CN203545915U - 四甲基氢氧化铵提浓装置 - Google Patents
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Abstract
一种四甲基氢氧化铵提浓装置,包括废液槽、过滤装置和电渗析装置,所述废液槽包括吸附剂进口和废液进口,所述废液槽的出口通过连接管与所述过滤装置的进口连接,所述过滤装置的上部设有吸附剂出口,所述过滤装置的底部设有液体出口,所述电渗析装置包括外壳,所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜,所述成对的阴阳离子交换膜之间的腔室为浓缩腔体,所述浓缩腔体相邻的两侧均为进液腔体,所述液体出口与所述进液腔体连通,所述浓缩腔体与提浓液储槽连通。本实用新型提供了一种降低能耗、提浓同时回收再生水的四甲基氢氧化铵提浓装置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种四甲基氢氧化铵提浓装置。
背景技术
电子级四甲基氢氧化铵(Tetramethyl AmmoniumHydroxide,TMAH)用于显示面板(FDP)和半导体芯片生产过程中的显影液,是用量最大的电子化学品之一。一般使用后的显影液废水中除了TMAH之外,还有光刻胶以及各种低浓度的金属离子杂质。由于TMAH是一种腐蚀性化学品,因此经过废水处理方能排放。目前显示面板和半导体芯片生产厂家一般采用中和,稀释以达到排放标准。如此废液处理成本高,另一方面TMAH是一类含氮物质,容易造成富营养化污染等环境负担,而且TMAH废液进行处理后排放无法实现循环利用,从而使制造者的制造成本无法降低。
台湾第98114596号专利提供了一种TMAH回收装置能够有效移除光刻胶,但无法除去其中的其他杂质;CN101993380中通过纳滤装置和树脂相结合进行TMAH回收,但该装置需要耐碱性的纳滤膜,而且需要更换频繁成本高。但是由于回收的TMAH浓度小于实际使用浓度,因此需要将TMAH进行浓缩。专利CN202983247采用蒸发的方式进行提浓,但需要消耗大量热能,而且TMAH在加热过程中会有部分分解。
发明内容
为了克服已有四甲基氢氧化铵提浓装置的能耗较大、无法回收再生水的不足,本实用新型提供了一种降低能耗、提浓同时回收再生水的四甲基氢氧化铵提浓装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种四甲基氢氧化铵提浓装置,包括废液槽、过滤装置和电渗析装置,所述废液槽包括吸附剂进口和废液进口,所述废液槽的出口通过连接管与所述过滤装置的进口连接,所述过滤装置的上部设有吸附剂出口,所述过滤装置的底部设有液体出口,所述电渗析装置包括外壳,所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜,所述成对的阴阳离子交换膜之间的腔室为浓缩腔体,所述浓缩腔体相邻的两侧均为进液腔体,所述液体出口与所述进液腔体连通,所述浓缩腔体与提浓液储槽连通。
进一步,将所述成对的阴阳离子交换膜有至少两对,至少两对阴阳离子交换膜并排布置。
更进一步,所述连接管上安装泵。
本实用新型的有益效果主要表现在:充分利用电渗析原理,保证了TMAH的提浓,而且结构简单,可连续生产,易于推广实用。
附图说明
图1是四甲基氢氧化铵提浓装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。
参照图1,一种四甲基氢氧化铵提浓装置,包括废液槽1、过滤装置3和电渗析装置4,所述废液槽1包括吸附剂进口和废液进口,所述废液槽1的出口通过连接管与所述过滤装置3的进口连接,所述过滤装置3的上部设有吸附剂出口,所述过滤装置3的底部设有液体出口,所述电渗析装置包括外壳,所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜5、6,所述成对的阴阳离子交换膜5、6之间的腔室为浓缩腔体8,所述浓缩腔体的相邻两侧均为进液腔体7,所述液体出口与所述进液腔体7连通,所述浓缩腔体8与提浓液储槽连通。
进一步,将所述成对的阴阳离子交换膜有至少两对,至少两对阴阳离子交换膜并排布置。所述连接管上安装泵2。
本实施例中,废液槽1,用于存储废液,同时用于添加吸附剂;
过滤装置3,用于过滤废液,在这过程中配置泵,用于吸滤;
所得溶液进入电渗析装置4,在电渗析装置中配有多对阴阳离子交换膜各层多个腔室,在电场作用下阴阳离子通过离子膜进入浓缩腔室。浓缩液进入提浓液储槽。
所述过滤装置3中,滤芯位于过滤装置的中部,过滤装置的上部出口为固体出口,过滤装置的下部出口为液体出口。
如图1所示,废液槽1接收存储TMAH废液,其中加入定量吸附剂如活性炭等,吸附完全后通过过滤装置3实现固液分离,所得溶液进入电渗析装置4,在电渗析装置中配有多对阴阳离子交换膜5,6(阴离子交换膜5、阳离子交换膜6);隔成多个腔室:进液腔室7和浓缩腔室8。在电场作用下阴阳离子选择通过,在浓缩腔室内浓缩,提浓溶液进入储槽。
Claims (3)
1.一种四甲基氢氧化铵提浓装置,其特征在于;所述提浓装置包括废液槽、过滤装置和电渗析装置,所述废液槽包括吸附剂进口和废液进口,所述废液槽的出口通过连接管与所述过滤装置的进口连接,所述过滤装置的上部设有吸附剂出口,所述过滤装置的底部设有液体出口,所述电渗析装置包括外壳,所述外壳内配置成对的阴阳离子交换膜,所述成对的阴阳离子交换膜之间的腔室为浓缩腔体,所述浓缩腔体的相邻两侧均为进液腔体,所述液体出口与所述进液腔体连通,所述浓缩腔体与提浓液储槽连通。
2.如权利要求1所述的四甲基氢氧化铵提浓装置,其特征在于;将所述成对的阴阳离子交换膜有至少两对,至少两对阴阳离子交换膜并排布置。
3.如权利要求1或2所述的四甲基氢氧化铵提浓装置,其特征在于:所述连接管上安装泵。
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CN201320478080.2U CN203545915U (zh) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 四甲基氢氧化铵提浓装置 |
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CN114906908A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-16 | 柏川新材料科技(宁波)有限公司 | 废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质 |
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2013
- 2013-08-06 CN CN201320478080.2U patent/CN203545915U/zh not_active Expired - Lifetime
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