CN203270027U - 石墨框 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石墨框，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板，构成复数个石墨框网格；所述石墨框的上下两侧边缘处设有石墨固定板，所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽，使凹槽底面与石墨框承载板的底面相接近；相邻凹槽之间留有加强条，所述加强条与承载板一一对应，且加强条与承载板的宽度相同。本实用新型设计得到了一种新的石墨框结构，解决了PECVD产能与镀膜色差的矛盾，保证了电池片镀膜的品质，又能增加PECVD的产量，同时能有效地固定石墨框的边缘。

Description

石墨框

技术领域

本实用新型涉及一种石墨框，可以应用于太阳能电池生产过程中的PECVD设备，属于太阳能领域。

背景技术

常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。因此，太阳能电池组件得到了世界各国的广泛关注和开发。

现有技术中，在太阳能电池的制备过程中，一般需要对硅片发射结面进行镀减反射膜的步骤。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。

现有技术中，制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，如可以采用德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，需要使用一种承载硅片的石墨框。

现有的石墨框参见附图1~4所示，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板2，构成复数个石墨框网格1；考虑到硅片装载时的方便，其网格的尺寸要比要承载的硅片尺寸略大一些；例如，以目前通用的156型（156×156mm）硅片而言，网格通常为158×158mm的直孔，同时在网格的四边上均匀分布有多个挂钩3，用来承载硅片，以防止硅片掉下去；硅片水平放置在石墨框网格中，对硅片的向下的面镀膜。为了进一步增加产量，降低太阳能电池的成本，将原有的每个石墨框的承载量由25片改为30片（如图1、2所示），这样石墨框的上下两侧边缘就很窄，也较软，在使用过程中容易变形。

针对上述问题，现有的方法是在石墨框的上下两侧边缘处设置石墨固定板4，如采用石墨纤维板，一般长度900 mm，宽度15~20 mm之间，如图3、4所示，石墨框的上下两侧边缘处具有凸块，石墨固定板上设有与凸块配合的卡槽，两者卡固连接。

然而，实际应用发现，上述石墨固定板在使用过程中不能提高镀膜速度，如果镀膜速度变快，卡槽下面的石墨纤维板对气流的均匀性影响很大，会使该石墨纤维板边缘的电池片发红，硅片色差严重。

发明内容

本实用新型目的是提供一种石墨框。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种石墨框，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板，构成复数个石墨框网格；所述石墨框的上下两侧边缘处设有石墨固定板，所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽，使凹槽底面与石墨框承载板的底面相接近；相邻凹槽之间留有加强条，所述加强条与承载板一一对应，且加强条与承载板的宽度相同。

上文中，所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽，即凹槽的位置与石墨框网格的位置对应，且两者的宽度优选相同。

所述加强条的设置是为了加强对石墨框边缘的固定作用，使石墨框边缘不往下凹，不晃动。

上述技术方案中，所述石墨框的上下两侧边缘处具有凸块，所述石墨固定板上具有与凸块配合的卡槽，两者卡固连接。

上述技术方案中，所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽，凹槽底面与石墨框承载板的底面之间的距离为1~3 mm。

所述石墨固定板的凹槽的深度优选为2~9 mm，凹槽与卡槽之间保留1~3mm的距离。石墨固定板上的每个凹槽与对应石墨框的网格位置保持一致是为了保证硅片镀膜时的气流不受卡槽下面的石墨纤维板的影响，镀膜气流均匀，不会引起镀膜发红的现象。

上述技术方案中，所述石墨固定板底部的加强条的高度为2~9 mm。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型设计得到了一种新的石墨框结构，解决了PECVD产能与镀膜色差的矛盾，保证了电池片镀膜的品质，又能增加PECVD的产量，同时能有效地固定石墨框的边缘。

2、本实用新型的石墨固定板可以在原有的石墨纤维板上进行改造，节约了材料成本，只需加工成本，费用很低。

3、本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。

附图说明

图1是背景技术中的石墨框的俯视图；

图2是背景技术中的石墨框的主视图；

图3是背景技术中石墨固定板的主视图；

图4是背景技术中石墨固定板和石墨框的组装示意图；

图5是本实用新型实施例一中石墨固定板的主视图；

图6是本实用新型实施例一中石墨框和石墨固定板组装示意图；

图7是图5的A部放大图。

其中：1、石墨框网格；2、承载板；3、挂钩；4、石墨固定板；5、凹槽；6、加强条；7、凸块；8、卡槽。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图5~7所示，一种石墨框，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板，构成复数个石墨框网格；所述石墨框的上下两侧边缘处设有石墨固定板4，所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽5，使凹槽底面与石墨框承载板的底面相接近；相邻凹槽之间留有加强条6，所述加强条与承载板一一对应，且加强条与承载板的宽度相同。

如图5所示，石墨固定板的底部设有5个凹槽，凹槽的位置与石墨框每个网格的位置一致，且宽度相同，因此凹槽保证了在硅片镀膜时石墨纤维板不会影响气流，就不会引起镀膜发红。凹槽的深度为2.5 mm，凹槽与卡槽之间的距离为1.5 mm；凹槽与凹槽之间保留加强条，其位置和宽度与石墨框的承载板（格条）一致，高度为5 mm，这样起到加强固定石墨框边缘作用，使其石墨框边缘不往下凹，不晃动。

Claims (4)

1.一种石墨框，包括石墨框本体，石墨框本体内设有复数条横竖交错的承载板，构成复数个石墨框网格；所述石墨框的上下两侧边缘处设有石墨固定板(4)，其特征在于：所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽(5)，使凹槽底面与石墨框承载板的底面相接近；相邻凹槽之间留有加强条(6)，所述加强条与承载板一一对应，且加强条与承载板的宽度相同。

2.根据权利要求1所述的石墨框，其特征在于：所述石墨框的上下两侧边缘处具有凸块(7)，所述石墨固定板上具有与凸块配合的卡槽(8)，两者卡固连接。

3.根据权利要求1所述的石墨框，其特征在于：所述石墨固定板底部的加强条的高度为2~9 mm。

4.根据权利要求1所述的石墨框，其特征在于：所述石墨固定板的底部相对于石墨框网格的位置设有凹槽，凹槽底面与石墨框承载板的底面之间的距离为1~3 mm。

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