CN204157169U - 一种全自动蚀刻工艺流水线 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动蚀刻工艺流水线，包括依次连接的放卷机构、印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构；所述印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构均设置有穿插其内部并输送料带的轨道，所述轨道包含有左支架、右支架、驱动电机、若干个传送轮和若干个平行排列的滚轴。此流水线具有加工速度快，加工方便的优点。

Description

一种全自动蚀刻工艺流水线

技术领域

本实用新型属于一种蚀刻生产设备领域，具体涉及一种全自动蚀刻工艺流水线。

背景技术

现有的技术中的刻蚀的整体设备包含有印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构；所述印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、清洗机构。当其中一个设备的工序完成后，需要人工将料卷手动送到下一个设备，所以操作非常麻烦，而且降低了加工的速度。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提出一种全自动蚀刻工艺流水线，使提高刻蚀加工操作更加方便，速度更快。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是一种全自动蚀刻工艺流水线，包括依次连接的放卷机构、印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构；所述印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构均设置有穿插其内部并输送料带的轨道，所述轨道包含有左支架、右支架、驱动电机、若干个传送轮和若干个平行排列的滚轴，所述左支架与右支架均横向穿插在印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构的内侧，所述滚轴的两端分别与左支架与右支架旋转连接，所述传送轮轴向均布在滚轴上用于传送料卷，所述驱动电机与其中的一根或者多个滚轴旋转。

所述印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、清洗机构和烘干机构的顶面设置有一个对其产生的气体进行过滤的空气过滤系统。

所述轨道为一条或者多条。

所述轨道为多条时，所述多条轨道水平放置并对接。

所述每个滚轴设置有10个传送轮。

相邻传送轮之间设置有间隙。

(三)有益效果

本实用新型的全自动蚀刻工艺流水线，通过将印刷机构、曝光机构、显影机构、蚀刻机构、去膜机构、清洗机构、烘干机构和包装机构连城一体，并通过一条穿插在上述机构内的轨道，可以将料卷直接从上个工序直接送到下个工序，操作非常方便，又节省了操作时间。

附图说明

图1为本实用新型的全自动蚀刻工艺流水线的结构示意图；

图2为图1中的A向视图；

图3为图1中B的放大图；

图中1为放卷机构、2为印刷机构、3为曝光机构、4为显影机构、5为蚀刻机构、6为去膜机构、7为清洗机构、8为烘干机构、9为包装机构、10为轨道、11为左支架、12为右支架、13为驱动电机、14为传送轮、15为滚轴、16为空气过滤系统。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1-图3所示的一种全自动蚀刻工艺流水线，包括依次连接的放卷机构1、印刷机构2、曝光机构3、显影机构4、蚀刻机构5、去膜机构6、清洗机构7、烘干机构8和包装机构9；所述放卷机构1无需裁切卷料，可直接使用。所述印刷机构2、曝光机构3、显影机构4、蚀刻机构5、清洗机构7、烘干机构8和包装机构9均设置有穿插其内部并输送料带的轨道10，所述轨道10包含有左支架11、右支架12、驱动电机13、若干个传送轮14和若干个平行排列的滚轴15，所述左支架11与右支架12均横向穿插在印刷机构2、曝光机构3、显影机构4、蚀刻机构5、清洗机构7、烘干机构8和包装机构9的内侧，所述滚轴15的两端分别与左支架11与右支架12旋转连接，所述在每个滚轴15上设置10个轴向均布的传送轮14以用于传送料片，相邻传送轮14之间设置有间隙，节省成本。这样可以节省所述驱动电机13与其中的一根或者多个滚轴15旋转，从而通过传送轮14旋转来控制料卷传递，无需在完成一道工序后需要人工再搬到下一道工序上，非常方便，又节省了时间，

所述印刷机构2、曝光机构3、显影机构4、蚀刻机构5、清洗机构7和烘干机构8的顶面设置有一个对其产生的气体进行过滤的空气过滤系统16，通过空气过滤系统16可以将印刷机构2、曝光机构3、显影机构4、蚀刻机构5、清洗机构7和烘干机构8上的化学气体过滤，从而不会污染环境，而且十分安全。

所述轨道10可以为单独的一条，方便控制。也可以为多条，多条时，所述多条轨道10水平放置并对接，而且在每个机构上面设置一条，这样可以单独控制，更有利于提高操作速度。

使用时，放卷机构1以一定的转速旋转，将卷料的料带通过轨道10输送到印刷机构2，印刷机构2完成后将通过轨道10输送到曝光机构3，曝光机构3完成后将通过轨道10输送到显影机构4，显影机构4完成后将通过轨道10输送到蚀刻机构5，蚀刻机构5完成后将通过轨道10输送到清洗机构6，清洗机构6完成后将通过轨道10输送到烘干机构7，烘干机构7完成后将通过轨道10输送到包装机构9，而且上述工序完成后，通过料带通过轨道输送又可继续工作。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述全自动蚀刻工艺流水线包括依次连接的放卷机构(1)、印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)；所述印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)均设置有穿插其内部并输送料带的轨道(10)，所述轨道(10)包含有左支架(11)、右支架(12)、驱动电机(13)、若干个传送轮(14)和若干个平行排列的滚轴(15)，所述左支架(11)与右支架(12)均横向穿插在印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)的内侧，所述滚轴(15)的两端分别与左支架(11)与右支架(12)旋转连接，所述传送轮(14)轴向均布在滚轴(15)上用于传送料卷，所述驱动电机(13)与其中的一根或者多个滚轴(15)旋转。

2.根据权利要求1所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、清洗机构(7)和烘干机构(8)的顶面设置有一个对其产生的气体进行过滤的空气过滤系统(16)。

3.根据权利要求2所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述轨道(10)为一条或者多条。

4.根据权利要求3所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述轨道(10)为多条时，所述多条轨道(10)水平放置并对接。

5.根据权利要求4所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述每个滚轴(15)设置有10个传送轮(14)。

6.根据权利要求5所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，相邻传送轮(14)之间设置有间隙。