CN203469680U - 多级过滤装置 - Google Patents

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王新阳
陈建荣
张继友
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Ambrose Crown (shandong) Photoelectric Technology Co Ltd
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Abstract

多级过滤装置，由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成，其特征是壳体的外部前端设置前盖，壳体的外部后端设置后盖，前盖的前端设置进气口，后盖的后端设置排气口，壳体的内部前端设置初级滤层，初级滤层的内侧设置一级滤芯，壳体的内部后端设置二级滤芯，本实用新型的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。

Description

多级过滤装置
技术领域
 本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种多级过滤装置。
背景技术
目前，MOCVD作为一种LED外延片生产设备，其生产过程中将会产生一定量的废气，废气排出前，先经过滤车过滤处理，以免对环境造成污染，现有技术的过滤车内装有滤芯，可对流经气体进行过滤，现有技术的过滤车使用的GEN2滤芯成本较高，一次安装需前后级滤芯各8支，使用数量相对较多，增加了生产成本，而且过滤容量较小、过滤效果较差，并且滤芯需频繁更换，也同时影响了设备的正常运行，降低了设备的作业效率。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种过滤容量较大、过滤效果较好、滤芯无需频繁更换、可有效设备的作业效率的多级过滤装置，其具体方案为：所述的多级过滤装置由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成，其特征是壳体的外部前端设置前盖，壳体的外部后端设置后盖，前盖的前端设置进气口，后盖的后端设置排气口，壳体的内部前端设置初级滤层，初级滤层的内侧设置一级滤芯，壳体的内部后端设置二级滤芯。
本实用新型所述的初级滤层，其特征在于初级滤层的上侧设置检修口，初级滤层的下侧设置排污口，初级滤层的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。
本实用新型所述的一级滤芯，其特征在于一级滤芯的材质采用纤维。
本实用新型所述的二级滤芯，其特征在于二级滤芯的材质采用滤纸。
本实用新型的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：
1. 前盖，2. 检修口，3. 初级滤层，4. 壳体，5. 后盖，6. 排气口，7进气口.，8. 排污口，9. 一级滤芯，10. 二级滤芯。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的多级过滤装置由前盖1、检修口2、初级滤层3、壳体4、后盖5、排气口6、进气口7、排污口8、一级滤芯9、二级滤芯10组成，其特征是壳体4的外部前端设置前盖1，壳体4的外部后端设置后盖5，前盖1的前端设置进气口7，后盖5的后端设置排气口6，壳体4的内部前端设置初级滤层3，初级滤层3的内侧设置一级滤芯9，壳体4的内部后端设置二级滤芯10。
本实用新型所述的初级滤层3，其特征在于初级滤层3的上侧设置检修口2，初级滤层3的下侧设置排污口8，初级滤层3的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。
本实用新型所述的一级滤芯9，其特征在于一级滤芯9的材质采用纤维。
本实用新型所述的二级滤芯10，其特征在于二级滤芯10的材质采用滤纸。
本实用新型的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。

Claims (4)

1. 多级过滤装置，由前盖（1）、检修口（2）、初级滤层（3）、壳体（4）、后盖（5）、排气口（6）、进气口（7）、排污口（8）、一级滤芯（9）、二级滤芯（10）组成，其特征是壳体（4）的外部前端设置前盖（1），壳体（4）的外部后端设置后盖（5），前盖（1）的前端设置进气口（7），后盖（5）的后端设置排气口（6），壳体（4）的内部前端设置初级滤层（3），初级滤层（3）的内侧设置一级滤芯（9），壳体（4）的内部后端设置二级滤芯（10）。
2. 根据权利要求1所述的多级过滤装置，其特征在于初级滤层的上侧设置检修口（2），初级滤层的下侧设置排污口（8），初级滤层（3）的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。
3. 根据权利要求1所述的多级过滤装置，其特征在于一级滤芯（9）的材质采用纤维。
4. 根据权利要求1所述的多级过滤装置，其特征在于二级滤芯（10）的材质采用滤纸。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106215573A (zh) * 2016-08-29 2016-12-14 赵莹颖 空气净化机过滤装置
CN109173427A (zh) * 2018-11-01 2019-01-11 湖北赛恩斯科技股份有限公司 一种滤芯可拆卸的多级过滤装置

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