CN204360055U - 一种基板测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板测试装置，包括探针框架和框架导轨，所述探针框架设置于所述框架导轨上，所述探针框架上设有用于驱动所述探针框架沿所述框架导轨移动的第一驱动装置；本实用新型通过在探针框架的一端设置第一驱动装置，避免了人员进出设备带来的危险，提高了调整的精度，减少调整的时间。

Description

一种基板测试装置

技术领域

本实用新型涉及到基板测试领域，更具体地讲，涉及一种基板测试装置。

背景技术

在显示面板的阵列工艺中，需要对形成在阵列基板上的电路进行测试，确定是否存在短路、断路等问题。

中国专利文献CN201812111U中公开了一种探针框架及具有该探针框架的基板测试装置，属于液晶显示基板测试技术领域，其可解决现有的探针框架不能使探针与基板形成良好接触的问题。包括用于与探针框架轨道接触的外框；用于连接探针的中间棒；中间棒的两端部通过高度调整结构与外框连接，高度调整结构用于沿探针框架的高度方向调整中间棒与外框的相对位置，在对基板进行测试时探针框架的高度方向与基板的表面垂直。上述技术方案只是解决了探针与基板的接触问题，在对基板不同位置进行测试时，通过手动推动探针框架沿着探针框架导轨移动来实现，这就会造成如下技术问题：需要相关人员进入机台内部反复手动调整探针框架的位置，直至调整好才能对基板进行测试；另外，现有方案需人员手动反复调整，精度难以保证，调整时间长，人员进出设备具有风险。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，提高探针框架前后移动的精度，使其更准确地移动到下一个测试点，本实用新型提供了一种基板测试装置。

所述技术方案如下：

一种基板测试装置，包括探针框架、框架导轨、位移传感器和控制器，所述探针框架和所述位移传感器均设置于所述框架导轨上，所述框架导轨上还设有用于驱动所述探针框架沿所述框架导轨移动的第一驱动装置，所述控制器分别与所述第一驱动装置和位移传感器电连接。

所述第一驱动装置为直线电机，所述的框架导轨为电磁框架导轨。

所述的探针框架包括第一探针框架和第二探针框架，所述框架导轨包括第一框架导轨和第二框架导轨，所述第一框架导轨与所述第二框架导轨呈水平对称设置，所述第一探针框架设置于所述第一框架导轨上，所述第二探针框架设置于所述第二框架导轨上，所述位移传感器分别设置于所述第一框架导轨和第二框架导轨上，所述第一框架导轨和第二框架导轨上各设置一所述第一驱动装置。

所述框架导轨还包括与所述第一框架导轨和第二框架导轨垂直设置的第三框架导轨和第四框架导轨，所述探针框架还包括第三探针框架和第四探针框架，所述第三探针框架设置于所述第三框架导轨上，所述第四探针框架设置于所述第四框架导轨上，所述第三框架导轨和第四框架导轨上分别设置一位移传感器和一用于驱动所述第三探针框架和第四探针框架移动的第二驱动装置。

所述的位移传感器为光栅尺，其设置于所述框架导轨的外侧面。

所述的第二驱动装置为直线电机，其分别与所述控制器和所述位移传感器电连接。

与现有技术相比本实用新型具有如下有益技术效果：

A.本实用新型通过在探针框架的一端设置驱动装置，驱动探针框架沿着框架导轨移动，通过位置传感器检测基板的位置，使其更准确地移动到下一个测试点，避免了人员反复调整及进出设备带来的危险，提高了探针框架调整的精度，减少调整时间。

B.本实用新型通过设置多个探针框架、电磁框架导轨和驱动装置，进一步提高了探针检测效率，通过采用直线电机配合光栅尺与电磁框架导轨来调整探针，显著提高探针框架前后移动的效率。

附图说明

图1为本实用新型一种基板测试装置所提供的第一种实施例的结构示意图；

图2为本实用新型一种基板测试装置所提供的第二种实施例的结构示意图；

图3为本实用新型一种基板测试装置所提供的第三种实施例的结构示意图。

图号说明：

1-探针框架，11-第一探针框架，12-第二探针框架，13-第三探针框架，14-第四探针框架；2-框架导轨，21-第一框架导轨，22-第二框架导轨，23-第三框架导轨，24-第四框架导轨；31-第-驱动装置；32-第二驱动装置；4-位移传感器；5-探针。

具体实施方式

为能使审查员清楚本实用新型的组成，以及实施方式，兹配合图式说明如下：

实施例1

如图1所示，本实用新型提供了一种基板测试装置，包括探针框架1、框架导轨2和控制器，探针框架1设置于框架导轨2上，探针框架1的一端设有用于驱动探针框架1沿框架导轨2前后移动的第一驱动装置31。框架导轨2的一侧还设有位移传感器4，控制器分别与第一驱动装置31和位移传感器4电性连接。其中第一驱动装置31为直线电机，框架导轨2为电磁框架导轨，控制器控制直线电机转动，在电磁框架导轨所产生的磁场中做切割磁感线运动，使直线电机获得前进的动力，驱动探针框架1沿着框架导轨2前后移动。所述位移传感器4用于检测探针框架1的前后移动距离。其中的位移传感器4优选采用光栅尺。

具体工作如下：

所述控制器控制作为第一驱动装置31的直线电机转动，直线电机在电磁框架导轨所产生的磁场中做切割磁感线运动，获得前进的驱动力，以驱动探针框架1沿着框架导轨2前后移动，直线电机在驱动探针框架1移动时，位移传感器4检测出探针框架1的所在位置，并将探针框架1的位置信息传输给控制器，控制器根据探针框架1的位置信息控制直线电机的运动，通过上述反馈控制实现对探针框架1的移动进行精确控制，大大减少人员反复进行调整的时间，提高了调整的精度。

实施例2

如图2所示，与实施例1不同的是：其中的探针框架1包括第一探针框架11和第二探针框架12，框架导轨2包括第一框架导轨21和第二框架导轨22，第一框架导轨21与第二框架导轨22呈水平对称设置，第一探针框架11设置于第一框架导轨21上，第二探针框架12设置于第二框架导轨22上，第一框架导轨21和第二框架导轨22外侧上分别设置光栅尺，直线电机分别设置在第一探针框架11和第二探针框架12的一侧，用于驱动探针框架沿着框架导轨前后移动。

在实施例1的基础上增加了第二探针框架12和第二框架导轨22，第一探针框架11与第二探针框架12呈水平对称设置，通过控制器控制直线电机分别驱动第一探针框架11和第二框架22水平移动，利用光栅尺检测探针框架的移动位置，通过上述闭环反馈对探针框架1的移动进行精确控制。故通过采用直线电机配合光栅尺与框架导轨来调整探针5，显著提高探针框架移动的精度。

实施例3

如图3所示，为了实现更方便的检测，提高检测效率，在实施例2基础上还包括与第一框架导轨21和第二框架导轨22相垂直设置的第三框架导轨23和第四框架导轨24，第三框架导轨23和第四框架导轨24上分别设有第三探针框架13和第四探针框架14，第三框架导轨23和第四框架导轨24的外侧分别设置一光栅尺，分别用于检测第三探针框架13和第四探针框架14的位置，第三探针框架13和第四探针框架14的一侧分别设置一第二驱动装置32，用以驱动第三探针框架13和第四探针框架14分别在对应的框架导轨上沿着竖直方向移动。

当然也可以在其中一个框架导轨上设置第二驱动装置32，需要哪个时就可以通过控制器控制其开启，实现其距离调整。

本实用新型的第一驱动装置31中的直线电机是利用电磁框架导轨产生的磁场做切割磁感线运动，获得前进的动力，配合光栅尺控制运动的精度，从而达到自动高精度调整的效果。

以上所述，仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型作任何形式上的限制；有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实例，因此，所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种基板测试装置，其特征在于，包括探针框架、框架导轨、位移传感器和控制器，所述探针框架和所述位移传感器均设置于所述框架导轨上，所述框架导轨上还设有用于驱动所述探针框架沿所述框架导轨移动的第一驱动装置，所述控制器分别与所述第一驱动装置和位移传感器电连接。

2.根据权利要求1所述的基板测试装置，其特征在于，所述第一驱动装置为直线电机，所述的框架导轨为电磁框架导轨。

3.根据权利要求2所述的基板测试装置，其特征在于，所述的探针框架包括第一探针框架和第二探针框架，所述框架导轨包括第一框架导轨和第二框架导轨，所述第一框架导轨与所述第二框架导轨呈水平对称设置，所述第一探针框架设置于所述第一框架导轨上，所述第二探针框架设置于所述第二框架导轨上，所述位移传感器分别设置于所述第一框架导轨和第二框架导轨上，所述第一框架导轨和第二框架导轨上各设置一所述第一驱动装置。

4.根据权利要求3所述的基板测试装置，其特征在于，所述框架导轨还包括与所述第一框架导轨和第二框架导轨垂直设置的第三框架导轨和第四框架导轨，所述探针框架还包括第三探针框架和第四探针框架，所述第三探针框架设置于所述第三框架导轨上，所述第四探针框架设置于所述第四框架导轨上，所述第三框架导轨和第四框架导轨上分别设置一位移传感器和一用于驱动所述第三探针框架和第四探针框架移动的第二驱动装置。

5.根据权利要求1-4任一所述的基板测试装置，其特征在于，所述的位移传感器为光栅尺，其设置于所述框架导轨的外侧面。

6.根据权利要求4所述的基板测试装置，其特征在于，所述的第二驱动装置为直线电机，其分别与所述控制器和所述位移传感器电连接。