CN203559157U - 一种铸锭炉双侧排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种铸锭炉双侧排气装置，属于铸锭炉排气技术领域，包括主抽气管、慢抽气支管、泄压口和抽气装置；主抽气管上端分为对称的两条主抽气管支管，分别连接到与铸锭炉体侧壁左右对称的位置上；主抽气管上设有泄压口；主抽气管竖直管路侧壁上设有慢抽气支管，主抽气管和慢抽气支管的下端均与连接到真空泵上；所述慢抽气支管管路上装有慢抽气阀门；主抽气管管路上与慢抽气支管并联的部位装有快抽气阀门；此双侧对称的排气结构为多晶硅铸锭工艺过程提供对称流通的气流，使得硅锭界面更加平稳，同时左右对称的气流也更加平稳，平稳对称的气流将更多地带走硅液中的杂质，提高了气体的杂质排出量，有助于提高硅锭的质量和生产效率。

Description

一种铸锭炉双侧排气装置

技术领域

本实用新型涉及铸锭炉排气技术领域。

背景技术

铸锭炉是用于铸造多晶硅锭的大型设备，它是将硅料高温熔融后通过定向凝固冷凝结晶，使其形成晶向一致的硅锭，从而达到太阳能电池生产对硅片品质的要求。

铸锭炉在运行工艺过程中需要一直保持流通的气体。在开始运行铸锭工艺时，需要对铸锭炉内部进行抽空，最初为慢抽空，通过细口径管路抽空，将铸锭炉内部的气压慢慢地抽下来，防止快速抽空时吸力太大将顶部的细小硅料抽走；当内部的气压降下来后，改为快抽空，采用粗管路抽空，将铸锭炉内部的气压降低到更低的水平；在运行生长工艺时，铸锭炉内的硅液慢慢转换为硅锭，此时为慢抽空，保证气流的慢速平稳，从而使硅锭的固液界面更加平稳。通过气体的不断流通，将工艺过程中反应而产生的杂质带出铸锭炉，从而保证产出高质量的硅锭。在铸锭工艺运行过程中，气流也会对固液界面产生影响。如果气流很平稳，则会使固液界面很平稳，从而使铸出的硅锭界面更加平稳，能够提高硅锭的质量及效率，降低生产成本。

现有的铸锭炉排气装置一般包括位于炉体顶部的一个慢抽空口和位于炉体侧壁上的一个快抽空口，这种排气装置的抽气口结构相对于铸锭炉是不对称。由于结构的不对称，使得抽气过程产生的气流也不是很对称，导致硅锭的固液界面不平稳，铸出的硅锭界面不平稳，影响硅锭的质量和效率；同时，由于气流的不平稳，使气体的排出杂质过程也不平稳，影响气体的杂质排出量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种铸锭炉双侧排气装置，为多晶硅铸锭工艺过程提供对称流通的气流，使得硅锭界面更加平稳，同时左右对称的气流也更加平稳，平稳对称的气流将更多地带走硅液中的杂质，提高了气体的杂质排出量，有助于提高硅锭的质量和生产效率。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于包括主抽气管、慢抽气支管、泄压口和抽气装置；所述主抽气管上端分为对称的两条主抽气管支管，分别连接到与铸锭炉体侧壁左右对称的位置上，通过抽气口与铸锭炉腔体相通；主抽气管上设有泄压口；所述主抽气管竖直管路侧壁上设有慢抽气支管，所述主抽气管和慢抽气支管的下端均连有抽气装置。

具体地，主抽气管和慢抽气支管的下端各连有一个真空泵；

进一步，所述主抽气管和慢抽气支管的下端均连接到同一个真空泵上；

所述慢抽气支管管路上装有慢抽气阀门；主抽气管管路上与慢抽气支管并联的部位装有快抽气阀门。

所述泄压口位于主抽气管上端与其两条主抽气管支管的交叉处，泄压口开口向上。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型采用双侧对称的排气结构，为多晶硅铸锭工艺过程提供对称流通的气流，使得硅锭界面更加平稳，同时左右对称的气流也更加平稳，平稳对称的气流将更多地带走硅液中的杂质，提高了气体的杂质排出量，有助于提高硅锭的质量和生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的正视图；

图2是本实用新型的侧视图；

图3是本实用新型的俯视图；

1、主抽气管，2、快抽气阀门，3、真空泵，4、慢抽气支管，5、慢抽气阀门，6、主抽气管支管，7、铸锭炉体，8、泄压口，9、抽气口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2和3所示，一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于包括主抽气管1、慢抽气支管4、泄压口8和抽气装置；主抽气管1上端分为对称的两条主抽气管支管6，分别连接到与铸锭炉体7侧壁左右对称的位置上，通过抽气口9与铸锭炉腔体相通；主抽气管1上设有泄压口8，泄压口8位于主抽气管1上端与其两条主抽气管支管6的交叉处，泄压口8开口向上；

所述主抽气管1竖直管路侧壁上设有慢抽气支管4；主抽气管1和慢抽气支管4的下端均连接到真空泵3上；所述慢抽气支管4管路上装有慢抽气阀门5；主抽气管1管路上与慢抽气支管4并联的部位装有快抽气阀门2。

本实用新型使用时，在开始运行铸锭工艺时，关闭快抽气阀门2，打开慢抽气阀门5，通过细口径的慢抽气支管4进行慢抽气；当铸锭体内部的气压降下来后，关闭慢抽气阀门5，打开快抽气阀门2，采用粗管路主抽气管1进行快抽气，将铸锭炉内部的气压降低到更低的水平；在运行生长工艺时，再次关闭快抽气阀门2，打开慢抽气阀门5，再次通过细口径的慢抽气支管4进行慢抽气，保证气流的慢速平稳，从而使硅锭的固液界面更加平稳。

当铸锭炉内的压力快速增加时，通过泄压口8进行泄压；泄压口的位置位于铸锭炉平台下部，距离人机交互界面较远，在压力快速增加而对操作人员有危险时，能够很好地保护操作人员。

采用此双侧对称的排气结构，为多晶硅铸锭工艺过程提供对称流通的气流，使得硅锭界面更加平稳，同时左右对称的气流也更加平稳，平稳对称的气流将更多地带走硅液中的杂质，提高了气体的杂质排出量，有助于提高硅锭的质量和生产效率。

Claims (3)

1.一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于包括主抽气管（1）、慢抽气支管（4）、泄压口（8）和抽气装置；所述主抽气管（1）上端分为对称的两条主抽气管支管（6），分别连接到与铸锭炉体（7）侧壁左右对称的位置上；主抽气管（1）上设有泄压口（8）；所述主抽气管（1）竖直管路侧壁上设有慢抽气支管（4），所述主抽气管（1）和慢抽气支管（4）的下端均连有抽气装置。

2.根据权利要求１所述的一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于所述主抽气管（1）和慢抽气支管（4）的下端均连接到真空泵（3）上；所述慢抽气支管（4）管路上装有慢抽气阀门（5）；主抽气管（1）管路上与慢抽气支管（4）并联的部位装有快抽气阀门（2）。

3.根据权利要求１所述的一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于所述泄压口（8）位于主抽气管（1）上端与其两条主抽气管支管（6）的交叉处，泄压口（8）开口向上。

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