CN204220523U - 一种芯片清洗用治具 - Google Patents
一种芯片清洗用治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204220523U CN204220523U CN201420570403.5U CN201420570403U CN204220523U CN 204220523 U CN204220523 U CN 204220523U CN 201420570403 U CN201420570403 U CN 201420570403U CN 204220523 U CN204220523 U CN 204220523U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- shrinkage pool
- chip
- base plate
- cleaning tool
- perpendicular version
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
本实用新型公开了一种芯片清洗用治具。治具包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。本实用新型的芯片清洗用治具,使用方便,通过凹孔对芯片起一个支撑作用,再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用,通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版,防止在清洗时芯片随清洗液流出,且不会对芯片造成损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清洗治具,尤其涉及一种芯片清洗用治具。
背景技术
芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程,其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低,使得元件获得良好而稳定的特性,以及使制程具有良好的再现性。
目前,大多数企业所用的清洗机主要包括设备主体、清洗工作盘和自锁紧卡扣,清洗工作盘边缘装有多个螺纹孔,螺纹孔呈环形状分布在清洗工作盘边缘,使用前,将芯片固定在芯片固定环上,再将芯片放在清洗工作盘内,然后关闭设备的安全保护盖,最后便可启动清洗机,从而对清洗工作盘内的芯片进行高速高压清洗。然而,有时会因为工人放置芯片的位置不到位,芯片未放置到卡扣内,使高速清洗的芯片和芯片固定环一起从清洗腔体内飞出,导致周围的设备备件和芯片受损,而且操作也不便。
由于设置有卡扣,芯片被卡扣卡住的地方也不容易被清洗,可能需要再次进行清洗,费时费力。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种芯片清洗用治具。
本实用新型是通过以下技术方案来完成的:
一种芯片清洗用治具,包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔的数量为多个,平行分布在底板上。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
所述的一种芯片清洗用治具,所述竖版上设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具,所述底板的数量为多个,可拆卸的与侧板连接。
本实用新型所达到的有益效果:本实用新型的芯片清洗用治具,使用方便,通过凹孔对芯片起一个支撑作用,再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用,通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版,防止在清洗时芯片随清洗液流出,且不会对芯片造成损伤,由于清洗液可进入凹孔,则可对芯片表面进行充分的清洗。侧板和盖子上均设有网格状通孔使得清洗液能够充分进入治具,对芯片进行清洗。
附图说明
图1是本实用新型的主视图。
图2是本实用新型本体底板的俯视图。
图3是图2的主视图。
图4是本实用新型盖子的俯视图。
图中:1、本体,2、盖子,11、底板,12、侧板,3、凹孔,4、长形凹槽,5、竖版,6、螺纹孔,7、网格状通孔,8、半圆形孔槽,9、弹性凸起。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图所示,本实用新型的一种芯片清洗用治具,包括一本体1和盖设在所述本体1之上的盖子2,所述本体1包括底板11和侧板12,所述底板11的数量为多个,可拆卸的与侧板12连接。所述底板11上设置有凹孔3,所述凹孔3为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽8。所述凹孔3的数量为多个,平行分布在底板11上。所述凹孔3内底面设置有弹性凸起9。所述底板11的前端和后端设置有平行的长形凹槽4,一竖版5垂直架设在前端和后端的长形凹槽4内,所述竖版5可在长形凹槽4内移动,所述竖版5上设有网格状通孔7。所述竖版5的高度高于凹孔3的高度,所述竖版5的宽度大于凹孔3宽度的1/2,所述底板11的前端和后端对应凹孔3处还开有螺纹孔6;所述侧板12和盖子2上均设有网格状通孔7。
凹孔3边缘设置有半圆形孔槽8方便放入和取出芯片,凹孔3的数量多个则可同时清洗多个芯片,凹孔3内底面设置弹性凸起9,避免芯片与凹孔3底面产生摩擦对芯片造成损伤,竖版5上设有网格状通孔7,方便清洗液进入凹孔3。
本实用新型的芯片清洗用治具在使用时,竖版5先移动至底板11的两旁,将芯片放置于凹孔3内,再移动竖版5至凹孔3上方,一螺栓(未示出)通过底板11上的螺纹孔6拧入抵住竖版5,将竖版5固定在凹孔3上方,盖上盖子2,即可放入清洗机对芯片进行清洗。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种芯片清洗用治具,包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,其特征是,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
3.根据权利要求2所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔的数量为多个,平行分布在底板上。
4.根据权利要求3所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述竖版上设有网格状通孔。
6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述底板的数量为多个,可拆卸的与侧板连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420570403.5U CN204220523U (zh) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 一种芯片清洗用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420570403.5U CN204220523U (zh) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 一种芯片清洗用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN204220523U true CN204220523U (zh) | 2015-03-25 |
Family
ID=52918667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420570403.5U Expired - Fee Related CN204220523U (zh) | 2014-09-30 | 2014-09-30 | 一种芯片清洗用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN204220523U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104289461A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-21 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 一种芯片清洗用治具 |
CN105107784A (zh) * | 2015-09-11 | 2015-12-02 | 港龙生物技术(深圳)有限公司 | 微阵列芯片高通量自动清洗系统及使用方法 |
CN105170598A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-12-23 | 北大方正集团有限公司 | 一种辅助pcb板的清洗模具及该清洗模具的制备方法 |
-
2014
- 2014-09-30 CN CN201420570403.5U patent/CN204220523U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104289461A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-01-21 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 一种芯片清洗用治具 |
CN105170598A (zh) * | 2015-08-28 | 2015-12-23 | 北大方正集团有限公司 | 一种辅助pcb板的清洗模具及该清洗模具的制备方法 |
CN105107784A (zh) * | 2015-09-11 | 2015-12-02 | 港龙生物技术(深圳)有限公司 | 微阵列芯片高通量自动清洗系统及使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204220523U (zh) | 一种芯片清洗用治具 | |
CN104289461B (zh) | 一种芯片清洗用治具 | |
CN108067559A (zh) | 一种冲压送料及定位检测装置 | |
CN203853316U (zh) | 水针灌装用陶瓷泵清洗架 | |
CN203929999U (zh) | 一种检测电路板的工作台 | |
CN207823785U (zh) | 一种冲压送料及定位检测装置 | |
CN203155622U (zh) | 清洗装置 | |
CN201357158Y (zh) | 晶片清洗机 | |
CN204264928U (zh) | 运输带清扫器 | |
CN202045099U (zh) | 一种新型分散机分散盘的清洗装置 | |
CN202615111U (zh) | 一种手动光刻版清洗装置 | |
CN105963045A (zh) | 一种新型泥鳅注射设备 | |
CN206064462U (zh) | 一种水泥搅拌锅用放置架 | |
CN203835448U (zh) | 用于全自动搅拌式排渣负压放水器的磁铁装置 | |
CN204940506U (zh) | 一种地漏过滤装置 | |
CN215208611U (zh) | 离子交换树脂除cod装置 | |
CN204570848U (zh) | 一种收集头发的水槽塞 | |
CN210449128U (zh) | 一种防止反应液飞溅的化学实验用反应装置 | |
CN203990711U (zh) | 玻璃试管架 | |
CN203155615U (zh) | 一种改进的清洗工件装置 | |
CN211869763U (zh) | 一种用于自动盖盖子的自动机机构 | |
CN209351148U (zh) | 用于家具加工设备的板材定位装置 | |
CN205124491U (zh) | 一种底盖分离式花盆 | |
CN204450227U (zh) | 拟尘导水磨头装置 | |
CN205410900U (zh) | 一种便于清理的饮水机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150325 Termination date: 20150930 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |