CN203521380U - 薄膜成型设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭露一种薄膜成型设备,其包括一脱模机构及一承载机构。该脱模机构包括一压印平台及一脱模环。该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体。该脱模环设于该压印平台上,且正对该气体通道。其中,该承载机构用以吸住一基板的顶面。其中,该基板的底面抵靠该脱模机构。在该数个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。如此,即可藉由该脱模环来达到使该基板与该压印平台分离的目的。
Description
技术领域
本实用新型是与半导体制程设备有关,特别是指一种薄膜成型设备。
背景技术
中国台湾第M380228号新型专利揭露一种薄膜成型装置,其揭露一模框及一脱模完成装置,该模框用以承载一基板,该模框的底部具有多个孔洞,该脱膜完成装置用以对该模框的孔洞注入空气,以使该基板脱离该模框。
由于该脱膜完成装置注入的空气直接对该基板产生向上的力量,才使基板脱离该模框,所以,若注入的空气压力不均时,将使得该基板上的薄膜产生变形,甚至损坏。
发明内容
本实用新型揭露一种薄膜成型设备,其包括一脱模机构及一承载机构。该脱模机构包括一压印平台及一脱模环。该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体。该脱模环设于该压印平台上,且正对该气体通道。其中,该承载机构用以吸住一基板的顶面。其中,该基板的底面抵靠该脱模机构。在该数个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。如此,即可藉由该脱模环来达到使该基板与该压印平台分离的目的。
较佳地,该压印平台还具有一环槽及一挡片。该环槽接收该脱模环。其中,该脱模环的底部的内、外两侧面分别抵靠该环槽的两相对侧壁。该数个气体通道位于该环槽的底部,且连通该环槽。该挡片用以止挡该脱模环脱离该环槽。如此,该脱模环就不会脱离该脱模机构。
较佳地,该脱模环具有两弹性环。该两弹性环分别连接该脱模环的底部,且位于该脱模环的内、外两侧面,并抵紧该环槽的两相对侧壁,以避免该环槽内的气体外漏。
附图说明
图1绘示应用本实用新型的一较佳实施例的薄膜成型设备的立体图。
图2绘示图1中薄膜成型设备的爆炸图。
图3绘示图1中脱模机构的立体图。
图4绘示图3中脱模机构的爆炸示意图。
图5及图6分别绘示图3中脱模机构的A-A剖视示意图。
图7绘示图5中脱模机构的局部放大示意图。
图8绘示图6中脱模机构的局部放大示意图。
图9绘示图1的承载机构及晶圆的爆炸图。
图10绘示图1中的薄膜成型设备的示意图。
图11及图12绘示图1的B-B剖视示意图。
具体实施方式
如图1及2所示,薄膜成型设备10包括一脱模机构20及一承载机构(holder)30,该承载机构30用以吸住一晶圆(wafer)40,该脱模机构20用以压于该承载机构30上。
如图3及图4所示,该脱模机构20包括一压印平台(stage)22及一脱模环24。该压印平台22还具有一环槽222及一挡片224。该环槽222接收该脱模环24。该挡片224止挡该脱模环24脱离该环槽222。此外,该压印平台22还有由该环槽222界定出的一工作区221,该工作区221可以是一平面或特定图案构成的凹槽。
如图5所示,该压印平台22具有多个气体通道226,用以注入正压气体,每一气体通道226位于该环槽222的底部,且连通该环槽222。其中,正压气体由一供气装置(未绘示于图中)提供,在图5中,该供气装置系没有对该数个气体通道226注入正压气体,所以,该脱模环24的底部抵靠在该环槽的底部。需要注意的是,该脱模环24的底部的内、外两侧面分别抵靠该环槽222的两相对侧壁,以避免正压气体外漏。
特别地,请同时参照图4及图5,该脱模环24还有两弹性环246,该两弹性环246分别连接该脱模环24的底部,且位于该脱模环24的内、外两侧面,并抵紧该环槽222的两相对侧壁,该两弹性环246较佳地选用橡胶或具有弹性的塑胶制成。如此,就可利用该两弹性环246使该环槽222内的正压气体更均匀。然而,若该脱模环24的底部与该环槽222已经可以达到避免正压气体外漏的目的时,该两弹性环246也可以被省略不用。
如图6所示,该供气装置对该数个气体通道226注入正压气体,以使该环槽222内充满正压气体,来顶起该脱模环24。需要注意的是,当该脱模环24被正压气体顶起时,该挡片224挡住该脱模环24。于此实施例中,该脱模环24从图6的状态回复至图5的状态是利用该供气装置也可以提供负压气体,以使该脱模环24被向下吸,而快速回复至图5的状态。但实际上,也可以直接停止提供正压气体,而使该脱模环24自然落下。
如图7及图8所示,该挡片224的内缘位于该环槽222的内部。该脱模环24具有一凸部242及一气体槽道244。该凸部242位于该脱模环24的外侧面,该凸部242正对该挡片224的内缘。该气体槽道244形成于该脱模环24的底部,该气体槽道244的槽口正对该气体通道226。
由于,本实用新型的脱模机构20具有上述的结构,所以,当正压气体被注入该数个气体通道226内时,正压气体可均匀分布在该脱模环24的气体槽道244内,并向上顶起该脱模环24。
如图1及图9所示,该承载机构30具有一平面32及多个吸气通道34。该平面32供抵靠该晶圆40的顶面。该数个吸气通道34的开口形成于该平面32上,实际上,该数个气体通道34是以特定图案形成于该平面32上,但该特定图案不以图9所绘为限。其中,当该数个吸气通道34被内存在负压气体时,该晶圆40就会受到负压气体影响,而被吸住,以使该晶圆40的顶面完全抵靠在该承载机构30的平面32上。实际上,该数个吸气通道34连接一吸气装置(未绘示于图中),该吸气装置用以对该数个吸气通道34吸气,以使该数个吸气通道34的开口对该晶圆40产生吸力。
由于,本实用新型的薄膜成型设备10具有上述的结构,所以,在脱模时,本实用新型的薄膜成型设备10可确保该晶圆40在脱模时能完整的取出,以提高产品良率。随后详述本实用新型的薄膜成型设备10的压合程序及脱模程序。该压合程序先于该脱模机构20上提供一胶液50,如图10及图11所示,将吸住该晶圆40的该承载机构30往下移动至使该晶圆40被压于该承载机构30及该脱模机构20之间,或将脱模机构20升起使该晶圆40被压合于该承载机构30及该脱模机构20之间,如此,该胶液50就会因为挤压而自然地扩散至该晶圆40的底面;然后,待该晶圆40上的胶液50固化(即该晶圆40上以形成薄膜)后,进行该脱模程序。需要注意的是,若该压印平台22的工作区221上有前述特定图案构成的凹槽,因此,该固化的胶液就会在该晶圆40的底部顺势形成该特定图案。
如图12所示,当该晶圆40上已形成薄膜后,该薄膜成型设备10就开始执行脱模程序,该脱模程序包括:首先,该数个气体通道226会被注入正压气体,以使该脱模环24顶住该晶圆40;接着,该脱模环24被往上推以顶起该晶圆40及该承载机构30,表示,该晶圆40及该承载机构30相对该压印平台22被顶起,此时,该晶圆40的底面脱离该压印平台22,而该晶圆40的顶面仍抵靠该承载机构30。最后,关掉对该承载机构30提供的负压气体,就可以取出形成有薄膜的该晶圆40。所以,利用本实用新型的脱模机构20来进行脱模,可确保整个脱模过程中该晶圆40是受到均匀的向上推挤,来避免脱模过程中,该晶圆40破裂而损坏。
然而,该挡片的主要目的是用来止挡该脱模环脱离该压印平台的环槽,所以,该挡片也可以利用其他的结构来达到这个目的,故不以此较佳实施例所绘为限。
此外,虽然本较佳实施例中基板是以晶圆为例来作说明,但实际上,该基板也可以是玻璃基板、或其他半导体基板,故,本实用新型的脱模成型设备不以晶圆应用为限。
Claims (6)
1.一种薄膜成型设备,其特征在于,包括:
一脱模机构,包括一压印平台及一脱模环;该压印平台具有多个气体通道,用以注入气体;该脱模环设于该压印平台上,且正对该多个气体通道;及
一承载机构,用以吸住一基板的顶面;其中,该基板的底面抵靠该脱模机构,在该多个气体通道被注入气体时,该脱模环、该基板及该承载机构相对该压印平台被顶起。
2.根据权利要求1所述的薄膜成型设备,其特征在于,该承载装置还具有一环槽及一挡片,该环槽接收该脱模环,其中,该脱模环的底部的内、外两侧面分别抵靠该环槽的两相对侧壁,该多个气体通道位于该环槽的底部,且连通该环槽,该挡片用以止挡该脱模环脱离该环槽。
3.根据权利要求2所述的薄膜成型设备,其特征在于,该挡片的内缘位于该环槽的内部;该脱模环具有一凸部,该凸部位于该脱模环的外侧面,且正对该挡片的内缘。
4.根据权利要求3所述的薄膜成型设备,其特征在于,该脱模环还有一气体槽道,该气体槽道位于该脱模环的底部。
5.根据权利要求2所述的薄膜成型设备,其特征在于,该脱模环具有两弹性环,该两弹性环分别连接该脱模环的底部,且位于该脱模环的内、外两侧面,并抵紧该环槽的两相对侧壁。
6.根据权利要求1所述的薄膜成型设备,其特征在于,该承载机构具有一平面及至少一吸气通道,该平面用以抵靠该基板的顶面,该吸气通道的开口形成于该平面上。
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