CN203429003U - 四甲基氢氧化铵回收再利用装置 - Google Patents
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Abstract
一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，包括废液槽、过滤装置和阳离子交换树脂塔，所述废液槽包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，所述废液槽的出口与过滤装置的入口连通所述过滤装置包括光刻胶沉淀出口和液体出口，所述过滤装置的液体出口与所述阳离子交换树脂塔的进口连通，所述阳离子交换树脂塔的顶部设有供再生液放入的加料口，所述阳离子交换树脂塔出口与三通阀的进口连接，所述三通阀的第一出口为碱液出口，所述三通阀的第二出口为四甲基氢氧化铵出料口。本实用新型降低成本、减少污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置。
背景技术
电子级四甲基氢氧化铵（Tetramethyl AmmoniumHydroxide,TMAH）用于显示面板（FDP）和半导体芯片生产过程中的显影液，是用量最大的电子化学品之一。一般使用后的显影液废水中除了TMAH之外，还有光刻胶以及各种低浓度的金属离子杂质。由于TMAH是一种腐蚀性化学品，因此经过废水处理方能排放。目前显示面板和半导体芯片生产厂家一般采用中和，稀释以达到排放标准。如此废液处理成本高，另一方面TMAH是一类含氮物质，容易造成富营养化污染等环境负担，而且TMAH废液进行处理后排放无法实现循环利用，从而使制造者的制造成本无法降低。
台湾第98114596号专利专利提供了一种TMAH回收装置能够有效移除光刻胶，但无法除去其中的其他杂质；CN101993380中通过纳滤装置和树脂相结合进行TMAH回收，但该装置需要耐碱性的纳滤膜，而且需要更换频繁成本高。因此目前显影废中TMAH回收再利用仍然有需要改善之处，来降低整体制程的成本，并且大大减少排出废水对于环境的污染。
发明内容
为了克服已有四甲基氢氧化铵回收装置的成本高、污染较大的不足,本实用新型提供了一种降低成本、减少污染的四甲基氢氧化铵回收再利用装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，包括废液槽、过滤装置和阳离子交换树脂塔，所述废液槽包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，所述废液槽的出口与过滤装置的入口连通所述过滤装置包括光刻胶沉淀出口和液体出口，所述过滤装置的液体出口与所述阳离子交换树脂塔的进口连通，所述阳离子交换树脂塔的顶部设有供碱液放入的加料口所述阳离子交换树脂塔出口与三通阀的进口连接，所述三通阀的第一出口为碱液出口，所述三通阀的第二出口为四甲基氢氧化铵出料口。
进一步，所述加料口与碱液储槽连通。
本实用新型的有益效果主要表现在：能有效得将显影废液中TMAH重新纯化再利用，而且结构简单，可连续生产，循环使用，节约成本，降低污染，易于推广实用。
附图说明
图1是四甲基氢氧化铵回收再利用装置的示意图。
1.废液槽；2.过滤装置；3.阳离子交换树脂塔；4.再生液储槽；5.泵；6.三通阀。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
参照图1，一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，包括废液槽1、过滤装置2和阳离子交换树脂塔3，所述废液槽1包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，所述废液槽1的出口与过滤装置2的入口连通所述过滤装置2包括光刻胶沉淀出口和液体出口，所述过滤装置2的液体出口与与所述阳离子交换树脂塔3的进口连通，所述阳离子交换树脂塔3的顶部设有供碱液放入的加料口，所述阳离子交换树脂塔3出口与三通阀6的进口连接，所述三通阀6的第一出口为碱液出口，所述三通阀6的第二出口为四甲基氢氧化铵出料口。
进一步，所述加料口与再生液储槽4连通。
本实施例中，一套二氧化碳提供装置，可以源源不断提供二氧化碳。
一废液槽1，用于接收存储显影废液，废液中包含TMAH以及光刻胶，金属离子等杂质。二氧化碳提供装置通过气体管道和废液槽相连，通过阀门控制二氧化碳进入废液槽，降低废液pH，从而使光刻胶沉淀。
过滤装置2，与废液槽相连，将二氧化碳处理完全的废液进行过滤，除去光刻胶。在废液槽和过滤装置间设置至少一泵。
阳离子交换树脂塔3，滤液进入阳离子交换树脂塔，选择交换吸附滤液中的四甲基胺阳离子，其他杂质随溶液流走。
再生液储槽4，用再生液如氢氧化钠，氢氧化钾再生吸附有四甲基胺阳离子的阳离子交换树脂，等到纯净的TMAH
通过本实用新型提供的装置，能够将显影液中的光刻胶树脂通过沉淀除去，再通过阳离子交换树脂吸附脱附实现纯化再生TMAH的目的。
Claims (2)
1.一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，其特征在于：所述回收再利用装置包括废液槽、过滤装置和阳离子交换树脂塔，所述废液槽包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，所述废液槽的出口与过滤装置的入口连通所述过滤装置包括光刻胶沉淀出口和液体出口，所述过滤装置的液体出口与所述阳离子交换树脂塔的进口连通，所述阳离子交换树脂塔的顶部设有再生液放入的加料口，所述阳离子交换树脂塔出口与三通阀的进口连接，所述三通阀的第一出口为碱液出口，所述三通阀的第二出口为四甲基氢氧化铵出料口。
2.如权利要求1所述的四甲基氢氧化铵回收再利用装置，其特征在于：所述加料口与碱液储槽连通。
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