CN203469679U - Mocvd过滤装置 - Google Patents
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Abstract
MOCVD过滤装置，由前盖、滤网层、壳体、排气口、后盖、进气口、检修孔、滤芯组成，其特征是壳体的前端设置前盖，壳体的后端设置后盖，前盖的中部设置进气口，壳体的后部设置排气口，壳体的内部设置滤芯，壳体的前部设置滤网层，滤网层的下侧设置检修孔，本实用新型的有益效果是MOCVD过滤装置的滤芯使用周期较长，生产成本较低，而且可有效提高LED外延片的生长产能。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种MOCVD过滤装置。
背景技术
目前，公知的LED外延片生长设备一般采用的是MOCVD，生产过程中产生的废气由设备的端部排出，排放前先经过滤车过滤处理，以防对环境造成污染，现有技术的过滤车内装有滤芯，可对流经气体进行过滤，现有技术的过滤车多使用CT500纤维滤芯，成本较高，且过滤车内一般配置3支滤芯，过滤车结构导致滤芯使用周期较短，滤芯更换频繁，不仅增加了生产成本，而且降低了LED外延片的生长产能。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种滤芯使用周期较长、生产成本较低、而且可有效提高LED外延片的生长产能的MOCVD过滤装置，其具体方案为：所述的MOCVD过滤装置由前盖、滤网层、壳体、排气口、后盖、进气口、检修孔、滤芯组成，其特征是壳体的前端设置前盖，壳体的后端设置后盖，前盖的中部设置进气口，壳体的后部设置排气口，壳体的内部设置滤芯，壳体的前部设置滤网层，滤网层的下侧设置检修孔。
本实用新型所述的滤芯，其特征在于滤芯的材质采用纤维、滤纸、发泡塑料中的一种。
本实用新型所述的滤网层，其特征在于滤网层内设置滤网，滤网的材质采用不锈钢。
本实用新型的有益效果是MOCVD过滤装置的滤芯使用周期较长，生产成本较低，而且可有效提高LED外延片的生长产能。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：
1.前盖，2.滤网层，3.壳体，4.排气口，5.后盖，6.进气口，7.检修孔，8.滤芯。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的MOCVD过滤装置由前盖1、滤网层2、壳体3、排气口4、后盖5、进气口6、检修孔7、滤芯8组成，其特征是壳体3的前端设置前盖1，壳体3的后端设置后盖5，前盖1的中部设置进气口6，壳体3的后部设置排气口4，壳体3的内部设置滤芯8，壳体3的前部设置滤网层2，滤网层2的下侧设置检修孔7。
本实用新型所述的滤芯8，其特征在于滤芯8的材质采用纤维、滤纸、发泡塑料中的一种。
本实用新型所述的滤网层2，其特征在于滤网层2内设置滤网，滤网的材质采用不锈钢。
本实用新型的有益效果是MOCVD过滤装置的滤芯使用周期较长，生产成本较低，而且可有效提高LED外延片的生长产能。
Claims (3)
1.MOCVD过滤装置，由前盖（1）、滤网层（2）、壳体（3）、排气口（4）、后盖（5）、进气口（6）、检修孔（7）、滤芯（8）组成，其特征是壳体（3）的前端设置前盖（1），壳体（3）的后端设置后盖（5），前盖（1）的中部设置进气口（6），壳体（3）的后部设置排气口（4），壳体（3）的内部设置滤芯（8），壳体（3）的前部设置滤网层（2），滤网层（2）的下侧设置检修孔（7）。
2. 根据权利要求1所述的MOCVD过滤装置，其特征在于滤芯（8）的材质采用纤维、滤纸、发泡塑料中的一种。
3. 根据权利要求1所述的MOCVD过滤装置，其特征在于滤网层（2）内设置滤网，滤网的材质采用不锈钢。
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20140312 Termination date: 20190910 |
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