CN203587518U - 光学式瑕疵检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学式瑕疵检测装置，其包含机台、第一取像模块、第二取像模块、光源模块、分光镜模块及处理模块。机台用于运送待检测物。第一取像模块接收第一影像光线并产生第一影像讯号。第二取像模块接收第二影像光线并产生第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。分光镜模块接收待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线，处理模块再根据以判断出待检测物的瑕疵特征。本实用新型采用第一取像模块与第二取像模块具有差异性的配置，可提高装置的检测能力及准确度，且第二取像模块与第一取像模块的影像撷取光路相互垂直可有效的缩小装置的检测距离。

Description

光学式瑕疵检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种瑕疵检测装置，具体涉及一种利用二种不同参数配置且影像光路相互垂直的撷取模块，以进行检测待检测物的光学式瑕疵检测装置，其中不同参数尤其是指分辨率的不同或全彩式影像与灰阶式影像的差别。

背景技术

一般来说自动光学检测装置（AOI）是用来检测待检测物的外观缺陷或量测尺寸等检测项目，尤其是应用于表面黏着制程的零件（如印刷电路板(PCBs)上焊接组件）或对于印刷电路板(PCBs)、平面显示面板(FPDs)或触控式面板的布线检测，更是需要进行精确的外观缺陷或尺寸量测等检测项目，例如导体的完整性(断裂、连续、破裂等)及尺寸、缘体或基板的完整性及尺寸、孔尺寸及配置、穿孔尺寸及配置、导体间距、线宽及线长、芯片特征、上胶、组件放置或焊接缺陷等，以确保表面黏着组件或组件布线的质量。现有技术中的自动光学检测装置（AOI）大多为使用一检测台、一光源模块及一取像模块，其中单一取像模块大多是指同一种分辨率的取像模块，在不同的情况应用下，亦有可能使用若干个取像模块，但其分辨率上的应用是相同的。检测台摆放需检测的待检测物，再来利用光源模块对着待检测物发出一正向或背向光源，接着利用取像模块撷取影像，最后依据撷取的影像进行外观暇疵或尺寸量测等检测项目。

现有技术中使用单一取像模块进行检测，因自动光学检测装置在同一待检测物的检测工程中，无法动态变化其分辨率以进行检测，也就是说在同一待检测物于一检测工程中无法临时变更其分辨率。若欲变更分辨率以进行检测，则须提供另一完整检测工程中，方可变更分辨率进行检测。在为使待检测物检测得以精确，通常会调整取像模块至较高的分辨率或全彩式的影像以进行检测，而此时使用较高的分辨率或较高的分辨率搭配全彩式的影像，其检测时程须花费较多的时间，此情形在制造工时日益要求的制造产业下，实为一大阻碍。

再者，若将使用全彩式影像的摄影模块的分辨率提高，则检测速度会更慢；另一方面若为使检测速度不变慢，而将全彩式影像变更为灰阶式影像的话，但灰阶式影像对于待检测物的颜色轻微变异却不易检测。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光学式瑕疵检测装置，解决现有技术中检测效率不佳的问题，不提高全彩式影像的摄影模块的分辨率，以其检测灰阶式影像的摄影模块对于颜色判定上的弱点，再搭配灰阶式影像的摄影模块并提高其分辨率，以弥补较差分辨率的全彩式影像的摄影模块对较小缺点的检测能力，如此整体检测速度并未因改变摄影模块的分辨率提高而减慢。

为了达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种光学式瑕疵检测装置，其包含了一机台、至少一第一取像模块、至少一第二取像模块、一光源模块、一分光镜模块及至少一处理模块。机台用于运送一待检测物。第一取像模块设置于机台，且接收第一影像光线，以产生至少一第一影像讯号。第二取像模块设置于机台，且接收第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。光源模块设置于机台，且发射光源至待检测物。分光镜模块设置于机台，且位于第一取像模块及待检测物之间，而第二取像模块位于分光镜模块的一侧。分光镜模块接收通过光源所产生的对应待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线。处理模块电性连结第一取像模块及第二取像模块，其根据第一影像讯号、第二影像讯号或第一影像讯号及第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

第一取像模块可产生灰阶式的第一影像讯号，第二取像模块可产生全彩式的第二影像讯号。

第一取像模块的影像分辨率可高于第二取像模块的影像分辨率。

第一取像模块及第二取像模块可为线型感光组件（Line Scan CCD）。

处理模块还可包含一预定样板；处理模块根据预定样板与第一影像讯号或第二影像讯号，以判断出待检测物的瑕疵特征。

处理模块可根据预定样板将待检测物的一表面区分为若干个区块，若干个区块分别设定为不同的一检测参数，表面为面向第一取像模块或第二取像模块的表面。

处理模块可根据第一影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

较佳地，处理模块可根据第二影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

分光镜模块的穿透率可为60～70％，其反射率可为30～40％。

一种光学式瑕疵检测装置，其包含了一机台、若干个光源模块、至少一第一取像模块、一反光镜模块、至少一第二取像模块及至少一处理模块。机台用于运送一待检测物。若干个光源模块设置于机台，且分别发射一光源至待检测物。第一取像模块对应其中一光源模块设置于机台，第一取像模块接收通过其中一光源模块所发出的光源所产生的对应待检测物的一待检测物影像光线，以产生至少一第一影像讯号。反光镜模块对应其中另一光源模块设置于机台，且反射通过另一光源模块所发出的光源所产生的对应待检测物的另一待检测物影像光线，以成为一第二影像光线。第二取像模块对应反光镜模块设置于机台，且接收通过反光镜模块反射的第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。处理模块电性连结第一取像模块及第二取像模块，其根据第一影像讯号、第二影像讯号或第一影讯号及第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

第一取像模块可产生灰阶式的第一影像讯号，第二取像模块可产生全彩式的第二影像讯号。

第一取像模块的影像分辨率可高于第二取像模块的影像分辨率。

第一取像模块及第二取像模块可为线型感光组件（Line Scan CCD）。

处理模块还可包含一预定样板，处理模块可根据预定样板与第一影像讯号或第二影像讯号，以判断出待检测物的瑕疵特征。

处理模块可根据预定样板将待检测物的一表面区分为若干个区块，若干个区块分别设定为不同的一检测参数，表面为面向第一取像模块或第二取像模块的表面。

处理模块可根据第一影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

处理模块可根据第二影像讯号及各区块的检测参数，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

更可包含一隔板，其设置于待检测物影像光线的光路与另一待检测物影像光线的光路之间。

本实用新型光学式瑕疵检测装置与现有技术相比具有以下优点：

（1）由于二取像模块间的影像撷取光路采用相互直的方式，达到缩小检测距离的效果；

（2）由于设有二个取像模块，并设定不同的参数，达到二个影像撷取模块间的不同的参数进行互补的效果，且其二者在撷取速度上的匹配，进一步有效提升检测效率；

（3）由于设有二个影像撷取模块，并设定不同的参数进行互补，能够一次性地扫描即可完成检测，能有效提升检测上的速度及节省时间；

（4）由于设有二个影像撷取模块，并设定不同的参数配置进行互补，能够有效地提升检测能力且不损及检测速度；

（5）由于二个光学式瑕疵检测装置可组合而成光学式瑕疵检测装置，提高了本实用新型的实用性。

附图说明

图1为本实用新型光学式瑕疵检测装置的第一实施例的结构框图。

图2为本实用新型光学式瑕疵检测装置的第一实施例的光路示意图。

图3为本实用新型光学式瑕疵检测装置的第二实施例的结构框图。

图4为本实用新型光学式瑕疵检测装置的第二实施例的光路示意图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本实用新型做进一步阐述。

如图1及图2所示，分别为本实用新型光学式瑕疵检测装置的第一实施例的结构框图及光路示意图。如图1及图2所示，光学式瑕疵检测装置1包含了一机台11、至少一第一取像模块12、至少一第二取像模块13、一光源模块14、一分光镜模块15及至少一处理模块16。

机台11可为平台式、轨道式或皮带式，其用于承载及运送一待检测物9，以供进行待检测物9的表面瑕疵检测。其中，待检测物9可为软式印刷电路板、硬式印刷电路板、软硬结合式印刷电路板、平面显示面板（FPDs）或触控面板。在本实施例机台11以轨道式作为示范态样，而待检测物9系以硬式印刷电路板作为示范态样，但应不以此为限。

第一取像模块12设置于机台11上，且位于待检测物9的上方位置。第二取像模块13设置于机台11上，且位于待检测物9与第一取像模块12之间，并偏向一侧的位置。其中值得注意的是，第一取像模块12及第二取像模块13可包含镜头、感光组件如线型感光组件（Line Scan CCD）、模拟/数字电路、影像处理器等，第一取像模块12的影像撷取光路正对着待检测物9，而第二取像模块13的影像撷取光路垂直于第一取像模块12的影像撷取光路。其中，第一取像模块12及第二取像模块13的数量均可为一个或多个，当为多个时，其可以并排的方式进行排列配置，故应不以本实施例所揭示的为限。

光源模块14可为内同轴式光源或外同轴式光源。若光源模块14为内同轴式光源时，其可设置于取像模块的内部，例如第二取像模块13的内容；若光源模块14为外同轴式光源时，其可设置于待检测物9与第一取像模块12之间，且位于相对于第二取像模块13的另一侧的位置上。

分光镜模块15设置于机台11上，且位于第一取像模块12及第二取像模块13的影像撷取光路的交点上。当光源模块14发射光源141至待检测物9上时，分光镜模块15则接受通过光源141所产生对应待检测物9的待检测物影像光线91，并将其分为第一影像光线151及第二影像光线152，以分别供第一取像模块12及第二取像模块13接收并分别产生第一影像讯号121及第二影像讯号131。

处理模块16电性连结至第一取像模块12及第二取像模块13，以接收第一取像模块12及第二取像模块13分别产生的第一影像讯号121及第二影像讯号131。处理模块16可为中央处理器（Central Processing Unit，CPU）或微处理器（Micro-Processing Unit）。处理模块16再根据第一影像讯号121、第二影像讯号131或第一影像讯号121及第二影像讯号131，以判断出待检测物9的表面的至少一瑕疵特征，而瑕疵特征，例如待检测物9（基板）上布线导体的瑕疵，例如导体断裂、连续、破裂或导体间间距、导体线宽或导体线长等尺寸过大或过小的情形；其亦可显示组件放置偏位或焊接缺陷等。再者，处理模块16电性连结至第一取像模块12及第二取像模块13的方式，可以无线传输（如WIFI或3G等）或有线式的传输，其可视实际设计、成本考虑或工作现场环境进行考虑而加以变化。优选的，处理模块16可进一步地与机台11电性连结，以根据处理模块16接收第一影像讯号121或第二影像讯号131的情形，进而控制机台11运送待检测物9的速度。

光学式瑕疵检测装置1的第一取像模块12可设置为撷取灰阶式（B/W）的影像，以产生灰阶式的第一影像讯号121，而第二取像模块13可设置为撷取全彩式（Color）的影像，以产生全彩式的第二影像讯号131；若单以全彩式的影像与灰阶式的影像进行比较，全彩式的影像的数据量会大于灰阶式的影像的数据量，也因此于数据传输时，灰阶式的影像的传输速度会大于或快于全彩式的影像传输速度；也就是说，取像模块以灰阶式的影像进行扫描的扫描速度会高于以全彩式的影像进行扫描的扫描速度。也因此，第一取像模块12的分辨率可高于第二取像模块13。即第一取像模块12产生灰阶式及分辨率较高的第一影像讯号121，而第二取像模块13产生全彩式及分辨率较低的第二影像讯号131。

因此，光学式瑕疵检测装置1的处理模块16可利用为灰阶式及分辨率较高的第一影像讯号121进行较精细的表面瑕疵检测，再搭配利用为全彩式及分辨率较低的第二影像讯号131，进行较粗略的表面瑕疵检测。其中第二影像讯号131可弥补第一影像讯号121对于颜色上检测的不足之处，例如当电路板上有镀金而镀金变色时，此情形若仅利用灰阶式的第一影像讯号121则较无法检测出有关于颜色的变化情形，故可利用全彩式的第二影像讯号131进检测。较佳的，光学式瑕疵检测装置1应以一全彩式搭配一灰阶式以进行检测，但不以此为限。换句话说，本实用新型利用二种不同配置的取像模块以达到检测精准度上的互补与检测速度上的匹配，进而提高分辨率而其检测速度仍不变慢。其中值得一提的是，若在选择较佳传输速度的影像撷取模块时，亦可将第一取像模块12的灰阶式的影像变更为全彩式的影像，而可仅以不同分辨率分配的取像模块进行分工检测，故应不以此为限。

如图2所示，图中的直线表示光线的行进路径。分光镜模块15可为穿透率为60～70％，而反射率为30～40％的分光镜。当光源模块14发射光源141至待检测物9上时，分光镜模块15则接受通过光源141所产生对应待检测物9的待检测物影像光线91。此时，待检测物影像光线91会穿透过分光镜模块15及被分光镜模块15反射。穿透过分光镜模块15的待检测物影像光线91则成为第一影像光线151且被第一取像模块12所接收，以供第一取像模块12产生至少一第一影像讯号121。被分光镜模块15反射的待检测物影像光线91则成为第二影像光线152且被第二取像模块13所接收，以供第二取像模块13产生至少一第二影像讯号131。顺带一提的是，光源模块14上可设置有一反射部142，以使光源141可适当的发射至待检测物9上。

本实施例中，利用分光镜模块15的配置，其可使二种不同配置的取像模块同时的检测待检测物9的表面上的同一个区域，即，待检测物9只须在机台11上输送一次即可完成检测，而不会有额外的检测距离的产生，其相较于现有技术利用二个检测程序进行检测时所需的待检测物表面的两倍检测距离来的少许多。

如图3和图4所示，分别为本本实用新型光学式瑕疵检测装置的第二实施例的结构框图及光路示意图。本实施例是二种不同分辨率及全彩或灰阶配置的取像模块的另一实施态样，于本实施例中，相同组件符号或名称的组件，其作动与连结关系与前一实施例类似，其类似处于此便不再加以赘述。

如图3及图4所示，本实施例中的光学式瑕疵检测装置2同样包含了机台21、第一取像模块22、第二取像模块23及处理模块26，而不同于前一实施例中的，本实施例中的光源模块24为若干个，且未包含分光镜模块15，并额外包含了反光镜模块25。

详细来说，若干个光源模块24的其中一光源模块，如第一光源模块241，其对应第一取像模块22设置于机台21，以发出一第一光源2411，而若干个光源模块24的其中另一光源模块，如第二光源模块242，其是对应第二取像模块23设置机机台21，以发出一第二光源2421。即，如同前一实施例的，第一取像模块22的影像撷取光路是正对于待检测物9是我表面，而第二取像模块23是我影像撷取光路则垂直于第一取像模块22是我影像撷取光路。其中第一光源模块241设置于第一取像模块22与待检测物9之间，且位于第一取像模块22的影像撷取光路的一侧，并通过其内部设置的反光部（未绘示于图中），以将第一光源2411适当的发射至待检测物9的表面。第二光源模块242设置于第二取像模块23与待检测物9之间，且第二光源模块242的光源路径是平行于第二取像模块23的影像撷取光路的一侧，再并通过其内部设置的反光部（未绘示于图中），以将第二光源2421适当的发射至待检测物9的表面。也就是说，第一取像模块22与第二取像模块23通过第一光源模块241及第二光源模块242的设置，而分别具有不同的光学路径，即双光路。

反光镜模块25设置于第二取像模块23的影像撷取光路与第二光源2421通过待检测物9反射的待检测物影像光线91的路径的交点上。即，反光镜模块25将待检测物影像光线91反射至第二取像模块23，以供其产生第二影像讯号231。

如图4所示，图中的直线是表示光线的行进路径。以光路传递来说，第一光源模块241发出的第一光源2411被其所包含的反射部反射后而适当的发射至待检测物9上，而第一光源2411通过待检测物9反射的待检测物影像光线91则直接成为第一影像光线，而进入第一取像模块22中，以供其据以产生第一影像讯号221。另一方面，第二光源模块242发出的第二光源2421同样地被其所包含的反射部反射后而适当的发射至待检测物9上，此时，不同于第一取像模块22的，第二光源2421通过待检测物9反射的待检测物影像光线91会被反光镜模块25所接收并将其垂直转向而成为第二影像光线252，以进入第二取像模块23中，以供其据以产生第二影像讯号231。而处理模块26再根据第一影像讯号221、第二影像讯号231或第一影像讯号221及第二影像讯号231，以判断出待检测物9的表面的至少一瑕疵特征。在上述的双光路之间，可另增设一隔板27，以避免二个光路之间的相互干扰。

于本实施例中，同样地利用第一取像模块22搭配灰阶底的影像及高分辨率，而第二取像模块23搭配全彩式的影像及低分辨率以进行影像撷取，而不同于前一实施例的，二种不同配置的取像模块是为同时对待检测物9的表面上的不同一个区域进行检测，如一前一后、一左一右的检测。虽然，此配置方式进行检测，其检测距离会略大于第一实施例的检测距离，但本实施中的待检测物9仍只须在机台21上输送一次即可完成检测，而不会有过多额外的检测距离的产生，其相较于现有技术中利用二个检测程序进行检测时所需的待检测物表面的两倍检测距离仍来的少许多。而本实施例优于前一实施例的是，第一取像模块22及第二取像模块23所使用的光源波长并不会因仅使用一个光源而受限，其可因应需求的不同，而分别使用不同波长的光源进行检测，尤其是对本实施例中专责于检测颜色变异度的第二取像模块23来说，更有一大帮助。

值得注意的是，处理模块26可分别根据其本身具有的预定样板261将待检测物9的一表面区分为若干个区块，且若干个区块分别设定为不同的一检测参数262。此时，处理模块26可根据第一影像讯号221及对应待检测物9的各区块的检测参数262，以判断出待检测物9的至少一瑕疵特征。然后，处理模块26根据第二影像讯号231及对应待检测物9的各区块的检测参数262，以判断出待检测物9的至少一瑕疵特征（例如基板上较大的组件（如芯片、电容或二极管等）、较大的瑕疵或颜色变异度等）。其中各区块的检测参数262可为光学式瑕疵检测装置2一原出厂的设定值或后续相关使用人员自行设定的参数值。而处理模块26的数量亦可设置为二个，以分别处理第一取像模块22及第二取像模块23的影像，故应不以此为限。

再者，上述中的配置方式，亦可搭配不同的程序指令要求，不同规格的取像模块检测不同区域的工件，或是在取像模块取得影像后，处理模块(单一或多个)可选择全部或部分区域的影像做处理；也就是说，其可以设定不同规格的取像模块，所撷取到的影像设定不同的检查区、非检查区或检查区域的大小。如此一来，因为需处理的数据量减少，亦同时减少后端（如影像处理器）的处理时间，更有可能再缩短检测机的检查时间。

综上所述，本实用新型的光学式瑕疵检测装置相较于现有技术所使用的同一种规格的取像模块的检测机，本实用新型的光学式瑕疵检测装置另外在同一台检测机同一机台上，增加另一组不同规格（如分辨率或影像色彩）的取像模块，经由配置差异上的设计，除了不会影响到原先仅使用同一种规格的取像模块的检测时间，反能因为不同规格的取像模块的搭配，使待检测物上瑕疵或缺点的被检出率有效地增加并降低漏判及误判，且可检测的瑕疵类型或大小范围可更广，更能符合AOI检测机在检测速度及检测能力的最佳要求。这是目前使用单一种规格的取像模块的检测机所无法达成的。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (18)

1.一种光学式瑕疵检测装置，其特征在于，包含：

机台，用于运送待检测物；

至少一第一取像模块，设置于所述的机台，且接收第一影像光线，以产生至少一第一影像讯号；

至少一第二取像模块，设置于所述的机台，且接收第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且所述的第二取像模块的影像撷取光路垂直于所述的第一取像模块的影像撷取光路；

光源模块，设置于所述的机台，且发射光源至待检测物；

分光镜模块，设置于所述的机台，且位于所述的第一取像模块及所述的待检测物之间，而所述的第二取像模块位于所述的分光镜模块的一侧，所述的分光镜模块接收通过所述的光源所产生的对应所述的待检测物的待检测物影像光线，且将所述的待检测物影像光线分为所述的第一影像光线及所述的第二影像光线；以及

至少一处理模块，电性连结至所述的第一取像模块及所述的第二取像模块，其根据所述的第一影像讯号、所述的第二影像讯号或所述的第一影像讯号及所述的第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。

2.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块产生灰阶式的所述的第一影像讯号，所述的第二取像模块产生全彩式的所述的第二影像讯号。

3.如权利要求1所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块的影像分辨率高于所述的第二取像模块的影像分辨率。

4.如权利要求2或3所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块及所述的第二取像模块为线型感光组件。

5.如权利要求2或3所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块还包含预定样板，所述的处理模块根据所述的预定样板与所述的第一影像讯号或所述的第二影像讯号，以判断出所述的待检测物的所述的瑕疵特征。

6.如权利要求5所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的预定样板将所述的待检测物的表面区分为若干个区块，所述的若干个区块分别设定为不同的检测参数，所述的表面为面向所述的第一取像模块或所述的第二取像模块的表面。

7.如权利要求6所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的第一影像讯号及各所述的区块的检测参数，以判断出所述的待检测物的所述的至少一瑕疵特征。

8.如权利要求6所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的第二影像讯号及各所述的区块的所述的检测参数，以判断出所述的待检测物的所述的至少一瑕疵特征。

9.如权利要求2所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的分光镜模块的穿透率为60～70％，其反射率为30～40％。

10.一种光学式瑕疵检测装置，其特征在于，包含：

机台，用于运送待检测物；

若干个光源模块，设置于所述的机台，且分别发射光源至所述的待检测物；

至少一第一取像模块，对应其中一所述的光源模块设置于所述的机台，所述的第一取像模块接收通过所述的其中一光源模块所发出的所述的光源所产生的对应所述的待检测物的待检测物影像光线，以产生至少一第一影像讯号；

反光镜模块，对应其中另一所述的光源模块设置于所述的机台，且反射通过所述的其中另一光源模块所发出的所述的光源所产生的对应所述的待检测物的另一待检测物影像光线，以成为一第二影像光线；

至少一第二取像模块，对应所述的反光镜模块设置于所述的机台，且接收通过所述的反光镜模块反射的所述的第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且所述的第二取像模块的影像撷取光路垂直于所述的第一取像模块的影像撷取光路；以及

至少一处理模块，电性连结至所述的第一取像模块及所述的第二取像模块，其根据所述的第一影像讯号、所述的第二影像讯号或所述的第一影像讯号及所述的第二影像讯号，以判断出所述的待检测物的至少一瑕疵特征。

11.如权利要求10所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块产生灰阶式的所述的第一影像讯号，所述的第二取像模块产生全彩式的所述的第二影像讯号。

12.如权利要求10所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块的影像分辨率高于所述的第二取像模块的影像分辨率。

13.如权利要求11或12所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的第一取像模块及所述的第二取像模块为线型感光组件。

14.如权利要求11或12所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块还包含预定样板，所述的处理模块根据所述的预定样板与所述的第一影像讯号或所述的第二影像讯号，以判断出所述的待检测物的所述的瑕疵特征。

15.如权利要求14所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的预定样板将所述的待检测物的表面区分为若干个区块，所述的若干个区块分别设定为不同的检测参数，所述的表面为面向所述的第一取像模块或所述的第二取像模块的表面。

16.如权利要求15所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的第一影像讯号及各所述的区块的所述的检测参数，以判断出所述的待检测物的所述的至少一瑕疵特征。

17.如权利要求15所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的处理模块根据所述的第二影像讯号及各所述的区块所述的所述的检测参数，以判断出所述的待检测物的所述的至少一瑕疵特征。

18.如权利要求10所述的光学式瑕疵检测装置，其特征在于，所述的光学式瑕疵检测装置还包含一隔板，设置于所述的待检测物影像光线的光路与所述的另一待检测物影像光线的光路之间。

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