高度和连接片121的厚度相等，连接片121的厚度为第一表面和第二表面之间的垂直高度，且扇片110可正好卡在连接片121和第三凸出部125之间，如图2所示。通过连接座120，将扇片110连接在一起，且使用固定件130将扇片110安装在连接座120上，形成可拆式遮蔽框，从而减轻遮蔽框组件的重量，进而降低基板破裂和损坏的可能性。

参考图6，一实施例的基板处理装置10包括上述遮蔽框组件100、基座200和基板300。具体地，在本实施例中，基板300为玻璃基板，遮蔽框组件100覆盖基座200和玻璃基板300的边缘。在化学气相沉积的工艺腔室中，遮蔽框组件100覆盖基座200和基板300后，连接座120中的第二凸出部124和第三凸出部125形成基板对应面和基座对应面，即上述容纳部，具体地，第一支撑部124a和第三支撑部125a之间形成基座对应面，第二支撑部124b和第四支撑部125b之间形成基板对应面。其中，基板对应面指的是可以和基板300相对应的面，基座对应面指的是可以和基座200相对应的面，即基板300的四个角正好和基板对应面对应上，基座200的四个角正好和基座对应面对应上。通过基板对应面，使得遮蔽框组件100和基板300的接触受到保护，从而在一定程度上降低基板300损坏的可能性。

上述遮蔽框组件100和基板处理装置10，通过连接座120，将扇片110连接在一起，且使用固定件130将扇片110安装在连接座120上，从而只要通过将固定件130拆卸，就可以将通过连接座120连接的扇片110拆卸，形成可拆式遮蔽框，连接座120上的第一凸出部123在连接片121的第一表面上的投影面积小于第一表面的面积，从而可以通过固定件130将扇片110固定在连接片121的第一表面上，从而减轻遮蔽框组件100的重量，此外，连接片121的第二表面上设置有第二凸出部124和第三凸出部125，且第二凸出部124和第三凸出部125之间形成容纳部，基板300可以卡在第二凸出部124和第三凸出部125之间，从而使得基板300和遮蔽框组件100之间的接触可以调整，通过减轻遮蔽框组件100的重量和调整基板300和遮蔽框组件100之间的接触，降低基板300损坏的可能性。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种遮蔽框组件，用于遮蔽基板，所述遮蔽框组件包括四个扇片，其特征在于，所述遮蔽框组件还包括用于将相邻所述扇片分别连接形成一框架的四个连接座，和用于将所述扇片安装到所述连接座的固定件，所述连接座包括连接相邻的所述扇片的连接片、第二凸出部和第三凸出部，其中，所述连接片包括第一表面和第二表面，所述第二凸出部和所述第三凸出部设置在所述第二表面上，且所述第二凸出部和所述第三凸出部之间形成一用于和基板相配合的容纳部。

2.根据权利要求1所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述连接片的第一表面上还设有与固定于连接座上的扇片贴合的第一凸出部，所述第一凸出部在所述第一表面上的投影的面积小于所述第一表面的面积。

3.根据权利要求2所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述遮蔽框组件还包括用于遮盖相邻的所述扇片相连接所形成的缝的遮盖件。

4.根据权利要求3所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述遮盖件位于所述第一凸出部与所述扇片贴合形成的缝中。

5.根据权利要求1所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述第一表面上开设有第一固定件导孔，所述第一固定件导孔和所述固定件相配合。

6.根据权利要求1所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述第二凸出部包括第一支撑部和沿所述第一支撑部的垂直方向且从所述第一支撑部的一端延伸出来的第二支撑部，所述第三凸出部包括第三支撑部和沿所述第三支撑部的垂直方向且从所述第三支撑部的一端延伸出来的第四支撑部。

7.根据权利要求1所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述扇片包括第一基片和位于所述第一基片下方的第二基片，且所述第二基片的长度小于所述第一基片的长度。

8.根据权利要求7所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述第二基片的高度和所述连接片的厚度相等，所述连接片的厚度为所述第一表面和所述第二表面之间的垂直高度。

9.根据权利要求7所述的遮蔽框组件，其特征在于，所述第一基片上开设 有第二固定件导孔，所述第二固定件导孔和所述固定件相配合。

10.一种基板处理装置，包括基座和位于所述基座上的基板，其特征在于，所述基板处理装置还包括权利要求1-9中任一项所述的遮蔽框组件，所述遮蔽框组件的扇片覆盖所述基板的边缘，所述基板的四个角与所述遮蔽框组件中的所述第二凸出部和所述第三凸出部之间的容纳部相配合。