CN203286173U - 一种真空密封法兰盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种真空密封法兰盘，包括：第一法兰盘、第二法兰盘和密封圈，第一法兰盘和第二法兰盘具有连接环，预定连接件的端部套有密封圈并置于第二法兰盘的连接环内，第一法兰盘的连接环紧固连接至第二法兰盘的连接环内并挤压密封圈，所述第二法兰盘的连接环具有冷却水套。通过第二法兰盘的连接环的冷却水套实现对密封圈的冷却降温，防止密封圈老化和变形，延长其使用寿命及密封效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械连接结构领域，尤其涉及一种真空密封法兰盘。
背景技术
化学气相沉积法（Chemical Vapor Deposit）被广泛地应用于各种薄膜类材料的外延生长中，如氮化镓（生产LED）、非晶硅（生产硅太阳能电池）等。管式炉是实现此反应的一种常用的生产设备，并且具有成本低、产率高及与工业化的批量生产兼容性好等优点。但是高温的实验环境易导致现有的管式炉的密封装置出现老化。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供了一种真空密封法兰盘，防止密封件的老化。
为实现上述目的，本实用新型实施例提供了如下技术方案：
一种真空密封法兰盘，包括：第一法兰盘、第二法兰盘和密封圈，第一法兰盘和第二法兰盘具有连接环，预定连接件的端部套有密封圈并置于第二法兰盘的连接环内，第一法兰盘的连接环紧固连接至第二法兰盘的连接环内并挤压密封圈，所述第二法兰盘的连接环具有冷却水套。
优选地，所述密封圈为多个，密封圈之间设置有金属圆环。
优选地，所述密封圈为氟橡胶圈。
优选地，所述预定连接件为刚玉反应管或石英管。
优选地，第一法兰盘和第二法兰盘上攻有3个均匀分布的螺纹。
优选地，所述第二法兰盘的连接环为空心的钢圈，钢圈上具有进水口和出水口。
本实用新型实施例提供的真空密封法兰盘，通过第一法兰盘的连接环挤压套在预定连接件上的密封圈，实现第二法兰盘的连接环与连接件的密封连接，同时，通过第二法兰盘的连接环的冷却水套实现对密封圈的冷却降温，防止密封圈老化和变形，延长其使用寿命及密封效果。
附图说明
图1为根据本实用新型实施例的真空密封法兰盘的爆炸结构示意图；
图2为根据本实用新型的实施例的真空密封法兰盘的组装结构的AA’截面示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
如图1和图2所示，真空密封法兰盘包括第一法兰盘510、第二法兰盘520和密封圈552，第一法兰盘510和第二法兰盘520具有连接环530、540，所述预定连接件100端部套有密封圈552并置于第二法兰盘520的连接环540内，第一法兰盘510的连接环530紧固连接至第二法兰盘的连接环540内并挤压密封圈552，第一法兰盘510的中央有圆孔，与另一连接件100连接，所述第二法兰盘520具有冷却水套546，密封圈552为两个，可以采用氟橡胶圈，氟橡胶圈之间还套有金属圆环554，第一和第二法兰盘上攻有3个均匀分布的螺纹512、522，可以用3个内六角螺丝相连。
在密封连接时，预定连接件插入第二法兰盘中并穿过密封圈，随后将第一法兰盘和第二法兰盘的螺丝孔对准，使用螺丝紧固，此时，第一法兰盘的连接环530挤入第二法兰盘520，并挤压密封圈552，通过密封圈552（进一步还可以涂有密封脂）将第二法兰盘520的连接环540与预定连接件100之间的空隙密封，保证了气密性。在拆卸时，取下法兰盘上的固定螺丝之后，可以直接取下第二法兰盘，方便从预定连接件中放置或取出样品。
预定连接件100可以为任意需要被连接的连接件，尤其适用于高温工作环境的连接件，例如刚玉反应管或石英管，刚玉反应管为采用氧化铝（刚玉）烧结而成，纯度一般采用“998”型（即三氧化二铝含量为99.8%），也可根据需要选择其它纯度，耐超高温可达1500℃，刚玉反应管中进行高温反应。
第二法兰盘的连接环540可以为空心的钢圈，作为冷却水套546，钢圈上引出两个冷却水接口542、544，并接连两根硬质胶皮冷却水管，密封圈套在预定连接件上，若预定连接件的温度很高，密封圈容易老化和变形，通过该冷却水套的冷却水循环，有效冷却密封圈，使其不会出现变形和变性。实验证明，即使在刚玉反应管加热到1200℃的高温下，密封圈也没有出现变形和变性。在第二法兰盘下还安装有长约半米的可调节长度的支架（图未示出），用于支撑第二法兰盘。
以上对本实用新型的优选实施例进行了说明，其通过第二法兰盘的连接环的冷却水套实现对密封圈的冷却降温，防止密封圈老化和变形，延长其使用寿命，且密封效果好、使用可靠。
然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
Claims (6)
1.一种真空密封法兰盘，其特征在于，包括第一法兰盘、第二法兰盘和密封圈，第一法兰盘和第二法兰盘具有连接环，预定连接件的端部套有密封圈并置于第二法兰盘的连接环内，第一法兰盘的连接环紧固连接至第二法兰盘的连接环内并挤压密封圈，所述第二法兰盘的连接环具有冷却水套。
2.根据权利要求1所述的真空密封法兰盘，其特征在于，所述密封圈为多个，密封圈之间设置有金属圆环。
3.根据权利要求2所述的真空密封法兰盘，其特征在于，所述密封圈为氟橡胶圈。
4.根据权利要求1所述的真空密封法兰盘，其特征在于，预定连接件为刚玉反应管或石英管。
5.根据权利要求1所述的真空密封法兰盘，其特征在于，第一法兰盘和第二法兰盘上攻有3个均匀分布的螺纹。
6.根据权利要求1所述的真空密封法兰盘，其特征在于，所述第二法兰盘的连接环为空心的钢圈，钢圈上具有进水口和出水口。
Priority Applications (1)
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| CN2013203085106U CN203286173U (zh) | 2013-05-30 | 2013-05-30 | 一种真空密封法兰盘 |
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| CN203286173U true CN203286173U (zh) | 2013-11-13 |
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| CN (1) | CN203286173U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109852949A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-06-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种反应腔室及半导体处理设备 |
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2013
- 2013-05-30 CN CN2013203085106U patent/CN203286173U/zh not_active Expired - Fee Related
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