CN203582971U - 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 - Google Patents
一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203582971U CN203582971U CN201320747890.3U CN201320747890U CN203582971U CN 203582971 U CN203582971 U CN 203582971U CN 201320747890 U CN201320747890 U CN 201320747890U CN 203582971 U CN203582971 U CN 203582971U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphite plate
- groove
- small
- epitaxial wafer
- mocvd
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn - After Issue
Links
Images
Abstract
一种提高MOCVD外延片均匀性的石墨盘,涉及MOCVD外延片生产设备——石墨盘的结构设计。本实用新型包括大石墨盘和小石墨盘,在大石墨盘上设有通气小孔和连接栓,在小石墨盘中心的背部设置与连接栓适配的支撑凹槽,所述小石墨盘通过支撑凹槽和连接栓的配合布置在大石墨盘上方;在小石墨盘上设置有中心片槽和边缘片槽;其特征在于在大石墨盘背面开设圆柱形凹槽,所述凹槽和连接栓布置在同一轴线上。本实用新型补偿了连接栓导热造成的小盘中心局部温度较高的现象,从而改善小石墨盘的温度差异现象,同时使得小石墨盘上中心片槽和边缘片槽的温度达到一致,最终在小盘上获得均匀性很好的外延片。
Description
技术领域
本实用新型涉及MOCVD外延片生产技术领域,特别是MOCVD外延生产设备——石墨盘的结构设计。
背景技术
MOCVD是指金属有机物化学气相沉积设备,目前广泛应用于III-V化合物半导体薄膜材料的生长。载气把Mo有机源带入反应室,在衬底上反应,形成薄膜材料。衬底放置于石墨盘上,通过灯丝或者射频进行加热,加热温度为500~1200 ℃。石墨盘由高纯石墨组成,并包裹SiC。加热单元在石墨盘下面。
目前Aixtron公司的G5 MOCVD外延石墨盘的设计如图1所示,小石墨盘105放置于大石墨盘101上, 连接栓 103通过小石墨盘上的孔105支撑小石墨盘。外延生长过程中,载气(H2或者N2)通过大石墨盘上的通气小孔102吹起小石墨盘,让其进行自转。小石墨盘上有7个片槽,1个中心片槽105和6个对称的边缘片槽106。大石墨盘底部的加热单元100通过载气,把热量传递到置于小石墨盘盘片槽的衬底上。
由于连接栓103是由导热性较好的钛金属构成,小石墨盘盘上中心片的中心温度会明显高于边缘温度,同时又会高于边缘片的温度。这样会导致中心片中心波长比边缘短,同时中心片波长比边缘片短。小石墨盘内部温度不均匀造成小石墨盘内部外延片均一性不好,这是目前G5 MOCVD目前外延生长普遍存在的问题。
实用新型内容
本实用新型目的是提出一种能克服现有技术缺陷,提高小石墨盘内部温度均匀度的提高MOCVD外延片均匀性的石墨盘。
本实用新型包括大石墨盘和小石墨盘,在大石墨盘上设有通气小孔和连接栓,在小石墨盘中心的背部设置与连接栓适配的支撑凹槽,所述小石墨盘通过支撑凹槽和连接栓的配合布置在大石墨盘上方;在小石墨盘上设置有中心片槽和边缘片槽;其特征在于在大石墨盘背面开设圆柱形凹槽,所述凹槽和连接栓布置在同一轴线上。
本实用新型由于在小石墨盘中心相对的大盘背面设置了圆柱形凹槽,温度得到降低,补偿了连接栓导热造成的小盘中心局部温度较高的现象,从而改善小石墨盘的温度差异现象,同时使得小石墨盘上中心片槽和边缘片槽的温度达到一致,最终在小盘上获得均匀性很好的外延片。
另外,本实用新型所述凹槽的直径为10~10000微米,深度为10~10000微米。通过进一步优化大石墨盘背面圆柱形凹槽的大小,可以调整小石墨盘中心片的温度,以进一步提高外延片质量。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式
如图1所示本实用新型包括大石墨盘101和小石墨盘105,在生产时大石墨盘101下方布置有加热单元100。
在大石墨盘101上设有供载气的若干通气小孔102,在通孔小孔102中心处设置一个连接栓103,在小石墨盘105中心的背部设置与连接栓103适配的支撑凹槽104,小石墨盘105通过支撑凹槽104和连接栓103的配合布置在大石墨盘101的上方。
在小石墨盘105上设置有中心片槽106和边缘片槽107。
在大石墨盘101背面开设一个圆柱形凹槽108,凹槽108和连接栓103布置在同一轴线上。凹槽108的直径d为10~10000微米,深度h为10~10000微米。
Claims (2)
1.一种提高MOCVD外延片均匀性的石墨盘,包括大石墨盘和小石墨盘,在大石墨盘上设有通气小孔和连接栓,在小石墨盘中心的背部设置与连接栓适配的支撑凹槽,所述小石墨盘通过支撑凹槽和连接栓的配合布置在大石墨盘上方;在小石墨盘上设置有中心片槽和边缘片槽;其特征在于在大石墨盘背面开设圆柱形凹槽,所述凹槽和连接栓布置在同一轴线上。
2.根据权利要求1所述石墨盘,其特征在于所述凹槽的直径为10~10000微米,深度为10~10000微米。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320747890.3U CN203582971U (zh) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320747890.3U CN203582971U (zh) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203582971U true CN203582971U (zh) | 2014-05-07 |
Family
ID=50580917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320747890.3U Withdrawn - After Issue CN203582971U (zh) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203582971U (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103614707A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-03-05 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
CN104911701A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-16 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 提高mocvd外延片波长均匀性的一种石墨盘组件 |
CN104911700A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-16 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 一种提高mocvd外延片波长良率的卫星盘 |
CN105442039A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-03-30 | 晶能光电(常州)有限公司 | 一种mocvd中用于放置硅衬底的石墨盘 |
CN107587118A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-16 | 江苏华功半导体有限公司 | 一种石墨盘 |
-
2013
- 2013-11-25 CN CN201320747890.3U patent/CN203582971U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103614707A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-03-05 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
CN103614707B (zh) * | 2013-11-25 | 2015-08-05 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
CN104911701A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-16 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 提高mocvd外延片波长均匀性的一种石墨盘组件 |
CN104911700A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-16 | 扬州中科半导体照明有限公司 | 一种提高mocvd外延片波长良率的卫星盘 |
CN105442039A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-03-30 | 晶能光电(常州)有限公司 | 一种mocvd中用于放置硅衬底的石墨盘 |
CN107587118A (zh) * | 2017-11-02 | 2018-01-16 | 江苏华功半导体有限公司 | 一种石墨盘 |
CN107587118B (zh) * | 2017-11-02 | 2020-03-03 | 江苏华功半导体有限公司 | 一种石墨盘 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203582971U (zh) | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 | |
CN102983093B (zh) | 一种用于led外延晶圆制程的石墨承载盘 | |
CN103715069B (zh) | 一种减少碳化硅外延薄膜中缺陷的方法 | |
US9666759B2 (en) | Growth substrate, nitride semiconductor device and method of manufacturing the same | |
CN106783948B (zh) | 生长在Si衬底上的InN纳米柱外延片及其制备方法 | |
CN202390579U (zh) | 一种物理气相输运法生长碳化硅单晶用石墨坩埚 | |
CN104051316A (zh) | 可调控局域温场的石墨承载盘 | |
CN104022220B (zh) | 基于AlGaN/GaN超晶格电子发射层GaN耿氏二极管及制作方法 | |
CN103086370A (zh) | 一种石墨烯条带的低温化学气相沉积制备方法 | |
JPWO2011136016A1 (ja) | エピタキシャル膜形成方法、真空処理装置、半導体発光素子の製造方法、半導体発光素子、照明装置 | |
CN103614707B (zh) | 一种提高mocvd外延片均匀性的石墨盘 | |
CN203820884U (zh) | 一种改善mocvd外延片均匀性的石墨盘 | |
CN202543389U (zh) | 一种提高mocvd机台中4寸外延片波长均匀性的石墨盘 | |
CN203820925U (zh) | 一种mocvd石墨盘 | |
CN1328410C (zh) | 氧化锌生长用低压金属有机化学汽相沉积设备及其工艺 | |
WO2021012496A1 (zh) | 一种控制GaN纳米线结构与形貌的分子束外延生长方法 | |
CN103824796B (zh) | 用于led外延制程的石墨承载盘及其配套衬底 | |
CN203820926U (zh) | 一种提高mocvd外延片均匀性的实用石墨盘 | |
CN205803635U (zh) | 一种改善mocvd中心片波长的石墨盘 | |
CN102605422B (zh) | 用于生长外延结构的掩模及其使用方法 | |
CN108330536B (zh) | PA-MBE同质外延高质量GaN单晶薄膜的制备方法 | |
CN203768457U (zh) | 一种提升外延片质量的石墨盘 | |
CN114686971B (zh) | Mpcvd单晶金刚石生长钼托及单晶金刚石的生长方法 | |
CN102593272B (zh) | 外延结构的制备方法 | |
CN205635768U (zh) | 一种改善mocvd外延片均匀性的石墨盘 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20140507 Effective date of abandoning: 20150805 |
|
RGAV | Abandon patent right to avoid regrant |