CN203967056U - 一种晶圆定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆定位装置，用于定位晶圆匣中晶圆的位置，所述晶圆匣上端开口且包含两个彼此相对的内侧壁；所述内侧壁上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位；所述两个内侧壁上的槽位两两对应并用于承载晶圆；其特征在于，所述晶圆定位装置至少包括：设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。本实用新型的所述晶圆定位装置可以使得晶圆在插入晶圆匣中槽位的过程中，能够精准的使晶圆平行地插入两两对应的槽位中，避免由于斜插使得晶圆破损的情况，提高了产品的良率。

Description

一种晶圆定位装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制程设备，特别是涉及一种晶圆定位装置。

背景技术

在半导体集成电路生产制造中，为了确保晶圆的安全储存、搬迁并避免破损和污染，广泛运用晶圆匣作为晶圆的承载以及运输工具。参照图1，图1显示的是现有技术中的晶圆匣及承载在其内部的晶圆的三维结构示意图。图1中，所述晶圆匣10的上端开口且包含有两个彼此相对的内侧壁101；所述内侧壁上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位102；所述两个内侧壁上的槽位两两对应并用于承载晶圆11；所述晶圆11在手动传送至所述晶圆匣中时，正常情况下所述晶圆被插入图1中左右两个内侧壁上两两对应的槽位中，所谓两两对应的槽位指的是图1中，左右两个内侧壁上能够使晶圆在同一平面内的两个对应的槽位。

由于所述晶圆匣中两个内侧壁上的槽位排列密集，一般在将晶圆插入所述晶圆匣的实际操作过程中，很难用肉眼分辨是不是将晶圆插入左右处于同一平面上的两两对应的槽位中，而一旦当晶圆被插入不对应的两个槽位中，晶圆面则会被扭曲，从而发生晶圆的破损。

因此，有必要提出一种新的用于晶圆匣的晶圆定位装置来避免上述现象的发生。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆定位装置，用于解决现有技术中由于用肉眼难以分辨晶圆匣中彼此相对的两个内侧壁上的两两对应的槽位而使得晶圆发生斜插的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆定位装置，用于定位晶圆匣中晶圆的位置，所述晶圆匣上端开口且包含两个彼此相对的内侧壁；所述内侧壁上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位；所述两个内侧壁上的槽位两两对应并用于承载晶圆；其特征在于，所述晶圆定位装置至少包括：设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述支架包括用于固定所述晶圆匣的两个底座、分别设置于所述两个底座上的平行轨道以及末端连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴的通过一位于所述晶圆匣底部的横杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述支架包括用于固定所述晶圆匣的一底座、设置于所述底座上的两个平行轨道以及连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴通过一U型杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的中点分别固定于所述U型杆的两臂的末端；所述U型杆的横截面与所述滑动竖轴垂直；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述指针包括指针头和与所述滑动竖杆固定的矩形组件，所述指针头焊接在所述矩形组件的中央，所述矩形组件的两侧与所述滑动竖轴的顶端通过螺丝相互固定。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述两个彼此相对的内侧壁相对于所述晶圆匣外部倾斜角度相同；所述槽位沿水平方向层叠于所述两个内侧壁。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述两个内侧壁上的所述槽位数分别25层。

作为本实用新型的晶圆定位装置的一种优选方案，所述晶圆匣的深度大于所述晶圆的直径。

如上所述，本实用新型的晶圆定位装置，具有以下有益效果：本实用新型的所述晶圆定位装置可以使得晶圆在插入晶圆匣中槽位的过程中，能够精准的使晶圆平行地插入两两对应的槽位中，避免由于斜插使得晶圆平面发生扭曲而破损的情况，提高了产品的良率。

附图说明

图1为现有技术中的承载有晶圆的晶圆盒的三维结构示意图。

图2为本实用新型的晶圆定位装置沿垂直两个内侧壁的剖面示意图。

图3为本实用新型的晶圆定位装置的前视图。

图4为本实用新型的晶圆定位装置中支架的俯视示意图。

图5为本实用新型的另一种晶圆定位装置的前视图。

图6为本实用新型的另一种晶圆定位装置的侧视图。

图7为本实用新型的晶圆匣槽位以及指针的局部放大结构示意图。

图8为本实用新型的另一种晶圆定位装置的俯视示意图。

元件标号说明

10           晶圆匣

101          内侧壁

102          槽位

11           晶圆

12           指针

13           底座

14           平行轨道

15           滑动竖轴

16           横杆

17           U型杆

121          指针头

122          矩形组件

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图2至图8。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图所示，本实用新型提供一种晶圆定位装置，所述晶圆定位装置用于定位晶圆匣中晶圆的位置，所述晶圆匣的以及位于该晶圆匣中的晶圆如图1所示，图1中，所述晶圆匣10为上端开口的装置，所述晶圆匣10包含有两个内侧壁101，该两个内侧壁彼此相对并且所述两个内侧壁上设有横向层叠的槽位，本实用新型的所述晶圆匣中两个内侧壁上的槽位彼此两两对应，并用于承载晶圆，也就是说，晶圆置于该晶圆匣中时，晶圆占据的是两个内侧壁上的一对两两对应的槽位。该一对两两对应的槽位按顺序依次排列在两个内侧壁上。例如：该晶圆匣中左边内侧壁上的第一个槽位和右边内侧壁上的第一个槽位为一对两两对应的槽位；左边内侧壁上第二个槽位和右边内侧壁上第二个槽位为一对两两对应的槽位；以此类推；该晶圆匣中左边内侧壁上第N个槽位和右边内侧壁上第N个槽位为一对两两对应的槽位(所述N小于等于25且大于等于1)。当晶圆置于所述两两对应的槽位中时，晶圆的表面不发生扭曲，即晶圆属于正常放置在该晶圆匣中，没有受到破损。

所述两个彼此相对的内侧壁各自倾斜于所述晶圆匣外部且倾斜角度相同；如图1所示，也就是说所述两个彼此相对的内侧壁在水平面上有投影，并且投影于所述晶圆匣的外部，并且投影的面积大小相同，亦即所述两个内侧壁的倾斜角度相同；进一步优选地，所述两个内侧壁101上的所述槽位数分别25层；即一个晶圆匣一次最多可以承载25片晶圆。优选地，所述槽位呈水平方向层叠于所述两个内侧壁。即所述每个内侧壁上的所述槽位的横向层叠方向为沿所述内侧壁平面的水平方向上的层叠，当25片晶圆置于所述晶圆匣中后，该25片晶圆的最高点齐平(呈水平)。即当晶圆匣呈如图1所示的摆放位置时，所述槽位的层叠方向为沿与纸面垂直的方向。进一步优选地，所述晶圆匣的深度大于所述晶圆的直径，当晶圆放入所述晶圆匣中后，所述晶圆的最高点低于所述晶圆匣两个内侧壁。

实施例一

本实施例中的晶圆定位装置至少包括：设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。如图2所示，图2为本实用新型的晶圆定位装置沿垂直所述两个内侧壁的剖面示意图。图2中，所述晶圆11位于所述晶圆匣10中的两个内侧壁上横向层叠的槽位中，如图2中所示，所述晶圆定位装置中包含有指针12，所述指针位于所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘，并且，所述两个内侧壁边缘的指针可以沿各自所在的内侧壁边缘同步移动，即图2中，所述两个指针在垂直纸面所在的方向，沿所述内侧壁的边缘实现同步移动；本实用新型的所述晶圆定位装置中的所述两个内侧壁边缘的两个指针相互联动，也就是说，所述两个指针通过一定的组件或装置相互连接在一起，并且能够沿各自所在的内侧壁边缘同步移动(移动方向和移动速度相同)。本实用新型的所述晶圆匣是固定的。

本实施例中的所述两个指针设置于一支架上，优选地，如图2、图3和图4所示，图2为本实施例中的晶圆定位装置沿垂直所述内侧壁的剖面图。图3为本实施例中的晶圆定位装置的前视图；图4为本实施例中晶圆定位装置的俯视图。本实施例中的所述支架包括如图3所示的用于固定所述晶圆匣10的两个底座13和如图4所示的分别设置于所述两个底座13上的平行轨道14以及(图3和图4中)末端连接在每个轨道上的滑动竖轴15；(如图4中)所述滑动竖轴15的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；(图2中)所述两个滑动竖轴的末端通过一位于所述晶圆匣底部的横杆16彼此连接；(图2和图3中)所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

由于图2为沿垂直所述内侧壁的剖面图，而位于所述晶圆匣底部的横杆16用来连接所述两个指针，使得所述两个指针可以联动；而用来支撑所述晶圆匣的两个底座与位于所述晶圆匣底部的横杆彼此不接触；因此与所述晶圆匣底部接触的两个底座没有显示出来。而图3为本实施例中的晶圆定位装置的前视图，则可以看到与所述晶圆匣底部接触的两个底座13。

也就是说，所述两个底座13位于所述晶圆匣的底部用来支撑和固定所述晶圆匣，如图4所示，在所述两个底座上各设置一个轨道，二者构成平行轨道14，所述两个相互平行的轨道上各自设有一个滑动竖轴15，所述滑动竖轴的末端套设在所述轨道上并沿着所述轨道所在的方向滑动，而该滑动方向为沿所述槽位的层叠方向，本实施例中沿垂直于所述纸面的方向。如图2和图3中所示，所述两个滑动竖轴的顶端各自这有一指针12，所述两个指针12用于指向各自所在的内侧壁的两两对应的槽位；如图2和图4所示，由于所述滑动竖轴的末端由一横杆16相互连接，因此所述两个滑动竖轴在沿所述槽位的层叠方向移动是同步移动(相同方向相同速度的移动)，由于所述两个滑动竖轴的顶端都设有指向两两对应的槽位的指针，因此在所述两个滑动竖轴同步移动的过程中，分别设置在两个滑动竖轴顶部的两个指针也同步移动；因此，所述滑动竖轴顶部的指针在同步移动的过程中会同时指向所述的一对两两对应的槽位；因此，所述晶圆就可以在指针的指示作用下被插入一对两两对应的槽位102中。

优选地，如图7所示，所述指针包含用于指示位于所述内侧壁101上的所述槽位102的指针头121和与所述滑动竖杆固定的矩形组件122，图7中所述指针头121焊接在所述矩形组件122的中央，所述矩形组件122的两侧与所述滑动竖轴的顶端通过螺丝相互固定。

本实施例中所述晶圆定位装置的工作原理为：当需要将晶圆插入所述晶圆匣中某一两两对应的槽位中时，人工拨动所述滑动竖轴，使得所述指针同时指向该两两对应的一对槽位；由于所述两个滑动竖轴彼此通过位于所述晶圆匣底部的横杆相互连接，因此所述用于指示一对两两对应的槽位的两个指针可同步移动至该两两对应的槽位的位置，然后将借助指针的指示并通过肉眼的分辨将晶圆对准该两个两两对应的槽位插入，待插入后，还可以借助指针的指示用肉眼检查一下晶圆是否是位于指针所指的两个槽位中。

实施例二

本实施例中的晶圆定位装置至少包括：设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。如图5所示，图5为本实施例的晶圆定位装置的前视图。图5中，所述晶圆11位于所述晶圆匣10中的两个内侧壁上横向层叠的槽位中，如图5中所示，所述晶圆定位装置中包含有指针12，所述指针位于所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘，并且，所述两个内侧壁边缘的指针可以沿各自所在的内侧壁边缘同步移动，即图5中，所述两个指针在垂直纸面所在的方向，沿所述内侧壁的边缘实现同步移动；本实用新型的所述晶圆定位装置中的所述两个内侧壁边缘的两个指针相互联动，也就是说，所述两个指针通过一定的组件或装置相互连接在一起，并且能够沿各自所在的内侧壁边缘同步移动(移动方向和移动速度相同)。本实施例中的所述晶圆匣是固定的。

本实施例中的所述两个指针设置于一支架上，优选地，如图5、图6和图8所示，图5为本实施例的晶圆定位装置的前视图。图5为本实施例中的晶圆定位装置的前视图；图6为本实施例中晶圆定位装置的侧视图；图8为本实施例的晶圆定位装置的俯视图。本实施例中的所述支架包括如图5所示的用于固定所述晶圆匣的一个底座13和设置于该底座13上的两个平行轨道14以及(图5和图6中)连接在每个轨道上的滑动竖轴15；(如图6中)所述滑动竖轴15的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；(图5和图6中)所述两个滑动竖轴15通过一U型杆17彼此连接；所述两个滑动竖轴的中点分别固定于所述U型杆17的两臂的末端；如图6所示，所述U型杆17的横截面与所述滑动竖轴15垂直；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

由于图8为本实施例中晶圆定位器的俯视图，而位于所述晶圆匣前方的所述U型杆是用来间接地连接所述两个指针，使得所述两个指针可以实现联动；而用来支撑所述晶圆匣的底座与所述U型杆彼此不接触。也就是说，所述一个底座13位于所述晶圆匣的底部用来支撑和固定所述晶圆匣，如图5和图6所示，在该底座上设置两个轨道，二者构成平行轨道14，所述两个相互平行的轨道上各自设有一个滑动竖轴15，所述滑动竖轴的末端套设在所述轨道上并沿着所述轨道所在的方向滑动，而该滑动方向为沿所述槽位的层叠方向，本实施例中沿垂直于所述纸面的方向。如图5和图6中所示，所述两个滑动竖轴的顶端各自这有一指针12，所述两个指针12用于指向各自所在的内侧壁的两两对应的槽位；由于所述滑动竖轴的中点由一横杆16相互连接，因此所述两个滑动竖轴在沿所述槽位的层叠方向移动是同步移动(相同方向相同速度的移动)，由于所述两个滑动竖轴的顶端都设有指向两两对应的槽位的指针，因此在所述两个滑动竖轴同步移动的过程中，分别设置在两个滑动竖轴顶部的两个指针也同步移动；因此，所述滑动竖轴顶部的指针在同步移动的过程中会同时指向所述的一对两两对应的槽位；因此，所述晶圆就可以在指针的指示作用下被插入一对两两对应的槽位102中。

优选地，如图7所示，所述指针包含用于指示位于所述内侧壁101上的所述槽位102的指针头121和与所述滑动竖杆固定的矩形组件122，图7中所述指针头121焊接在所述矩形组件122的中央，所述矩形组件122的两侧与所述滑动竖轴的顶端通过螺丝相互固定。

本实施例中所述晶圆定位装置的工作原理为：当需要将晶圆插入所述晶圆匣中某一两两对应的槽位中时，人工拉动或推动所述U型杆，使得所述指针同时指向该两两对应的一对槽位；由于所述两个滑动竖轴彼此通过所述U型杆相互连接，因此所述用于指示一对两两对应的槽位的两个指针可同步移动至该两两对应的槽位的位置，然后将借助指针的指示并通过肉眼的分辨将晶圆对准该两个两两对应的槽位插入，待插入后，还可以借助指针的指示用肉眼检查一下晶圆是否是位于指针所指的两个槽位中。

综上所述，本实用新型的所述晶圆定位装置可以使得晶圆在插入晶圆匣中槽位的过程中，能够精准的使晶圆平行地插入两两对应的槽位中，避免由于斜插使得晶圆平面发生扭曲而破损的情况，提高了产品的良率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种晶圆定位装置，用于定位晶圆匣中晶圆的位置，所述晶圆匣上端开口且包含两个彼此相对的内侧壁；所述内侧壁上设有若干贯通于所述开口且横向层叠的槽位；所述两个内侧壁上的槽位两两对应并用于承载晶圆；其特征在于，所述晶圆定位装置至少包括：

设置于一支架上且分别沿所述晶圆匣开口处的所述两个内侧壁边缘同步移动的指针；

所述指针相互联动且用于指向所述两两对应的槽位。

2.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圆匣的两个底座、分别设置于所述两个底座上的平行轨道以及连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴通过一位于所述晶圆匣底部的横杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述支架包括用于固定所述晶圆匣的一底座、设置于所述底座上的两个平行轨道以及连接在每个轨道上的滑动竖轴；所述滑动竖轴的滑动方向与所述槽位的层叠方向相同；所述两个滑动竖轴通过一U型杆彼此连接；所述两个滑动竖轴的中点分别固定于所述U型杆的两臂的末端；所述U型杆的横截面与所述滑动竖轴垂直；所述两个滑动竖轴的顶端分别与所述指针连接。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆定位器，其特征在于：所述指针包括指针头和与所述滑动竖杆固定的矩形组件，所述指针头焊接在所述矩形组件的中央，所述矩形组件的两侧与所述滑动竖轴的顶端通过螺丝相互固定。

5.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述两个彼此相对的内侧壁相对于所述晶圆匣外部倾斜角度相同；所述槽位沿水平方向层叠于所述两个内侧壁。

6.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述两个内侧壁上的所述槽位数分别25层。

7.根据权利要求1所述的晶圆定位器，其特征在于：所述晶圆匣的深度大于所述晶圆的直径。