CN204265894U - 长晶工艺能源回收装置 - Google Patents
长晶工艺能源回收装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204265894U CN204265894U CN201420735977.3U CN201420735977U CN204265894U CN 204265894 U CN204265894 U CN 204265894U CN 201420735977 U CN201420735977 U CN 201420735977U CN 204265894 U CN204265894 U CN 204265894U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vapor pipe
- energy source
- recovery apparatus
- brilliant
- brilliant stove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种长晶工艺能源回收装置，包括长晶炉，所述长晶炉内设置有保温室，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，所述喷淋单元还设置有排水口，砷废气由排气管进入喷淋单元之后经过液体喷淋吸收，基本无废气排出，废水由底部排出集中收集处理，从而达到含砷气体零排放，并且所述冷凝管内采用冷却水进行冷却，冷却水温度升高，可用于保温系统或者用于企业内加热单元，从而使能源充分被利用，降低企业能耗成本，节约资源，保护环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种长晶工艺能源回收装置。
背景技术
半导体长晶阶段，多为单晶在长晶炉内生长好后，直接将废渣以及含砷废气排出，废渣收集后处理，废气直排空气，从而造成环境污染。同时废气带有大量的热能，如不加以收集，造成能源浪费，同时造成环境热污染。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为克服上述问题，提供一种进行热量收集及废气收集，从而提高能源利用率的长晶工艺能源回收装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种长晶工艺能源回收装置，包括长晶炉，所述长晶炉内设置有保温室，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，所述喷淋单元还设置有排水口。
优选地，所述冷凝单元为连通所述排气管的冷凝管。
优选地，所述冷凝管长度为2-10m。
优选地，所述喷淋单元包括喷淋室，所述喷淋室内设置有多个喷头。
优选地，所述保温室具有加热功能。
本实用新型的有益效果是：本实用新型所述保温室可以分段控制温度，有利于晶体生长，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，废渣由排渣管排出，集中收集处理，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，含砷废气由排气管排出，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，含砷废气由长晶炉排出时温度较高，带有大量热量，与排气管外的冷凝单元进行热交换后，废气温度降低从而降低喷淋塔内的废水温度，加热冷凝水可用于企业内部供热系统，降低处理及运营成本，所述喷淋单元还设置有排水口，砷废气由排气管进入喷淋单元之后经过液体喷淋吸收，基本无废气排出，废水由底部排出集中收集处理，从而达到含砷气体零排放。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的主视图。
图中标记：1-长晶炉，2-保温室，3-排渣管，4-排气管，5-冷凝单元，6-喷淋单元，7-排水口。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的本实用新型所述一种长晶工艺能源回收装置，包括长晶炉1，所述长晶炉1内设置有保温室2，所述保温室2具有加热功能，同时可以分段控制温度，有利于晶体生长，所述长晶炉1的下侧连接有排渣管3，废渣由排渣管3排出，集中收集处理，所述长晶炉1的上侧与排气管4的一端连接，含砷废气由排气管4排出，所述排气管4的另一端与喷淋单元6连接，所述排气管4的外壁上还设置有冷凝单元5，含砷废气由长晶炉1排出时温度较高，带有大量热量，与排气管4外的冷凝单元5进行热交换后，废气温度降低从而降低喷淋塔内的废水温度，加热冷凝水用于企业内部供热系统，降低处理及运营成本，所述喷淋单元6还设置有排水口7，砷废气由排气管4进入喷淋单元6之后经过液体喷淋吸收，基本无废气排出，废水由底部排出集中收集处理，从而达到含砷气体零排放。
在优选的实施方案中，所述冷凝单元5连通在所述排气管4的冷凝管，所述冷凝管内可采用冷却水进行冷却，冷却水温度升高，可用于保温系统或者用于企业内加热单元，从而使能源充分被利用，降低企业能耗成本，节约资源，保护环境。
在优选的实施方案中，所述冷凝管长度为2-10m，具体还可根据需要进行设置。
在优选的实施方案中，所述喷淋单元6包括喷淋室，所述喷淋室内设置有多个喷头，喷头个数可根据需要进行设置。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (4)
1.一种长晶工艺能源回收装置，其特征在于，包括长晶炉，所述长晶炉内设置有保温室，所述长晶炉的下侧连接有排渣管，所述长晶炉的上侧与排气管的一端连接，所述排气管的另一端与喷淋单元连接，所述排气管的外壁上还设置有冷凝单元，所述喷淋单元还设置有排水口。
2.如权利要求1所述的长晶工艺能源回收装置，其特征在于，所述冷凝单元为连通所述排气管的冷凝管。
3.如权利要求2所述的长晶工艺能源回收装置，其特征在于，所述冷凝管长度为2-10m。
4.如权利要求1所述的长晶工艺能源回收装置，其特征在于，所述喷淋单元包括喷淋室，所述喷淋室内设置有多个喷头。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420735977.3U CN204265894U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 长晶工艺能源回收装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420735977.3U CN204265894U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 长晶工艺能源回收装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204265894U true CN204265894U (zh) | 2015-04-15 |
Family
ID=52800772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420735977.3U Expired - Fee Related CN204265894U (zh) | 2014-11-28 | 2014-11-28 | 长晶工艺能源回收装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204265894U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104998472A (zh) * | 2015-06-26 | 2015-10-28 | 江苏宏宇模具集团有限公司 | 一种热轧辊钢生产尾气处理装置 |
| WO2019242106A1 (zh) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 | 废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法 |
| CN111850700A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-10-30 | 河南晶鸿光电科技有限公司 | 一种长晶系统和长晶方法 |
-
2014
- 2014-11-28 CN CN201420735977.3U patent/CN204265894U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104998472A (zh) * | 2015-06-26 | 2015-10-28 | 江苏宏宇模具集团有限公司 | 一种热轧辊钢生产尾气处理装置 |
| WO2019242106A1 (zh) * | 2018-06-21 | 2019-12-26 | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 | 废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法 |
| CN111850700A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-10-30 | 河南晶鸿光电科技有限公司 | 一种长晶系统和长晶方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204265894U (zh) | 长晶工艺能源回收装置 | |
| CN204079873U (zh) | 上升管换热装置 | |
| CN203364153U (zh) | 一种用于烟气余热回收换热器的凝水回收装置 | |
| CN205461077U (zh) | 一种回收废蒸汽、废烟气体中废热的装置 | |
| CN205102374U (zh) | 一种锅炉尾气热量回收装置 | |
| CN209877725U (zh) | 一种口服液生产用板式换热器 | |
| CN210065640U (zh) | 一种焦炉煤气净化热量回收系统 | |
| CN203349281U (zh) | 造纸锅炉的尾气热能回收系统 | |
| CN203949522U (zh) | 一种内循环水冷式蒸汽冷凝装置 | |
| CN209688871U (zh) | 一种高温烟气利用装置 | |
| CN210196979U (zh) | 一种节能的压缩空气系统 | |
| CN202692778U (zh) | 烟道气余热回收装置 | |
| CN208949190U (zh) | 一种环保多功能炭化窑 | |
| CN207365708U (zh) | 一种高效率的节能环保窑炉 | |
| CN206160779U (zh) | 一种新型废热回收利用装置 | |
| CN203923214U (zh) | 糖液浓缩二次蒸汽的回收利用装置 | |
| CN205061600U (zh) | 一种管式蒸汽加热装置 | |
| CN206121191U (zh) | Pa6‑mvr专用降膜蒸发器 | |
| CN204963207U (zh) | 一种壁挂炉用冷凝容积式热交换器 | |
| CN202814161U (zh) | 一种用于烟道气余热回收装置中的热交换结构 | |
| CN206001703U (zh) | 一种净化双箱太阳能水箱 | |
| CN204589004U (zh) | 一种石灰生产蓄热装置 | |
| CN204358699U (zh) | 一种余热利用系统 | |
| CN205199014U (zh) | 一种节能精馏塔 | |
| CN204943657U (zh) | 一种组合式高效节能采暖器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20151123 Address after: 344000 Jiangxi city of Fuzhou province high tech Zone gold Ni Road No. 198 incubator Park A7 building 3 floor Patentee after: JIANGXI DEYI SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 100000 Beijing city Haidian District Shangyuan village of 3 homes and 2003 Graduate School of Mechatronics Patentee before: Yi Defu |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150415 Termination date: 20211128 |