CN204275550U - 多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，还包括在线清洗装置，该在线清洗装置包括第一清洗管道，第一清洗管道的输入端与盐水换热器第二出口连接，第一清洗管道的输出端与气气换热器第二入口连接，和/或，盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，在线清洗装置包括第二清洗管道，第二清洗管道的输入端与盐水换热器第二出口连接，第二清洗管道的输出端与盐水换热器第二入口连接。该清洗装置可实现对于气气换热器和/或盐水换热器的在线清洗，无需对尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器和/或盐水换热器拆卸，提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用。

Description

多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统。

背景技术

传统的多晶硅生产工艺主要包括三氯氢硅合成工艺、三氯氢硅氢还原工艺、四氯化硅氢还原工艺，上述工艺所产生的尾气均输送至尾气回收冷凝系统进行分离回收利用，达到节能降耗的目的。上述尾气主要包括气相氢气、氯化氢、氯硅烷和固体硅粉尘，所述氯硅烷包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅，其中硅粉尘来源于三氯氢硅合成工艺带来的未反应的硅粉颗粒及三氯氢硅氢还原工艺中产生的粉尘硅粉。上述硅粉的产生原理如下：

三氯氢硅合成工艺，主要反应如下：HCl+Si＝SiHCl₃+H₂，其中原料硅粉为固体颗粒，其中，没有反应完全的硅粉夹带至尾气中进入尾气回收冷凝系统。

三氯氢硅氢还原工艺，在1000℃至1200℃的条件下，在高纯硅芯上，用高纯氢气还原高纯三氯氢硅生成多晶硅沉积在高纯硅芯上，主要反应如下：SiHCl₃+H₂＝Si+HCl，在温度及原料进料量增大的情况下生成的多晶硅不能完全沉积在硅芯上，生成的多晶硅就随着尾气进入尾气回收冷凝系统。上述硅粉是本领域技术人员熟知的固体颗粒。

上述尾气进入尾气回收冷凝系统，利用低温介质换热降温将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体，从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的，在此过程中尾气中的固体颗粒也沉积下来，沉积在多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的设备及管线上，造成多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线堵塞，一方面多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统内产生压差影响尾气输送，另一方面堵塞换热器后直接导致换热器的换热效果较差，降低尾气冷凝效果。在传统的尾气回收冷凝系统中，要除去上述沉积在尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线上的固体颗粒，需要整个尾气回收冷凝系统停车后拆洗，增加了尾气回收冷凝系统安全风险，影响尾气回收冷凝系统连续稳定运行。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统,将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器和/或盐水换热器中，可以实现对于气气换热器和/或盐水换热器的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器和/或盐水换热器进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝，所述盐水换热器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

优选的是，所述第一清洗管道上设置有用于控制流量的第一控制阀，所述第二清洗管道上设置有用于控制流量的第二控制阀。

本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离，所述气液分离器第一出口用于排出气液分离得到的液体；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述气液分离器还包括气液分离器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝，所述尾气深冷器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述尾气深冷器还包括尾气深冷器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第一出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷，所述氯硅烷储罐第一出口用于排出其内的液体；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述氯硅烷储罐还包括氯硅烷储罐第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

优选的是，所述氯硅烷储罐第一出口与所述气气换热器的壳程连接，从所述氯硅烷储罐第一出口排出的液体进入气气换热器的壳程与气气换热器的管程内的尾气进行换热。

优选的是，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括压缩机，所述压缩机与所述气气换热器的壳程连接，所述压缩机用于将从气气换热器的壳程的排出物进行压缩。

本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第二出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器，所述过滤器包括过滤器入口、过滤器第一出口，所述过滤器入口与所述氯硅烷储罐第一出口连接，所述过滤器用于过滤，所述过滤器第一出口用于排出过滤后的液体；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述过滤器还包括过滤器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述过滤器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述过滤器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

本实用新型还提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第二出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器，所述过滤器包括过滤器入口、过滤器第一出口，所述过滤器入口与所述氯硅烷储罐第一出口连接，所述过滤器用于过滤；

升压泵，所述升压泵包括升压泵入口、升压泵第一出口，所述升压泵入口与所述过滤器第一出口连接，所述升压泵用于升压所述升压泵第一出口用于排出升压后得到的液体；

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述升压泵还包括升压泵第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述升压泵第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

本实用新型中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器和/或盐水换热器中，可以实现对于气气换热器和/或盐水换热器的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器和/或盐水换热器进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器和/或盐水换热器的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

附图说明

图1是本实用新型实施例1中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图；

图2是本实用新型实施例2中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图；

图3是本实用新型实施例3中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图；

图4是本实用新型实施例4中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图；

图5是本实用新型实施例5中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图；

图6是本实用新型实施例6中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的结构示意图。

图中：1-循环水换热器；11-循环水换热器出口；12-循环水换热器第一入口；13-循环水换热器第二入口；2-气气换热器；21-气气换热器第一入口；22-气气换热器第一出口；23-气气换热器第二入口；3-盐水换热器；31-盐水换热器第一入口；32-盐水换热器第一出口；33-盐水换热器第二出口；34-盐水换热器第二入口；4-第一清洗管道；5-第二清洗管道；6-气液分离器；61-气液分离器入口；62-气液分离器第一出口；63-气液分离器第二出口；7-尾气深冷器；71-尾气深冷器入口；72-尾气深冷器第一出口；73-尾气深冷器第二出口；8-氯硅烷储罐；81-氯硅烷储罐第一入口；82-氯硅烷储罐第二入口；83-氯硅烷储罐第一出口；84-氯硅烷储罐第二出口；9-压缩机；10-过滤器；101-过滤器入口；102-过滤器第一出口；103-过滤器第二出口；14-升压泵；141-升压泵入口；142-升压泵第一出口；143-升压泵第二出口；15-第一控制阀；16-第二控制阀；17-第三控制阀。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1

如图1所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；其中，所述盐水换热器第一出口32用于排出降温冷凝得到的液体，该液体主要成分为液态氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二出口33，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述盐水换热器第二出口33连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述盐水换热器第二出口33连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。具体的本实施例中的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的循环水换热器1还包括循环水换热器第一入口12、循环水换热器第二入口13，所述循环水换热器第一入口12用于通入尾气，所述循环水换热器第二入口13用于通入氢气，该氢气用作尾气的载气，且多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括第三控制阀17，该第三控制阀17用于控制进入到循环水换热器第一入口12的氢气的流量大小以及开闭。同时对尾气回收冷凝系统通入氢气，依次经过，管道、各个换热器等设备，对各个换热器及其附属管道进行热氢气吹扫，为保证上述吹扫干净彻底，上述氢气压力控制在1.30～1.40MPAG。

现有技术中，当使用多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统对尾气进行降温，尾气中的硅粉大多沉积在气气换热器2和盐水换热器3上，且经过循环水换热器1的一级降温冷凝，再经过气气换热器2的二级降温冷凝，再经过盐水换热器3的三级降温冷凝，尾气中的气相氯硅烷已经有很大一部分降温冷凝为液态氯硅烷。本实施例中，从盐水换热器第二出口33进入到气气换热器第二入口23的液相氯硅烷的压力为1.8-2.5MPag，从盐水换热器第二出口33进入到盐水换热器第二入口34的液相氯硅烷的压力为1.8-2.5MPag。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的盐水换热器3后冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

优选的是，所述第一清洗管道4上设置有用于控制流量的第一控制阀15，所述第二清洗管道5上设置有用于控制流量的第二控制阀16。通过第一控制阀15可以控制从盐水换热器第二出口33进入到气气换热器第二入口23的液相氯硅烷的流量大小以及开闭；通过第二控制阀16可以控制从盐水换热器第二出口33进入到盐水换热器第二入口34的液相氯硅烷的流量大小以及开闭。本实施例中，通过控制第一控制阀15全开保持3-5分钟，然后关闭，持续冲洗3～5小时可以将气气换热器2冲洗干净；通过控制第二控制阀16全开保持3-5分钟，然后关闭，持续冲洗3～5小时可以将盐水换热器3冲洗干净。

实施例2

如图2所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；

气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口61、气液分离器第一出口62，所述气液分离器入口61与所述盐水换热器第一出口32连接，所述气液分离器6用于气液分离；其中，所述气液分离器第一出口62用于排出气液分离得到的液体，该液体的主要成分为液体氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述气液分离器6还包括气液分离器第一出口63，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述气液分离器第一出口63连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述气液分离器第一出口63连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的气液分离器6后冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

实施例3

如图3所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；

气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口61、气液分离器第一出口62，所述气液分离器入口61与所述盐水换热器第一出口32连接，所述气液分离器6用于气液分离；

尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口71与所述气液分离器第一出口62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；其中，所述尾气深冷器第一出口72用于排出降温冷凝得到的液体，该液体的主要成分为液相氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述尾气深冷器7还包括尾气深冷器第二出口73，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述尾气深冷器第二出口73连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述尾气深冷器第二出口73连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的尾气深冷器7后冷凝得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

实施例4

如图4所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；

气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口61、气液分离器第一出口62、气液分离器第一出口63，所述气液分离器入口61与所述盐水换热器第一出口32连接，所述气液分离器6用于气液分离；

尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口71与所述气液分离器第一出口62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐8，所述氯硅烷储罐8包括氯硅烷储罐第一入口81、氯硅烷储罐第二入口82、氯硅烷储罐第一出口83，所述氯硅烷储罐第一入口81与所述气液分离器第一出口63连接，所述氯硅烷储罐第二入口82与所述尾气深冷器第一出口72连接，所述氯硅烷储罐8用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；其中，所述氯硅烷储罐第一出口83用于排出其内的液体，该液体的主要成分为液态氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述氯硅烷储罐8还包括氯硅烷储罐第二出口84，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口84连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口84连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。

优选的是，所述氯硅烷储罐第一出口83与所述气气换热器2的壳程连接，从所述氯硅烷储罐第一出口83排出的液体进入气气换热器2的壳程与气气换热器2的管程内的尾气进行换热。尾气经过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统中的循环水换热器1后，此时得到的尾气温度仍旧很高，再进入到气气换热器2的管程中的尾气也就温度很高，而经过上述四级降温冷凝后得到的在氯硅烷储罐8中的液相氯硅烷为低温状态。将氯硅烷储罐8中的低温状态的液相氯硅通入到气气换热器2的壳程，可以直接与气气换热器2的管程中的尾气进行热量的交换，这样相当于节约了气气换热器2的冷源的能量，而是直接使用了多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统自身降温冷凝处理得到的液相氯硅烷作为气气换热器2的冷源，从而做到了能量的高效利用。

优选的是，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括压缩机9，所述压缩机9与所述气气换热器2的壳程连接，所述压缩机9用于将从气气换热器2的壳程的排出物进行压缩。经过压缩机9压缩后得到的液相氯硅烷可以直接送入到吸收塔中进行后续的工艺。多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的作用是将尾气中的氯硅烷、氢气及氯化氢进行分离，此时尾气回收冷凝系统是将尾气中的氯硅烷变成液体，没有被冷凝下来的氢气、氯化氢仍然是以气相的形式存在进入压缩机9升压后进入吸收塔，吸收塔的作用是将尾气中的氯化氢进行吸收，氢压机的目的就是为氢气、氯化氢加压，使其达到吸收塔的高压操作条件。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的氯硅烷储罐8后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

实施例5

如图5所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；

气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口61、气液分离器第一出口62、气液分离器第一出口63，所述气液分离器入口61与所述盐水换热器第一出口32连接，所述气液分离器6用于气液分离；

尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口71与所述气液分离器第一出口62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐8，所述氯硅烷储罐8包括氯硅烷储罐第一入口81、氯硅烷储罐第二入口82、氯硅烷储罐第一出口83，所述氯硅烷储罐第一入口81与所述气液分离器第一出口63连接，所述氯硅烷储罐第二入口82与所述尾气深冷器第二出口73连接，所述氯硅烷储罐8用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器10，所述过滤器10包括过滤器入口101、过滤器第一出口102，所述过滤器入口101与所述氯硅烷储罐第一出口83连接，所述过滤器10用于过滤；其中，所述过滤器第一出口102用于排出过滤后的液体，该液体的主要成分为液相氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述过滤器10还包括过滤器第二出口103，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述过滤器第二出口103连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述过滤器第二出口103连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的过滤器10后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

实施例6

如图6所示，本实施例提供一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统包括：循环水换热器1，所述循环水换热器1包括循环水换热器出口11，所述循环水换热器1用于一级降温冷凝；

气气换热器2，所述气气换热器2包括气气换热器第一入口21、气气换热器第一出口22，所述气气换热器第一入口21与所述循环水换热器出口11连接，所述气气换热器2用于二级降温冷凝；

盐水换热器3，所述盐水换热器3包括盐水换热器第一入口31、盐水换热器第一出口32，所述盐水换热器第一入口31与所述气气换热器第一出口22连接，所述盐水换热器3用于三级降温冷凝；

气液分离器6，所述气液分离器6包括气液分离器入口61、气液分离器第一出口62、气液分离器第一出口63，所述气液分离器入口61与所述盐水换热器第一出口32连接，所述气液分离器6用于气液分离；

尾气深冷器7，所述尾气深冷器7包括尾气深冷器入口71、尾气深冷器第一出口72，所述尾气深冷器入口71与所述气液分离器第一出口62连接，所述尾气深冷器7用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐8，所述氯硅烷储罐8包括氯硅烷储罐第一入口81、氯硅烷储罐第二入口82、氯硅烷储罐第一出口83，所述氯硅烷储罐第一入口81与所述气液分离器第一出口63连接，所述氯硅烷储罐第二入口82与所述尾气深冷器第二出口73连接，所述氯硅烷储罐8用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器10，所述过滤器10包括过滤器入口101、过滤器第一出口102，所述过滤器入口101与所述氯硅烷储罐第一出口83连接，所述过滤器10用于过滤；

升压泵14，所述升压泵14包括升压泵入口141、升压泵第一出口142，所述升压泵入口141与所述过滤器第一出口102连接，所述升压泵14用于升压；其中，所述升压泵第一出口142用于排出升压后得到的液体，该液体的主要成分为液相氯硅烷再进入后续的解析塔进行解析的工艺。

所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述升压泵14还包括升压泵第二出口143，

或，所述气气换热器2还包括气气换热器第二入口23，所述在线清洗装置包括第一清洗管道4，所述第一清洗管道4的输入端与所述升压泵第二出口143连接，所述第一清洗管道4的输出端与所述气气换热器第二入口23连接，

和/或，所述盐水换热器3还包括盐水换热器第二入口34，所述在线清洗装置包括第二清洗管道5，所述第二清洗管道5的输入端与所述盐水换热器第二出口33连接，所述第二清洗管道5的输出端与所述盐水换热器第二入口34连接。

本实施例中，将尾气通过多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的升压泵14后得到的液态氯硅烷直接通入到气气换热器2和/或盐水换热器3中，可以实现对于气气换热器2和/或盐水换热器3的在线清洗，而无需对整个尾气回收系统停车后拆洗，即无需将气气换热器2和/或盐水换热器3进行拆卸，从而提高了尾气回收冷凝系统的安全风险，保持了整个尾气回收冷凝系统的连续稳定运行，且用于在线清洗气气换热器2和/或盐水换热器3的液态氯硅烷为整个尾气回收冷凝系统得到的，从而做到了液态氯硅烷的高效重复利用，且不会引入其它的杂质。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝，所述盐水换热器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，其特征在于，所述第一清洗管道上设置有用于控制流量的第一控制阀，所述第二清洗管道上设置有用于控制流量的第二控制阀。

3.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离，所述气液分离器第一出口用于排出气液分离得到的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述气液分离器还包括气液分离器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述气液分离器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

4.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝，所述尾气深冷器第一出口用于排出降温冷凝得到的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述尾气深冷器还包括尾气深冷器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述尾气深冷器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

5.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第一出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷，所述氯硅烷储罐第一出口用于排出其内的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述氯硅烷储罐还包括氯硅烷储罐第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述氯硅烷储罐第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

6.根据权利要求5所述的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，其特征在于，所述氯硅烷储罐第一出口与所述气气换热器的壳程连接，从所述氯硅烷储罐第一出口排出的液体进入气气换热器的壳程与气气换热器的管程内的尾气进行换热。

7.根据权利要求6所述的多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，其特征在于，还包括压缩机，所述压缩机与所述气气换热器的壳程连接，所述压缩机用于将从气气换热器的壳程的排出物进行压缩。

8.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第二出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器，所述过滤器包括过滤器入口、过滤器第一出口，所述过滤器入口与所述氯硅烷储罐第一出口连接，所述过滤器用于过滤，所述过滤器第一出口用于排出过滤后的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述过滤器还包括过滤器第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述过滤器第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述过滤器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。

9.一种多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统，包括：循环水换热器，所述循环水换热器包括循环水换热器出口，所述循环水换热器用于一级降温冷凝；

气气换热器，所述气气换热器包括气气换热器第一入口、气气换热器第一出口，所述气气换热器第一入口与所述循环水换热器出口连接，所述气气换热器用于二级降温冷凝；

盐水换热器，所述盐水换热器包括盐水换热器第一入口、盐水换热器第一出口，所述盐水换热器第一入口与所述气气换热器第一出口连接，所述盐水换热器用于三级降温冷凝；

气液分离器，所述气液分离器包括气液分离器入口、气液分离器第一出口、气液分离器第二出口，所述气液分离器入口与所述盐水换热器第一出口连接，所述气液分离器用于气液分离；

尾气深冷器，所述尾气深冷器包括尾气深冷器入口、尾气深冷器第一出口，所述尾气深冷器入口与所述气液分离器第一出口连接，所述尾气深冷器用于四级降温冷凝；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐包括氯硅烷储罐第一入口、氯硅烷储罐第二入口、氯硅烷储罐第一出口，所述氯硅烷储罐第一入口与所述气液分离器第二出口连接，所述氯硅烷储罐第二入口与所述尾气深冷器第二出口连接，所述氯硅烷储罐用于储存通过所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统降温冷凝得到的液态氯硅烷；

过滤器，所述过滤器包括过滤器入口、过滤器第一出口，所述过滤器入口与所述氯硅烷储罐第一出口连接，所述过滤器用于过滤；

升压泵，所述升压泵包括升压泵入口、升压泵第一出口，所述升压泵入口与所述过滤器第一出口连接，所述升压泵用于升压，所述升压泵第一出口用于排出升压后得到的液体；

其特征在于，所述多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统还包括在线清洗装置，所述升压泵还包括升压泵第二出口，

或，所述气气换热器还包括气气换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第一清洗管道，所述第一清洗管道的输入端与所述升压泵第二出口连接，所述第一清洗管道的输出端与所述气气换热器第二入口连接，

和/或，所述盐水换热器还包括盐水换热器第二入口，所述在线清洗装置包括第二清洗管道，所述第二清洗管道的输入端与所述盐水换热器第二出口连接，所述第二清洗管道的输出端与所述盐水换热器第二入口连接。