CN102345171A - 用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具 - Google Patents
用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102345171A CN102345171A CN2011102317991A CN201110231799A CN102345171A CN 102345171 A CN102345171 A CN 102345171A CN 2011102317991 A CN2011102317991 A CN 2011102317991A CN 201110231799 A CN201110231799 A CN 201110231799A CN 102345171 A CN102345171 A CN 102345171A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- carriage
- silicon chip
- corrosion processing
- press box
- caustic corrosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
本发明公开了一种用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上。调整压框的位置时，只需沿着连杆推动压框即可，调整方便。压框上安装有限位块，限制压框的移动距离，可防止用力过大时压坏硅片。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8％以上。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具。
背景技术
硅片在研磨后的腐蚀工艺主要有酸腐蚀和碱腐蚀两种。较酸腐蚀而言，碱腐蚀主要优点为加工成本低，环境污染小特点。对于小尺寸产品(3～5寸)，多半采用碱腐蚀工艺。
碱腐蚀工艺中比较难控制的是硅片在腐蚀过程中的漂浮状态以及腐蚀后硅片表面碱液冲洗。为了控制硅片在碱腐蚀过程的漂浮高度和便于清洗，需要把硅片放在合适的夹具中。碱腐蚀中常用的一种夹具是片架和花篮的组合。如图1所示为花篮结构示意图。其结构包括支撑框1和提架2。支撑框1设置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一连杆21和第二连杆22。第一连杆21和第二连杆22均为一端与支撑框1连接，另一端通过横杆23连接。横杆23两端分别设置有第一螺母24和第二螺母25。如图2所示为一种片架3结构示意图。使用时，硅片放置于片架3内。四个片架3分别放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。再将夹具放入碱液内对硅片进行碱腐蚀处理。这种夹具存在的最大问题是不能控制硅片的漂浮状态，导致硅片表面部分过度腐蚀或腐蚀不足，这个问题严重影响了碱腐蚀成品率。使用这种提篮进行碱腐蚀时，良率约为99.2％。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种用于硅片碱腐蚀加工，可控制硅片在碱腐蚀过程的漂浮高度的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：
用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。
优选地是，所述压条横跨通孔。
优选地是，还包括压框，所述压条安装于压框上；所述压框可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。
优选地是，所述压框形状与支撑框形状相适应；所述压框与连杆可拆卸连接。
优选地是，所述提架包括两根连杆和一根横杆；两根连杆分别有一端与支撑框连接，另一端通过横杆连接；所述压框可沿连杆移动卡设于两根连杆上。
优选地是，所述支撑框设置有与连杆相配合的两个开口；两根连杆分别与两个开口相配合。
优选地是，所述压框上设置有限位块，限位块位于压框与支撑框之间。
优选地是，所述限位块可拆卸地安装在压框上。
优选地是，还包括用于放置硅片的片架，所述片架设置在通孔内。
本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上。调整压框的位置时，只需沿着连杆推动压框即可，调整方便。压框上安装有限位块，限制压框的移动距离，可防止用力过大时压坏硅片。限位块可拆卸安装在压框上，方便更换。利用压条限制硅片的漂浮，压条采用圆柱形时可避免阻挡冲洗液，不会妨碍冲洗硅片。本发明结构简单，使用方便，制造成本低。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8％以上。
附图说明
图1为一种提篮结构示意图。
图2为一种片架结构示意图。
图3为本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具结构示意图。
图4为本发明中的压框结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细的描述：
如图3、图4所示，用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其结构包括支撑框1和提架2。支撑框1为长方形形状。支撑框1设置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一连杆21和第二连杆22。第一连杆21和第二连杆22均为一端与支撑框1连接，另一端通过横杆23连接。横杆23两端分别设置有第一螺母24和第二螺母25。
还包括压框4。压框4为长方形形状，与支撑框1的形状相适应。压框4上安装有第一压条41和第二压条42。第一压条41横跨在第一通孔11和第二通孔12上方。第二压条42横跨在第三通孔13和第四通孔14上方。第一压条41和第二压条42均用于阻挡放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13或第四通孔14内的片架3内的硅片，防止其漂浮过大。压框4设置有第一开口43和第二开口44。第一开口43与第一连杆21相配合；第二开口44与第二连杆22相配合，将压框4卡设于第一连杆21和第二连杆22上，并且压框4可沿第一连杆21和第二连杆22上下移动。压框4向上移动时，远离支撑框1；压框4向下移动时，靠近支撑框1。
压框4上通过四个螺钉49可拆卸地安装第一限位块45、第二限位块46、第三限位块47和第四限位块48。第一限位块45、第二限位块46、第三限位块47和第四限位块48位于压框4与支撑框1之间。在压框4向下移动时，第一限位块45、第二限位块46、第三限位块47和第四限位块48可限制压框4与支撑框1之间的距离，防止其距离过近压坏硅片。第一限位块45、第二限位块46、第三限位块47和第四限位块48可拆卸地安装在压框4上，方便更换。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8％以上。
本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。
Claims (9)
1.用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。
2.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压条横跨通孔。
3.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，还包括压框，所述压条安装于压框上；所述压框可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。
4.根据权利要求3所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压框形状与支撑框形状相适应；所述压框与连杆可拆卸连接。
5.根据权利要求3所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述提架包括两根连杆和一根横杆；两根连杆分别有一端与支撑框连接，另一端通过横杆连接；所述压框可沿连杆移动卡设于两根连杆上。
6.根据权利要求5所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述支撑框设置有与连杆相配合的两个开口；两根连杆分别与两个开口相配合。
7.根据权利要求3或5所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述压框上设置有限位块，限位块位于压框与支撑框之间。
8.根据权利要求7所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，所述限位块可拆卸地安装在压框上。
9.根据权利要求1所述的用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具，其特征在于，还包括用于放置硅片的片架，所述片架设置在通孔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011102317991A CN102345171B (zh) | 2011-08-14 | 2011-08-14 | 用于硅片碱腐蚀加工的夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011102317991A CN102345171B (zh) | 2011-08-14 | 2011-08-14 | 用于硅片碱腐蚀加工的夹具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102345171A true CN102345171A (zh) | 2012-02-08 |
| CN102345171B CN102345171B (zh) | 2013-12-04 |
Family
ID=45544233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011102317991A Active CN102345171B (zh) | 2011-08-14 | 2011-08-14 | 用于硅片碱腐蚀加工的夹具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102345171B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104388934A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-04 | 重庆墨希科技有限公司 | 一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置 |
| CN107675265A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-09 | 浙江昊能光电有限公司 | 一种多晶硅片手动搬运装置 |
| CN109142206A (zh) * | 2018-10-08 | 2019-01-04 | 北方电子研究院安徽有限公司 | 一种硅片腐蚀装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201857427U (zh) * | 2010-07-14 | 2011-06-08 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 硅杯腐蚀夹具 |
| CN202202021U (zh) * | 2011-08-14 | 2012-04-25 | 上海合晶硅材料有限公司 | 用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具 |
-
2011
- 2011-08-14 CN CN2011102317991A patent/CN102345171B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201857427U (zh) * | 2010-07-14 | 2011-06-08 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 硅杯腐蚀夹具 |
| CN202202021U (zh) * | 2011-08-14 | 2012-04-25 | 上海合晶硅材料有限公司 | 用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104388934A (zh) * | 2014-12-11 | 2015-03-04 | 重庆墨希科技有限公司 | 一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置 |
| CN107675265A (zh) * | 2017-08-31 | 2018-02-09 | 浙江昊能光电有限公司 | 一种多晶硅片手动搬运装置 |
| CN109142206A (zh) * | 2018-10-08 | 2019-01-04 | 北方电子研究院安徽有限公司 | 一种硅片腐蚀装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102345171B (zh) | 2013-12-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102345171B (zh) | 用于硅片碱腐蚀加工的夹具 | |
| CN208352282U (zh) | 一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的icp基板吸取结构 | |
| CN203998239U (zh) | 一种吸板机 | |
| CN202202021U (zh) | 用于硅片碱腐蚀加工的新型夹具 | |
| CN204248775U (zh) | 可调式盖板抓取机构 | |
| CN104078866A (zh) | 一种隔离开关触头带电维护装置 | |
| CN201141945Y (zh) | 框架式可调清洗篮 | |
| CN101342798B (zh) | 液压机移动机构工件托起装置 | |
| CN204124764U (zh) | 置于引线框架送料机前方的压料装置 | |
| CN209396560U (zh) | 一种可在x-z平面内移动的四爪机械手结构 | |
| CN205496231U (zh) | 一种光学零件清洗用可活动调节夹具 | |
| CN203921420U (zh) | 标签贴装定位治具 | |
| CN208312785U (zh) | 一种船用冷水机组用定压补水装置 | |
| CN204433267U (zh) | 一种可升降式简易托盘装置 | |
| CN204019760U (zh) | 一种石材幕墙板块安装槽的加工装置 | |
| CN210789695U (zh) | 一种传热波纹板切割吸附固定装置 | |
| CN207545886U (zh) | 一种超声波萃取固定装置 | |
| CN205851000U (zh) | 一种粉末涂料磨粉装置 | |
| CN220402106U (zh) | 一种工控机 | |
| CN204280673U (zh) | 一种插头自动化清洗按压装置 | |
| CN203932765U (zh) | 一种隔离开关触头带电维护装置 | |
| CN204035698U (zh) | 一种具有水切割缓冲槽的顶棚靠模 | |
| CN210098008U (zh) | 一种suv后备箱盖板高效喷漆装置 | |
| CN216181019U (zh) | 一种后盖标签全自动数控切割装置 | |
| CN211546934U (zh) | 一种织带加工用除尘装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 201617 no.558, changta Road, Shihudang Town, Songjiang District, Shanghai Patentee after: Shanghai crystal silicon material Co., Ltd Address before: 201617 No. 500 South noble Road, Shanghai, Songjiang District Patentee before: Shanghai Hejing Silicon Material Co., Ltd. |