CN203333755U - 带独立真空锁的真空镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种带独立真空锁的真空镀膜装置，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。该装置中，真空锁为独立结构，且设于真空室外部，可以作为单独的组成机构进行装拆，操作方便快捷；同时，真空锁的传动输入装置，可以与真空锁一起通过整体式加工出来，安装方便，安装时不需要对真空室的原有结构进行调整，可较好地保证其密封效果；真空锁可以根据工艺需要整体更换或装卸，可有效提高工艺创新能力，具有广泛的应用前景；同时，真空锁各部件一致，通用性强，可根据需要随时互换，也可进行批量生产组装，可有效降低设备的制造成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及TCO透明导电膜的镀膜设备领域，特别涉及一种带独立真空锁的真空镀膜装置。
背景技术
在镀膜设备中，为了保证真空室的真空度时，一般在相邻真空室的连接处设置真空锁。而目前的镀膜设备中，真空锁采用直接安装在真空室内侧板上的安装形式，使用时通过真空锁的阀板封住真空室内侧板上的内孔，使真空室的真空区域与其相邻真空室隔离，以此达到关闭密封的效果。目前所使用的真空锁在实际应用中存在以下缺陷：
（1）由于真空锁安装在真空室内，对真空锁进行装卸操作时，操作人员只能身体贴出真空室外面，伸手进入室内进行装拆，其安装维护非常困难，成本也很高；
（2）真空锁的传动输入装置，只能根据真空室的实际情况，在装配时实配位置，再开孔配焊，难以达到高精度定位，所以也在一定程度上影响其密封效果；
（3）安装真空锁轴承座位置的真空室内侧板表面与其相邻的真空室内侧板表面，由于不是同时整体加工出来，两者平面的平行度难以保证，容易导致装配时两平面之间不平行，需要对单个轴承座的高度进行实配方可达到密封效果，使得设备的制造成本大大提高；
（4）真空锁在真空室的安装位置呈唯一性的，无法根据工艺要求从一个真空室更换应用到另一个真空室上，其使用范围狭窄，设备各部件之间不能灵活调配，其制造成本高；
（5）真空锁安装时，因涉及多个部件需现场实配尺寸，导致安装效率低下，且不同操作人员实配出来效果会有所不同，真空锁的稳定性差；同时，真空锁与另一个真空锁的安装部件无法保持一致性，通用性差，设备制造成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构灵活、且密封效果较好的带独立真空锁的真空镀膜装置。
本实用新型的技术方案为：一种带独立真空锁的真空镀膜装置，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。
其中，根据实际需要，真空锁可有多种结构形式：
（1）当真空镀膜装置用于较小型工件加工，即各真空室为小口径真空室时，所述真空锁包括驱动气缸、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部；阀芯为四棱柱结构或三棱柱结构。
真空锁使用时，其原理是：当需要关闭真空锁时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向下运动，阀芯下落至底部时，阀芯的左右两侧面贴紧于阀体的内侧面，此时将阀体左右两侧壁上的阀体通孔隔开，从而挡住阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向上运动，阀芯上升到其末端高于阀体通孔所处的位置即可。
（2）当真空镀膜装置用于较大型工件加工，即各真空室为大口径真空室时，所述真空锁包括驱动气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。
真空锁使用时，其原理是：当需要关闭真空锁时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内向下运动，当阀芯组件的两个活动板下降至导轮与阀体内底面相接触时，驱动气缸末端继续下降，通过各活动铰将两个活动板向两侧撑开，两个活动板在导轮的引导下滑向阀体中部空间的两侧壁，当两个活动板的外侧分别贴紧于阀体中部空间的两侧壁时，两个活动板分别封住相应的阀体通孔，从而隔开阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内反向运动，通过活动铰先将两个活动板向中间收拢后，再使其上升至导轮高于阀体通孔所处的位置即可。
所述多个真空室包括依次连接的进片室、多个镀膜室和出片室，进片室与镀膜室之间、相邻两个镀膜室之间以及镀膜室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
所述多个真空室包括依次连接的进片室、进片过渡室、进片缓冲室、多个镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室和出片室，进片室与进片过渡室之间、进片过渡室与进片缓冲室之间、相邻两个镀膜室之间、出片缓冲室与出片过渡室之间以及出片过渡室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
本带独立真空锁的真空镀膜装置使用时，其原理是：根据不同工件镀膜工艺的实际需要，在相邻的两个真空室之间设置独立结构的真空锁，通过调整各个真空锁的启闭状态，可将多个真空室隔离成高真空区域（即镀膜室、进片缓冲室和出片缓冲室）、中真空区域（即进片过渡室和出片过渡室）和低真空区域（即进片室和出片室），各个不同真空区域负责不同功能，从而形成一个整体生产线。真空锁作为一个独立的组成机构，可根据实际需要进行安装，真空室也可保持也原来的结构形态，不需要为了配合真空锁的安装而改变其结构，因此可以保证其密封效果。
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
本带独立真空锁的真空镀膜装置中，真空锁为独立结构，且设于真空室外部，可以作为单独的组成机构进行装拆，操作方便快捷；同时，真空锁的传动输入装置，可以与真空锁一起通过整体式加工出来，安装方便，安装时不需要对真空室的原有结构进行调整，可较好地保证其密封效果。
真空锁内轴承座安装面与密封面都是整体加工出来，能保证两平面的平行度，精度高能保证密封性能；而同功能性的多个真空室也可采用相同的加工方法进行批量加工，加工方便，也可有效降低制造成本。
真空锁可以根据工艺需要整体更换或装卸，可有效提高工艺创新能力，具有广泛的应用前景；同时，真空锁各部件一致，通用性强，可根据需要随时互换，也可进行批量生产组装，可有效降低设备的制造成本。
附图说明
图1为实施例1的真空镀膜装置的结构示意图。
图2为实施例2的真空镀膜装置的结构示意图。
图3为图2的A局部放大图。
图4为实施例1的真空镀膜装置中真空锁的结构示意图。
图5为实施例2的真空镀膜装置中真空锁的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例1
本实施例一种带独立真空锁的真空镀膜装置，如图1所示，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁1，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。
本实施例的真空镀膜装置用于较小型工件加工，即各真空室为小口径真空室，其中，真空锁的结构如图4所示，包括驱动气缸9、阀体10、阀芯11和下清洁盖板12，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔13，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部；阀芯可为四棱柱结构（如图4所示）或三棱柱结构。
真空锁使用时，其原理是：当需要关闭真空锁时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向下运动，阀芯下落至底部时，阀芯的左右两侧面贴紧于阀体的内侧面，此时将阀体左右两侧壁上的阀体通孔隔开，从而挡住阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向上运动，阀芯上升到其末端高于阀体通孔所处的位置即可。
多个真空室包括依次连接的进片室2、多个镀膜室3和出片室4，进片室与镀膜室之间、相邻两个镀膜室之间以及镀膜室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
本带独立真空锁的真空镀膜装置使用时，其原理是：根据不同工件镀膜工艺的实际需要，在相邻的两个真空室之间设置独立结构的真空锁，通过调整各个真空锁的启闭状态，可将多个真空室隔离成高真空区域（即镀膜室）和低真空区域（即进片室和出片室），各个不同真空区域负责不同功能，从而形成一个整体生产线。真空锁作为一个独立的组成机构，可根据实际需要进行安装，真空室也可保持也原来的结构形态，不需要为了配合真空锁的安装而改变其结构，因此可以保证其密封效果。
实施例2
本实施例一种带独立真空锁的真空镀膜装置，如图2或图3所示，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁1，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。
本实施例的真空镀膜装置用于较大型工件加工，即各真空室为大口径真空室，其中，真空锁的结构如图5所示，包括驱动气缸9、阀体10和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔13，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板14，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰15与驱动气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮16。
真空锁使用时，其原理是：当需要关闭真空锁时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内向下运动，当阀芯组件的两个活动板下降至导轮与阀体内底面相接触时，驱动气缸末端继续下降，通过各活动铰将两个活动板向两侧撑开，两个活动板在导轮的引导下滑向阀体中部空间的两侧壁，当两个活动板的外侧分别贴紧于阀体中部空间的两侧壁时，两个活动板分别封住相应的阀体通孔，从而隔开阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动气缸运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内反向运动，通过活动铰先将两个活动板向中间收拢后，再使其上升至导轮高于阀体通孔所处的位置即可。
多个真空室包括依次连接的进片室2、进片过渡室5、进片缓冲室6、多个镀膜室3、出片缓冲室7、出片过渡室8和出片室4，进片室与进片过渡室之间、进片过渡室与进片缓冲室之间、相邻两个镀膜室之间、出片缓冲室与出片过渡室之间以及出片过渡室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
本带独立真空锁的真空镀膜装置使用时，其原理是：根据不同工件镀膜工艺的实际需要，在相邻的两个真空室之间设置独立结构的真空锁，通过调整各个真空锁的启闭状态，可将多个真空室隔离成高真空区域（即镀膜室、进片缓冲室和出片缓冲室）、中真空区域（即进片过渡室和出片过渡室）和低真空区域（即进片室和出片室），各个不同真空区域负责不同功能，从而形成一个整体生产线。真空锁作为一个独立的组成机构，可根据实际需要进行安装，真空室也可保持也原来的结构形态，不需要为了配合真空锁的安装而改变其结构，因此可以保证其密封效果。
如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
Claims (5)
1.带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。
2.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空锁包括驱动气缸、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部；阀芯为四棱柱结构或三棱柱结构。
3.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空锁包括驱动气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。
4.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述多个真空室包括依次连接的进片室、多个镀膜室和出片室，进片室与镀膜室之间、相邻两个镀膜室之间以及镀膜室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
5.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述多个真空室包括依次连接的进片室、进片过渡室、进片缓冲室、多个镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室和出片室，进片室与进片过渡室之间、进片过渡室与进片缓冲室之间、相邻两个镀膜室之间、出片缓冲室与出片过渡室之间以及出片过渡室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。
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