CN203728253U - 基板位置偏差调整装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 117
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Manipulator (AREA)
Abstract
一种基板位置偏差调整装置，设置于用于运送基板的机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整。所述基板位置偏差调整装置设置于所述机械手的下方，且包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部。所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动。根据本实用新型的基板位置偏差调整装置可以对机械手上运送的基板进行有效的整列，即，通过在机械手上加装整列单元，使得每次在进入下一个工序单元之前都能够进行调整，因而能很好地避免基板偏移情况的发生，降低生产产品发生异常的概率，有效提升合格率和降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基板位置偏差调整装置，特别地涉及一种用于调整机械手上的基板位置偏差的调整装置，即整列单元。
背景技术
机械手又叫机器人(robot)在技术上日趋成熟，已经成为一种标准设备而得到工业界广泛应用，机械手的应用例如可提高生产效率、提高产品质量、降低企业成本。随着我国经济的持续发展和科学技术的突飞猛进，机械手在涂胶、码垛、点焊、弧焊、喷涂、搬运、测量等行业都有着相当广泛的应用。
例如，在TEL涂胶显影装置中，通常是使用机械手来传送基板的。图1为示出了根据现有技术的机械手传送基板的示意图，其中的(a)图示出了基板在机械手上发生位置偏差的情形；(b)图示出了发生位置偏差的基板被运输到基台上的情形；以及(c)图示出了机械手撤走后，基台上的基板保持位置偏差的情形。具体如下，如图1所示，在机械手10传送基板20时，基板20发生位置偏差的概率通常比较大，例如在涂完光刻胶之后，机械手10传送基板20时，首先执行抓取基板20的动作，如果在此阶段基板20的位置发生偏差，则被送至下一工序，例如被送至热板时，基板20的位置偏差会一直保留而得不到纠正和调整。如图1中的(a)图所示，机械手10在抓取基板20时发生了基板20的位置偏差，例如基板20偏差5°。现有技术中的TEL涂胶显影装置中，对基板20的位置偏差进行校正的整列单元40通常位于基台30上，例如在图1中的(a)图中示出了位于基台30的四个拐角处的四个整列单元40。但是，如图1的(b)图、(c)图所示，尽管在基台30上设置了整列单元40，但是基板20在机械手10上的位置偏差会被一直保留，在机械手10撤走之后，基板20在基台30上仍然会保持偏差5°。
这是因为基板20在驱动销下降后可能会搁在整列单元40上，从而使得 基台30上的整列单元40不能真正起到调整位置偏差的作用。具体如图2所示，图2示出了现有技术中的基板发生位置偏差的示意图，其中的(a)图为基板搁置到驱动销上的情形，(b)图为驱动销下降后的情形。如图2的(a)所示，例如在下一工序的热板内，机械手10将基板20搁置在驱动销50上，之后驱动销50下降将基板20搁置在基台30上，但是由于基板20在机械手10上已经发生位置偏差，因此，下降后的基板20可能会搁在整列单元40上，且由于热板内的高温无法安装用于检测基板位置的任何传感器，即使基板20的位置发生偏差，设备也不会有提示报警。因此会由于基板20与热板未充分接触而造成膜厚不均，例如在基板20未充分接触热板的区域导致膜厚增大。只有在后续工序中进行抽检时才可能发现上述问题，因而会造成产品大批返工，产生额外的成本支出。
实践中，由于机械手的皮带张力会失去准确性，因而容易发生基板偏移，基于此，可以通过按时测试及调整皮带张力来尽量避免上述情形。但是，机械手在长时间运行之后，基板位置发生偏移的概率还是会大大增加。因此，非常有必要研发一种可以对基板的位置偏移进行有效调整的整列单元。
实用新型内容
要解决的技术问题
有鉴于此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种基板位置偏差调整装置，其可以对现有技术中容易发生的基板位置偏移进行有效的调整。
解决问题的手段
根据本实用新型的一个方案，提供一种基板位置偏差调整装置，用于对机械手所运送的基板进行调整，该基板位置偏差调整装置设置于所述机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动，所述旋转气缸和所述导轨气缸整合到所述机械手的控制部中，通过所述纵向部实现所述旋转气缸和所述导轨气缸与所述侧部的电气连接，从而实现控制所述侧部的上下运动和水平运动。
优选地，所述基板位置偏差调整装置设置于所述机械手的下方。
所述基板位置偏差调整装置包括多个水平部、分别位于每个水平部两侧的两个侧部以及沿着所述机械手的手臂的纵向延伸的纵向部。
所述旋转气缸和所述导轨气缸分别位于所述水平部的上、下面上。
所述旋转气缸和所述导轨气缸可以对所述侧部执行反向复位操作。
所述基板位置偏差调整装置呈支架的形式且设置于所述机械手的尾部。
根据本实用新型的另一方面，还提供一种机械手，用于传送基板，该机械手设置有基板位置偏差调整装置，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述机械手的基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动。
有益技术效果
根据本实用新型的基板位置偏差调整装置可以对机械手上运送的基板进行有效的整列，即，通过在机械手上加装整列单元，使得每次在进入下一个工序单元之前都能够进行调整，因而能很好地避免基板偏移情况的发生，降低生产产品发生异常的概率，有效提升合格率和降低生产成本。
应理解，本实用新型的前述大体描述和以下的详细描述都是示意性和说明性的，并旨在提供对所声称的实用新型的进一步的解释。
附图说明
所包括的附图提供对本实用新型的进一步的理解，附图被并入并构成本申请的一部分，本实用新型的示出实施例连同描述一起用于解释本实用新型的原理。
在图中：
图1为示出了根据现有技术的机械手传送基板的示意图，其中的(a)图示出了基板在机械手上发生位置偏差的情形；(b)图示出发生位置偏差的基板为运输到基台上的情形；以及(c)图示出机械手撤走后，基台上的基板保持位置偏差的情形。
图2示出了现有技术中的基板发生位置偏差的示意图，其中的(a)图 为基板搁置到驱动销上的情形，(b)图为驱动销下降后的情形。
图3为示出了根据本实用新型的基板位置偏差调整装置的示意图。
图4为说明根据本实用新型的整列单元如何进行基板位置偏差调整的示意图，图4中的(a)图为整列单元对基板位置偏差进行调整的第一步；(b)图为整列单元对基板位置偏差进行调整的第二步；(c)图为整列单元对基板位置偏差进行调整的第三步；以及(d)图为整列单元对基板位置偏差进行调整的第四步。
具体实施方式
以下将参照附图详细地说明本实用新型的实施方式。
首先如图3所示，该图3为示出了根据本实用新型的基板位置偏差调整装置的示意图。与图1的现有技术相比，本实用新型的改进之处在于在机械手100上加装了整列单元400。如前所述，由于机械手100的皮带张力会失去准确性，因而容易发生基板偏移的问题，因此，本实用新型直接在机械手100上加装增列单元400，通过该整列单元400可以很好地调整基板位置，保证基板位置调整到最好后再送入下一单元，从而降低生产产品发生异常的概率，有效提升合格率和降低生产成本。
具体地，如图3所示，该整列单元400呈支架的形式，其安装在机械手100的两个手臂的下方，优选地如图所示，位于机械手100的尾部，且该整列单元400包括水平部410和位于水平部410两侧的两个侧部420，该两个侧部420分别连接旋转气缸和导轨气缸(图中未示出)，例如，旋转气缸和导轨气缸可分别安装在水平部分410的上、下面，用来分别控制两个侧部420的上下运动和水平运动。旋转气缸和导轨气缸可选择本领域内公知的任一种类的气缸。
此外，如图3中所示出的，整列单元400的沿着机械手100的两个手臂的纵向延伸的纵向部430连接到机械手100的下方控制部，通过该纵向部430可以更好地支撑基板，且如果将上述的旋转气缸和导轨气缸设置与机械手的控制部分中时，可利用该纵向部430实现两个侧部420与各自的气缸的电气连接，进而实现对两个侧部420的控制。
图3中示出了仅包括一个水平部410的情形，当然本实用新型也可包括 多个水平部410，例如包括两个水平部410，以及分别位于两个水平部410两侧的两个侧部420，和沿着机械手100的手臂的纵向延伸的纵向部430。在包括两个水平部410的情形下，共包括四个侧部420，可对这四个侧部420进行分别控制，或者可以对这四个侧部420进行组合来控制。对于本领域普通技术人员而言显然的，优选地，这四个侧部420或者如前述实施例中所述的两个侧部420对称设置，以对基板提供对称均匀的作用力，从而有效调整基板位置偏差。
以下将参照图4来说明根据本实用新型的整列单元400如何进行基板位置偏差的调整的，图4中的(a)图为整列单元400对基板位置偏差进行调整的第一步；(b)图为整列单元400对基板位置偏差进行调整的第二步；(c)图为整列单元400对基板位置偏差进行调整的第三步；以及(d)图为整列单元400对基板位置偏差进行调整的第四步。
首先参照图4的(a)图所示，抓取到机械手上的基板200发生了位置偏差，同样地例如该基板200的位置偏差为5°。与现有技术不同的是，在根据本实用新型的该实施例中，由于在机械手上加装了整列单元400，通过控制整列单元400的一系列动作可以对该基板200进行有效地位置偏差调整。该整列单元400的动作控制可以事先通过编程输入控制器来自动执行，可以根据需要手动执行。图4的(a)图为整列单元400的原始位置。在图4的(b)图中，整列单元400的侧部420通过旋转气缸的驱动而旋转运动，到达直立的状态，之后，如图4的(c)图所示，侧部420在导轨气缸的驱动下进行水平滑动运动而靠近基板200的两个边缘，通过对基板200施加挤压动作而对基板200的位置偏差进行有效调整。图中示出了包括两个侧部420的实施例，当然，也可包括四个侧部，进而在四个位置对基板200进行位置偏差校正。
完成位置偏差校正之后，侧部420再次通过水平气缸的驱动滑移到图4中的(b)所示的位置，最后在旋转气缸的驱动下如图4的(d)所示，回到原始状态。
以上为根据本实用新型的整列单元400的动作过程。实践中，机械手在取基板之后实现释放机械手垫上的真空，在传送信号至控制器，由控制器进行控制来执行上述的位置偏差校正程序，对基板200进行整列，随后，在整 列单元400恢复到原始位置时，再吸附真空，对基板200进行下一步传送。
根据本实用新型，由于在机械手上加装了整列单元400，因此在每次将基板送入下一单元前都能进行调整，从而可以有效地纠正基板位置偏差，降低产品发生异常的概率，有效提升合格率和降低生产成本。
对于本领域的技术人员明显的是，对本实用新型进行的各种更改和变型不背离本实用新型的精神或范围。因此，本实用新型旨在覆盖本实用新型的更改和变型，只要所述更改和变型落入所附的权利要求及其等同替换的范围内即可。
Claims (7)
1.一种基板位置偏差调整装置，用于对机械手所运送的基板进行调整，其特征在于，该基板位置偏差调整装置设置于所述机械手上，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动，所述旋转气缸和所述导轨气缸整合到所述机械手的控制部中，通过所述纵向部实现所述旋转气缸和所述导轨气缸与所述侧部的电气连接，从而实现控制所述侧部的上下运动和水平运动。
2.如权利要求1所述的基板位置偏差调整装置，其特征在于，所述基板位置偏差调整装置设置于所述机械手的下方。
3.根据权利要求1所述的基板位置偏差调整装置，其特征在于，所述基板位置偏差调整装置包括多个水平部、分别位于每个水平部两侧的两个侧部以及沿着所述机械手的手臂的纵向延伸的纵向部。
4.根据权利要求1或3所述的基板位置偏差调整装置，其特征在于，所述旋转气缸和所述导轨气缸分别位于所述水平部的上、下面上。
5.根据权利要求1或3所述的基板位置偏差调整装置，其特征在于，所述旋转气缸和所述导轨气缸可以对所述侧部执行反向复位操作。
6.根据权利要求1或2所述的基板位置偏差调整装置，其特征在于，所述基板位置偏差调整装置呈支架的形式且设置于所述机械手的尾部。
7.一种机械手，用于传送基板，其特征在于，该机械手设置有基板位置偏差调整装置，以对由所述机械手运送的基板进行位置偏差调整，使得所述基板在进入下一工序之前即完成位置偏差调整，所述基板位置偏差调整装置包括水平部、位于水平部两侧的两个侧部以及沿着机械手的手臂的纵向延伸的纵向部，所述两个侧部中的每一个侧部均由旋转气缸和导轨气缸来进行控制，以使所述侧部执行上下运动和水平运动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320717797.8U CN203728253U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 基板位置偏差调整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320717797.8U CN203728253U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 基板位置偏差调整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203728253U true CN203728253U (zh) | 2014-07-23 |
Family
ID=51198343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320717797.8U Expired - Fee Related CN203728253U (zh) | 2013-11-13 | 2013-11-13 | 基板位置偏差调整装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN203728253U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105922252A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-09-07 | 天津中电达人智能科技有限公司 | 一种机械手臂装置 |
-
2013
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105922252A (zh) * | 2016-06-20 | 2016-09-07 | 天津中电达人智能科技有限公司 | 一种机械手臂装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 201500, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District Patentee after: Shanghai Hehui optoelectronic Co.,Ltd. Address before: 201500, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District Patentee before: EverDisplay Optronics (Shanghai) Ltd. |
|
| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 201506, No. nine, No. 1568, Jinshan Industrial Zone, Shanghai, Jinshan District Patentee after: Shanghai Hehui optoelectronic Co.,Ltd. Address before: 201500, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District Patentee before: Shanghai Hehui optoelectronic Co.,Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140723 |