CN203674172U - 防尘罩 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防尘罩，包括罩体、升降机构和活动门，升降机构安装在罩体的侧部，升降机构与活动门连接，罩体设有与活动门配合的开口。本实用新型的防尘罩能够将用于放置晶圆的工作台罩住，通过升降机构使活动门向下或向上移动，操作人员即可通过开口将晶圆放置在工作台上，按后再通过升降机构使活动门向上或向下移动，使活动门能够封住开口。因此，防尘罩能够防止无尘车间中下部的尘埃颗粒污染工作台，进而提高产品的质量，活动门仅在需要向工作台放置晶圆时打开，方便操作。

Description

防尘罩

技术领域

本实用新型涉及一种用于晶圆加工设备工作台的防尘罩。

背景技术

晶圆是生产集成电路所用的半导体，晶圆加工对卫生净化要求特别高，加工车间一般为无尘车间。如图1所示，晶圆加工的无尘车间的地板7为镂空，地板7下方安装有风机，风机将车间内的尘埃颗粒抽吸至地板7下集中处理，因此，车间内的尘埃颗粒密度由上至下递增，一般距离地板1.8米以上的空间尘埃颗粒极少。工作台6用于放置晶圆，当晶圆放置在工作台6上后，会被传送至加工设备进行加工，加工设备位于工作台6一侧的密闭空间内。工作台6距地板约0.8～1.2米，此空间的尘埃颗粒较多，当工作人员走动会造成尘埃颗粒流动，易使工作台6污染，进而对放置在工作台6上的晶圆造成污染，对加工晶圆造成影响，降低产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种防止工作台污染、提高产品质量的防尘罩。

为实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种防尘罩，包括罩体、升降机构和活动门，升降机构安装在罩体的侧部，升降机构与活动门连接，罩体设有与活动门配合的开口。

本实用新型的有益效果为：本防尘罩的活动门在升降机构的作用下能够实现上下移动。本防尘罩能够将用于放置晶圆的工作台罩住，通过升降机构使活动门向下或向上移动，操作人员即可通过开口将晶圆放置在工作台上，按后再通过升降机构使活动门向上或向下移动，使活动门能够封住开口。因此，防尘罩能够防止无尘车间中下部的尘埃颗粒污染工作台，进而提高产品的质量，活动门仅在需要向工作台放置晶圆时打开，方便操作。

在一些实施方式中，升降机构包括导轮、钢丝绳、第一配重块和第二配重块，钢丝绳跨过导轮，一端与第一配重块连接，另一端与第二配重块连接，第二配重块与活动门连接，导轮安装在罩体上。由此，当第一配重块上升时，在钢丝绳的带动下，第二配重块带动活动门下降，当第一配重块下降时，在钢丝绳的带动下，第二配重块带动活动门上升，第一配重块平衡了活动门及第二重力块的重量。

在一些实施方式中，第二配重块和活动门的重量之和等于第一配重块的重量，从而利用天平原理，由两块配重块来完成对活动门的定位。

在一些实施方式中，升降机构为两个，分设于罩体的两侧。由此，两个升降机构分别与活动门的两侧连接，使活动门受力均匀，能够平稳地移动。

在一些实施方式中，罩体包括依次连接的第一面、第二面和第三面，开口位于第二面，升降机构位于第一面和/或第三面。由此，能够使工作台自与第二面相对的一侧进入防尘罩，便于防尘罩安装。

在一些实施方式中，升降机构还包括第一导轨和第二导轨，第一导轨和第二导轨均安装在罩体的侧部，第一配重块与第一导轨配合，第二配重块与第二导轨相配合，从而使两配重块的上下移动更加平稳。

在一些实施方式中，第一导轨和第二导轨均为直线导轨，第一配重块安装有与第一导轨配合的第一直线轴承，第二配重块安装有与第二导轨配合的第二直线轴承。由此，第一直线轴承和第二直线轴承能够降低两配重块与两导轨之间的摩擦力，使活动门的上下移动更加灵活。

在一些实施方式中，钢丝绳的端部回折由固定件固定形成套扣，螺钉穿过套扣与第一配重块或第二配重块连接，从而防止钢丝绳脱落。

在一些实施方式中，第一配重块和/或第二配重块的侧部安装有小导轮，从而防止第一配重块和/或第二配重块受力发生倾斜而与罩体发生摩擦。

在一些实施方式中，防尘罩还包括保护罩，升降机构位于保护罩内，保护罩与罩体连接。由此，保护罩能够防止升降机构被污染，防止升降机构的润滑油挥发造成污染。

附图说明

图1为无尘车间内用于放置晶圆的工作台的示意图；

图2为本实用新实施例1的防尘罩的结构示意图；

图3为图1所示防尘罩的升降机构的结构示意图；

图4为图2所示防尘罩的升降机构的钢丝绳与第一配重块连接的示意图；

图5为图1所示防尘罩的活动门关闭状态的示意图；

图6为图5所示防尘罩的活动门关闭状态时升降机构的示意图；

图7为本实用新型实施例4的防尘罩的升降机构的示意图；

图8为与图7所示的防尘罩的升降机构相对应的活动门的状态示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。

实施例1

如图2和图3所示，本实施例的防尘罩包括罩体1、升降机构2和活动门3，升降机构2安装在罩体1的侧部，升降机构2与活动门3连接，罩体1设有与活动门3配合的开口11。升降机构2为两个，分设于罩体1的两侧。活动门3安装有把手31，活动门3为玻璃门。升降机构2位于罩体1的下部。

罩体1包括依次连接的第一面12、第二面13和第三面，开口11位于第二面13，升降机构2位于第一面12和第三面。其中，第一面12与第三面平行设置，第一面12与第二面13相互垂直。第一面12、第二面13和第三面均由玻璃或钢板安装在支撑架上形成。罩体1的底部焊接有支脚14。防尘罩在安装时，使第一面12、第二面13和第三面分别与工作台6的三面相对应，使工作台6自与第二面13相对的一侧进入罩体1。

升降机构2包括导轮21、钢丝绳22、第一配重块23、第二配重块24、第一导轨25和第二导轨26。第二配重块24和活动门3的重量之和等于第一配重块23的重量，从而利用天平原理，由两块配重块来完成对活动门3的定位，即活动门3能够停止在活动范围内的任意位置，且稍加施力就能够使活动门3移动。

钢丝绳22跨过导轮21，一端与第一配重块23连接，另一端与第二配重块24连接，第二配重块24与活动门3通过螺钉固定连接。导轮21通过轴安装在罩体1上。第一导轨25和第二导轨26的两端分别通过安装板27安装在罩体1的侧部，第一配重块23与第一导轨25配合，第二配重块24与第二导轨26相配合。

第一导轨25和第二导轨26均为直线导轨，第一配重块23安装有与第一导轨25配合的第一直线轴承，第二配重块24安装有与第二导轨26配合的第二直线轴承。第一直线轴承为两个，分设于第一配重块23的两端，第二直线轴承为两个，分设于第二配重块24的两端。第一配重块23的两侧均通过轴安装有小导轮4，小导轮4防止第一配重块23受力发生倾斜而与罩体1的第一面12或第三面发生摩擦。

本实施方式的防尘罩还包括保护罩5，升降机构2位于保护罩5内，保护罩5与罩体1通过螺钉连接。保护罩5能够防止升降机构2被污染，且防止升降机构2的润滑油挥发造成污染。

如图4所示，钢丝绳22的端部回折后由固定件221固定形成套扣，螺钉222穿过套扣与第一配重块23或第二配重块24连接，从而实现了钢丝绳与第一配重块23或第二配重块24的连接。

图5为活动门3关闭状态时的示意图，图6为活动门3关闭状态时的升降装置2的示意图。当通过把手31向活动门3施力，使活动门3向上移动时，第二配重块24沿第二导轨26向上移动。在钢丝绳22的带动下，第一配重块23沿第一导轨25向下移动。当第二配重块24上升到第二导轨26的顶端时停止，此时活动门3恰好将开口11封住。

实施例2

与实施例1不同的是，本实施例的防尘罩的升降机构2的第一配重块23的重量大于第二配重块24和活动门3的重量，罩体1的底部安装有与活动门配合的卡件。活动门3处于最低点时通过卡件将门卡住，使活动门3处于静止状态。当卡件与活动门3分离后，第一配重块23向下移动，钢丝绳22带动第二配重块24使活动门3能够自动向上移动，当第二配重块24上升到第二导轨26的顶端时停止，此时活动门3恰好将开口11封住。

实施例3

本实施例的防尘罩与实施例1基本相同，不同之处在于，升降装置2包括电动机和与电机输出端连接的丝杆，丝杆与活动门配合连接，电动机运行能够使丝杆带动活动门上下移动。

实施例4

如图7和图8所示，与实施例1不同的是，本实施例防尘罩的升降装置2位于罩体1的上部。当通过把手31向活动门3施力，使活动门3向上移动时，第二配重块24沿第二导轨26向上移动。在钢丝绳22的带动下，第一配重块23沿第一导轨25向下移动。当第二配重块24上升到第二导轨26的顶端时停止，此时活动门3恰好将开口11打开。

当通过把手31向活动门3施力，使活动门3向下移动时，第二配重块24沿第二导轨26向下移动。在钢丝绳22的带动下，第一配重块23沿第一导轨25向上移动。当第二配重块24下降到第二导轨26的底端时停止，此时活动门3恰好将开口11封住。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.防尘罩，其特征在于，罩体（1）、升降机构（2）和活动门（3），所述升降机构（2）安装在罩体（1）的侧部，所述升降机构（2）与活动门（3）连接，所述罩体（1）设有与活动门（3）配合的开口（11）。

2.根据权利要求1所述的防尘罩，其特征在于，所述升降机构（2）包括导轮（21）、钢丝绳（22）、第一配重块（23）和第二配重块（24），第二配重块（24）与活动门（3）连接，所述导轮（21）安装在罩体（1）上，所述钢丝绳（22）跨过导轮（21），一端与第一配重块（23）连接，另一端与第二配重块（24）连接。

3.根据权利要求2所述的防尘罩，其特征在于，所述第二配重块（24）和活动门（3）的重量之和等于第一配重块（23）的重量。

4.根据权利要求1所述的防尘罩，其特征在于，所述升降机构（2）为两个，分设于罩体（1）的两侧。

5.根据权利要求1或4所述的防尘罩，其特征在于，所述罩体（1）包括依次连接的第一面（12）、第二面（13）和第三面（14），所述开口（11）位于第二面（13），所述升降机构（2）位于第一面（12）和/或第三面（14）。

6.根据权利要求2所述的防尘罩，其特征在于，所述升降机构（2）还包括第一导轨（25）和第二导轨（26），所述第一导轨（25）和第二导轨（26）均安装在罩体（1）的侧部，第一配重块（23）与第一导轨（25）配合，第二配重块（24）与第二导轨（26）相配合。

7.根据权利要求6所述的防尘罩，其特征在于，所述第一导轨（25）和第二导轨均（26）为直线导轨，所述第一配重块（23）安装有与第一导轨（25）配合的第一直线轴承（231），所述第二配重块（24）安装有与第二导轨配合（26）的第二直线轴承（241）。

8.根据权利要求2所述的防尘罩，其特征在于，所述钢丝绳（22）的端部回折由固定件（221）固定形成套扣，螺钉（222）穿过套扣与第一配重块（23）或第二配重块（24）连接。

9.根据权利要求2所述的防尘罩，其特征在于，所述第一配重块（23）和/或第二配重块（24）的侧部安装有小导轮（4）。

10.根据权利要求1所述的防尘罩，其特征在于，还包括保护罩（5），所述升降机构（2）位于保护罩（5）内，保护罩（5）与罩体（1）连接。

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