CN104289461A - 一种芯片清洗用治具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种芯片清洗用治具。治具包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。本发明的芯片清洗用治具,使用方便,通过凹孔对芯片起一个支撑作用,再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用,通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版,防止在清洗时芯片随清洗液流出,且不会对芯片造成损伤。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗治具,尤其涉及一种芯片清洗用治具。
背景技术
芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程,其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低,使得元件获得良好而稳定的特性,以及使制程具有良好的再现性。
目前,大多数企业所用的清洗机主要包括设备主体、清洗工作盘和自锁紧卡扣,清洗工作盘边缘装有多个螺纹孔,螺纹孔呈环形状分布在清洗工作盘边缘,使用前,将芯片固定在芯片固定环上,再将芯片放在清洗工作盘内,然后关闭设备的安全保护盖,最后便可启动清洗机,从而对清洗工作盘内的芯片进行高速高压清洗。然而,有时会因为工人放置芯片的位置不到位,芯片未放置到卡扣内,使高速清洗的芯片和芯片固定环一起从清洗腔体内飞出,导致周围的设备备件和芯片受损,而且操作也不便。
由于设置有卡扣,芯片被卡扣卡住的地方也不容易被清洗,可能需要再次进行清洗,费时费力。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种芯片清洗用治具。
本发明是通过以下技术方案来完成的:
一种芯片清洗用治具,包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔的数量为多个,平行分布在底板上。
所述的一种芯片清洗用治具,所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
所述的一种芯片清洗用治具,所述竖版上设有网格状通孔。
所述的一种芯片清洗用治具,所述底板的数量为多个,可拆卸的与侧板连接。
本发明所达到的有益效果:本发明的芯片清洗用治具,使用方便,通过凹孔对芯片起一个支撑作用,再通过竖版能够简单方便的对芯片起夹持作用,通过从螺纹孔拧入螺栓来固定竖版,防止在清洗时芯片随清洗液流出,且不会对芯片造成损伤,由于清洗液可进入凹孔,则可对芯片表面进行充分的清洗。侧板和盖子上均设有网格状通孔使得清洗液能够充分进入治具,对芯片进行清洗。
附图说明
图1是本发明的主视图。
图2是本发明本体底板的俯视图。
图3是图2的主视图。
图4是本发明盖子的俯视图。
图中:1、本体,2、盖子,11、底板,12、侧板,3、凹孔,4、长形凹槽,5、竖版,6、螺纹孔,7、网格状通孔,8、半圆形孔槽,9、弹性凸起。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图所示,本发明的一种芯片清洗用治具,包括一本体1和盖设在所述本体1之上的盖子2,所述本体1包括底板11和侧板12,所述底板11的数量为多个,可拆卸的与侧板12连接。所述底板11上设置有凹孔3,所述凹孔3为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽8。所述凹孔3的数量为多个,平行分布在底板11上。所述凹孔3内底面设置有弹性凸起9。所述底板11的前端和后端设置有平行的长形凹槽4,一竖版5垂直架设在前端和后端的长形凹槽4内,所述竖版5可在长形凹槽4内移动,所述竖版5上设有网格状通孔7。所述竖版5的高度高于凹孔3的高度,所述竖版5的宽度大于凹孔3宽度的1/2,所述底板11的前端和后端对应凹孔3处还开有螺纹孔6;所述侧板12和盖子2上均设有网格状通孔7。
凹孔3边缘设置有半圆形孔槽8方便放入和取出芯片,凹孔3的数量多个则可同时清洗多个芯片,凹孔3内底面设置弹性凸起9,避免芯片与凹孔3底面产生摩擦对芯片造成损伤,竖版5上设有网格状通孔7,方便清洗液进入凹孔3。
本发明的芯片清洗用治具在使用时,竖版5先移动至底板11的两旁,将芯片放置于凹孔3内,再移动竖版5至凹孔3上方,一螺栓(未示出)通过底板11上的螺纹孔6拧入抵住竖版5,将竖版5固定在凹孔3上方,盖上盖子2,即可放入清洗机对芯片进行清洗。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种芯片清洗用治具,包括一本体和盖设在所述本体之上的盖子,其特征是,所述本体包括底板和侧板,所述底板上设置有凹孔,所述底板的前端和后端设置有平行的长形凹槽,一竖版垂直架设在前端和后端的长形凹槽内,所述竖版可在长形凹槽内移动,所述竖版的高度高于凹孔的高度,所述竖版的宽度大于凹孔宽度的1/2,所述底板的前端和后端对应凹孔处还开有螺纹孔;所述侧板和盖子上均设有网格状通孔。
2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔为方形凹孔,凹孔的边缘设有半圆形孔槽。
3.根据权利要求2所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔的数量为多个,平行分布在底板上。
4.根据权利要求3所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述凹孔内底面设置有弹性凸起。
5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述竖版上设有网格状通孔。
6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具,其特征是,所述底板的数量为多个,可拆卸的与侧板连接。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105080897A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-11-25 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 用于半导体芯片的清洗夹具 |
CN105235253A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-13 | 江苏猎阵生物科技有限公司 | 生物芯片洗脱装置 |
CN109866395A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-06-11 | 福建福光光电科技有限公司 | 清洗模仁治具及使用方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000325281A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Mastec Ltd | 流し台ユニット |
CN101436522A (zh) * | 2007-11-13 | 2009-05-20 | 京元电子股份有限公司 | 芯片粉尘清洁装置 |
CN102735131A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-17 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 工件检测用通止治具 |
CN202725586U (zh) * | 2012-06-27 | 2013-02-13 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 工件清洗固定治具 |
CN202921628U (zh) * | 2012-12-05 | 2013-05-08 | 陈敏 | 多规格盖玻片快速清洗器 |
CN203778451U (zh) * | 2014-03-03 | 2014-08-20 | 浙江东晶电子股份有限公司 | 一种石英晶体抛光片振荡器清洗治具 |
CN204220523U (zh) * | 2014-09-30 | 2015-03-25 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 一种芯片清洗用治具 |
-
2014
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000325281A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-11-28 | Mastec Ltd | 流し台ユニット |
CN101436522A (zh) * | 2007-11-13 | 2009-05-20 | 京元电子股份有限公司 | 芯片粉尘清洁装置 |
CN202725586U (zh) * | 2012-06-27 | 2013-02-13 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 工件清洗固定治具 |
CN102735131A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-17 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 工件检测用通止治具 |
CN202921628U (zh) * | 2012-12-05 | 2013-05-08 | 陈敏 | 多规格盖玻片快速清洗器 |
CN203778451U (zh) * | 2014-03-03 | 2014-08-20 | 浙江东晶电子股份有限公司 | 一种石英晶体抛光片振荡器清洗治具 |
CN204220523U (zh) * | 2014-09-30 | 2015-03-25 | 苏州速腾电子科技有限公司 | 一种芯片清洗用治具 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105080897A (zh) * | 2015-08-12 | 2015-11-25 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 用于半导体芯片的清洗夹具 |
CN105235253A (zh) * | 2015-10-28 | 2016-01-13 | 江苏猎阵生物科技有限公司 | 生物芯片洗脱装置 |
CN109866395A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-06-11 | 福建福光光电科技有限公司 | 清洗模仁治具及使用方法 |
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