CN104289461A - 一种芯片清洗用治具 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种芯片清洗用治具。治具包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子，所述本体包括底板和侧板，所述底板上设置有凹孔，所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽，一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内，所述竖版可在长形凹槽内移动，所述竖版的高度高于凹孔的高度，所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2，所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔；所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。本发明的芯片清洗用治具，使用方便，通过凹孔对芯片起一个支撑作用，再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用，通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版，防止在清洗时芯片随清洗液流出，且不会对芯片造成损伤。

Description

一种芯片清洗用治具
技术领域
本发明涉及一种清洗治具，尤其涉及一种芯片清洗用治具。
背景技术
芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好的再现性。
目前，大多数企业所用的清洗机主要包括设备主体、清洗工作盘和自锁紧卡扣，清洗工作盘边缘装有多个螺纹孔，螺纹孔呈环形状分布在清洗工作盘边缘，使用前，将芯片固定在芯片固定环上，再将芯片放在清洗工作盘内，然后关闭设备的安全保护盖，最后便可启动清洗机，从而对清洗工作盘内的芯片进行高速高压清洗。然而，有时会因为工人放置芯片的位置不到位，芯片未放置到卡扣内，使高速清洗的芯片和芯片固定环一起从清洗腔体内飞出，导致周围的设备备件和芯片受损，而且操作也不便。
由于设置有卡扣，芯片被卡扣卡住的地方也不容易被清洗，可能需要再次进行清洗，费时费力。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种芯片清洗用治具。
本发明是通过以下技术方案来完成的：
一种芯片清洗用治具，包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子，所述本体包括底板和侧板，所述底板上设置有凹孔，所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽，一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内，所述竖版可在长形凹槽内移动，所述竖版的高度高于凹孔的高度，所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2，所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔；所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具，所述凹孔为方形凹孔，凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
所述的一种芯片清洗用治具，所述凹孔的数量为多个，平行分布在底板上。
所述的一种芯片清洗用治具，所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
所述的一种芯片清洗用治具，所述竖版上设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具，所述底板的数量为多个，可拆卸的与侧板连接。
本发明所达到的有益效果：本发明的芯片清洗用治具，使用方便，通过凹孔对芯片起一个支撑作用，再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用，通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版，防止在清洗时芯片随清洗液流出，且不会对芯片造成损伤，由于清洗液可进入凹孔，则可对芯片表面进行充分的清洗。侧板和盖子上均设有网格状通孔使得清洗液能够充分进入治具，对芯片进行清洗。
附图说明
图1是本发明的主视图。
图2是本发明本体底板的俯视图。
图3是图2的主视图。
图4是本发明盖子的俯视图。
图中：1、本体，2、盖子，11、底板，12、侧板，3、凹孔，4、长形凹槽，5、竖版，6、螺纹孔，7、网格状通孔，8、半圆形孔槽，9、弹性凸起。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图所示，本发明的一种芯片清洗用治具，包括一本体1和盖设在所述本体1之上的盖子2，所述本体1包括底板11和侧板12，所述底板11的数量为多个，可拆卸的与侧板12连接。所述底板11上设置有凹孔3，所述凹孔3为方形凹孔，凹孔的边缘设有半圆形孔槽8。所述凹孔3的数量为多个，平行分布在底板11上。所述凹孔3内底面设置有弹性凸起9。所述底板11的前端和后端设置有平行的长形凹槽4，一竖版5垂直架设在前端和后端的长形凹槽4内，所述竖版5可在长形凹槽4内移动，所述竖版5上设有网格状通孔7。所述竖版5的高度高于凹孔3的高度，所述竖版5的宽度大于凹孔3宽度的1/2，所述底板11的前端和后端对应凹孔3处还开有螺纹孔6；所述侧板12和盖子2上均设有网格状通孔7。
凹孔3边缘设置有半圆形孔槽8方便放入和取出芯片，凹孔3的数量多个则可同时清洗多个芯片，凹孔3内底面设置弹性凸起9，避免芯片与凹孔3底面产生摩擦对芯片造成损伤，竖版5上设有网格状通孔7，方便清洗液进入凹孔3。
本发明的芯片清洗用治具在使用时，竖版5先移动至底板11的两旁，将芯片放置于凹孔3内，再移动竖版5至凹孔3上方，一螺栓（未示出）通过底板11上的螺纹孔6拧入抵住竖版5，将竖版5固定在凹孔3上方，盖上盖子2，即可放入清洗机对芯片进行清洗。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种芯片清洗用治具，包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子，其特征是，所述本体包括底板和侧板，所述底板上设置有凹孔，所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽，一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内，所述竖版可在长形凹槽内移动，所述竖版的高度高于凹孔的高度，所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2，所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔；所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征是，所述凹孔为方形凹孔，凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
3.根据权利要求2所述的一种芯片清洗用治具，其特征是，所述凹孔的数量为多个，平行分布在底板上。
4.根据权利要求3所述的一种芯片清洗用治具，其特征是，所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征是，所述竖版上设有网格状通孔。
6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征是，所述底板的数量为多个，可拆卸的与侧板连接。
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