CN103466630B - 提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置 - Google Patents
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103466630A CN103466630A (zh) | 2013-12-25 |
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CN201310449038.2A Expired - Fee Related CN103466630B (zh) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置 |
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Country | Link |
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CN (1) | CN103466630B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104131342A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-11-05 | 大连理工大学 | 电磁扰动多晶硅除杂装置及其方法 |
CN104131343B (zh) * | 2014-07-17 | 2016-08-24 | 大连理工大学 | 局部加热凝固多晶硅除杂装置及除杂方法 |
CN110886016B (zh) * | 2019-12-27 | 2021-04-13 | 大连理工大学 | 一种使多晶硅中磷元素均匀分布的装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102126725A (zh) * | 2011-01-29 | 2011-07-20 | 大连隆田科技有限公司 | 一种电子束浅熔池熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102834935A (zh) * | 2010-08-16 | 2012-12-19 | 星野政宏 | 用于太阳能电池的冶金硅的提纯设备和方法 |
CN102849743A (zh) * | 2012-09-25 | 2013-01-02 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 一种反向诱导凝固提纯多晶硅的方法及设备 |
CN203474467U (zh) * | 2013-09-26 | 2014-03-12 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置 |
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2013
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102834935A (zh) * | 2010-08-16 | 2012-12-19 | 星野政宏 | 用于太阳能电池的冶金硅的提纯设备和方法 |
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CN102849743A (zh) * | 2012-09-25 | 2013-01-02 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 一种反向诱导凝固提纯多晶硅的方法及设备 |
CN203474467U (zh) * | 2013-09-26 | 2014-03-12 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置 |
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---|---|
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
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