CN203222476U - 一种HCl尾气中氯硅烷去除系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐（3）、文丘里洗涤器（2）、液位计（5）、泵（9）、过滤器（8）、HCl尾气输入管道（1）、饱和浓酸输入管道（6），饱和浓酸循环管道（10）、饱和浓酸输出管道（7）、HCl气体排出管道（4）、固体颗粒排出管道（11），本系统利用饱和浓酸经文丘里洗涤器循环洗涤HCl尾气，将HCl尾气中氯硅烷水解，避免了HCl气体将固体水解物带入HCl吸收装置，极大降低了酸中固体杂质的含量，该系统既简化了生产工艺，又提高了生产效率，因此该系统具有广阔的市场前景。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产尾气回收技术领域，特别是一种HCl尾气中氯硅烷去除系统。
背景技术
[0002] 由于多晶硅生产尾气回收装置中回收的HCl纯度不能达到100%，里面还含有约0.5(w)%以下的氯硅烷，在制酸的过程中氯硅烷会水解，水解物会附着在石墨列管内壁，影响传热效果，有时尾气回收装置中的氯硅烷水解物会堵住降膜吸器列管，检修起来非常困难，于此同时，氯硅烷水解颗粒会混在酸中，使酸中有颗粒，影响酸的品质，所以目前HCl尾气回收系统不适合大生产使用。
发明内容
为了解决现有技术中HCl尾气回收系统所存在的缺陷和问题，本实用新型提供一种结构简单、使用方便的HCl尾气中氯硅烷去除系统。
为解决上述技术问题本实用新型的技术方案为：一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐、文丘里洗涤器、液位计、泵、过滤器、HCl尾气输入管道、饱和浓酸输入管道，饱和浓酸循环管道、饱和浓酸输出管道、HCl气体排出管道、固体颗粒排出管道，其特征在于：所述洗涤罐顶部设置有文丘里洗涤器和HCl气体排出管道，侧部设置有液位计，底部设置有饱和浓酸输出管道，所述文丘里洗涤器与HCl尾气输入管道和饱和浓酸循环管道相连接，所述饱和浓酸循环管道上设置有泵、过滤器和固体颗粒排出管道，所述饱和浓酸输出管道与饱和浓酸循环管道和饱和浓酸输入管道相连接。
本实用新型的有益效果是：本实用新型利用饱和浓酸经文丘里洗涤器循环洗涤HCl尾气，将HCl尾气中氯硅烷水解，避免了HCl气体将固体水解物带入HCl吸收装置，极大降低了酸中固体杂质含量，本HCl尾气中氯硅烷去除系统结构简单、使用方便、改造成本低，在多晶硅行业具有广泛的应用空间。
附图说明
图1本实用新型HCl尾气中氯硅烷去除系统的结构示意图。
图中：1、HCl尾气输入管道，2、文丘里洗涤器，3、洗涤罐，4、HCl气体排出管道，5、液位计，6、饱和浓酸输入管道，7、饱和浓酸输出管道，8、过滤器，9、泵，10、饱和浓酸循环管道，11、固体颗粒排出管道。
具体实施方式
如图1所示，一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐3、文丘里洗涤器2、液位计5、泵9、过滤器8、HCl尾气输入管道1、饱和浓酸输入管道6，饱和浓酸循环管道10、饱和浓酸输出管道7、HCl气体排出管道4、固体颗粒排出管道11，所述洗涤罐3顶部设置有文丘里洗涤器2和HCl气体排出管道4，侧部设置有液位计5，底部设置有饱和浓酸输出管道7，所述文丘里洗涤器2与HCl尾气输入管道1和饱和浓酸循环管道10相连接，所述饱和浓酸循环管道10上设置有泵9、过滤器8和固体颗粒排出管道11，所述饱和浓酸输出管道7与饱和浓酸循环管道10和饱和浓酸输入管道6相连接。
本实用新型HCl尾气中氯硅烷去除系统的运行流程为：从多晶硅生产尾气回收装置过来的带有氯硅烷的HCl尾气通过HCl尾气输入管道1进入文丘里洗涤器2内和浓酸循环管道10喷淋出的饱和浓酸发生反应，反应生成固态的物质进入洗涤罐3内；净化后的HCl气体经HCl气体排出管道4进入一级降膜吸收塔制备酸；在氯硅烷吸收的过程中，需定时检查洗涤罐3内固体颗粒数量，如超过一定值，通过固体颗粒排出管道11排至污水处理系统；在氯硅烷吸收过程中还需定时检查液位计5的液位，如液位低时则需通过饱和浓酸输入管道6向系统补加浓酸；洗涤罐3中的饱和浓酸经饱和浓酸输出管道7、泵9、过滤器8及饱和浓酸循环管道10从文丘里回到洗涤罐3内。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型保护范围并不局限于此，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐（3）、文丘里洗涤器（2）、液位计（5）、泵（9）、过滤器（8）、HCl尾气输入管道（1）、饱和浓酸输入管道（6），饱和浓酸循环管道（10）、饱和浓酸输出管道（7）、HCl气体排出管道（4）、固体颗粒排出管道（11），其特征在于：所述洗涤罐（3）顶部设置有文丘里洗涤器（2）和HCl气体排出管道（4），侧部设置有液位计（5），底部设置有饱和浓酸输出管道（7），所述文丘里洗涤器（2）与HCl尾气输入管道（1）和饱和浓酸循环管道（10）相连接，所述饱和浓酸循环管道（10）上设置有泵（9）、过滤器（8）和固体颗粒排出管道（11），所述饱和浓酸输出管道（7）与饱和浓酸循环管道（10）和饱和浓酸输入管道（6）相连接。
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