CN203230692U

CN203230692U - 蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置

Info

Publication number: CN203230692U
Application number: CN 201320142380
Authority: CN
Inventors: 刘根思; 李显元; 何静生; 刘浦锋; 宋洪伟; 陈猛
Original assignee: SHANGHAI ADVANCED SILICON TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: Shanghai Chaosi Semiconductor Co ltd
Priority date: 2013-03-26
Filing date: 2013-03-26
Publication date: 2013-10-09
Anticipated expiration: 2023-03-26

Abstract

本实用新型公开了一种蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置；包括水平台（6），所述水平台（6）上设置有水平台面，所述水平台面上设置有机械臂装置（1），所述机械臂装置（1）上设置有千分表，所述千分表的正下方设置有料板（5）。所述机械臂装置1包括可控制机架（103）、机械臂Ⅱ（102）和机械臂Ⅰ（101）；所述水平台面设置有可控制机架导轨，所述可控制机架导轨上设置可控制机架（103），所述可控制机架（103）上设置有机械臂导轨Ⅱ，所述机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ（102），所述机械臂Ⅱ（102）上设置有机械臂导轨Ⅰ，所述机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ（101）。

Description

蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石加工装置，尤其是一种可以防止晶棒在切片之后发生晶向误差的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置。

背景技术

蓝宝石具有硬度高、熔点高、透光性好以及化学性能稳定等特点，在机械、光学和信息技术等高新技术领域中有着广泛的应用，尤其在LED领域，蓝宝石衬底占据着当前LED外延基片70%以上的市场份额。人工生长的蓝宝石具有优秀的耐磨性，其硬度仅次于金刚石，达到了莫氏硬度9级。由于其硬度很高而脆性较大，因此对其机械加工较为困难。目前，蓝宝石晶棒通常采用金刚石线切割的方式进行加工。

在进行金刚石线切割之前，需将蓝宝石晶棒通过粘结胶固定于料板上。由于对蓝宝石晶棒的晶向有很严格的要求，因此粘结时需调整好料板与晶棒的相对粘结方向。传统的做法是将晶棒放在x-rey设备上调节晶向，待晶向调整完毕之后再用粘结胶和料板进行固定，等待粘结胶凝固后即直接进行线切割操作。但如此调整之后，晶棒的晶向容易发生偏移，产生巨大的误差。一旦出现这样的情况，则整跟晶棒所切下的晶片都将存在晶向问题，极有可能造成报废。当前市面上蓝宝石晶棒的价格不菲，每报废一根都将造成巨大损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置，包括水平台，所述水平台上设置有水平台面，所述水平台面上设置有机械臂装置，所述机械臂装置上设置有千分表，所述千分表的正下方设置有料板。

作为对本实用新型的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置的改进：所述机械臂装置1包括可控制机架、机械臂Ⅱ和机械臂Ⅰ；所述水平台面设置有可控制机架导轨，所述可控制机架导轨上设置可控制机架，所述可控制机架上设置有机械臂导轨Ⅱ，所述机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ，所述机械臂Ⅱ上设置有机械臂导轨Ⅰ，所述机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ。

作为对本实用新型的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置的进一步改进：所述可控制机架导轨、机械臂导轨Ⅱ和机械臂导轨Ⅰ分别为Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向设置。

作为对本实用新型的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置的进一步改进：所述千分表包括千分表表身，所述千分表表身上设置有千分表表针；所述千分表表身与机械臂Ⅰ固定连接。

本实用新型的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置分别通过Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向的可控制机架导轨、机械臂导轨Ⅱ和机械臂导轨Ⅰ来控制可控制机架、机械臂Ⅱ和机械臂Ⅰ的运行方向，并通过对Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向的运动，将千分表运行到水平台面上的任何部位；

而在使用的过程中，通过机械臂Ⅱ带动千分表沿着X轴方向的移动，就能通过千分表的千分表表针高度灵敏的特性测定料板的水平度以及料板上的晶棒的水平度，十分的方便，而构造也十分的简单，如果有损坏的话，维修成本十分的低，便于普及使用。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。

图1是本实用新型的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置的主要结构示意图。

具体实施方式

实施例1、图1给出了一种蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置，包括水平台6，水平台6上设置有水平台面，在水平台面上设置有机械臂装置1，机械臂装置1包括可控制机架103、机械臂Ⅱ102和机械臂Ⅰ101；水平台面上固定有Z轴方向的可控制机架导轨，在可控制机架导轨上设置可控制机架103，可控制机架103与可控制机架导轨滑动连接；可控制机架103上设置有X轴方向的机械臂导轨Ⅱ，在机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ102，机械臂Ⅱ102与机械臂导轨Ⅱ滑动连接；在机械臂Ⅱ102上设置有Y轴方向的机械臂导轨Ⅰ，在机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ101，机械臂Ⅰ101与机械臂导轨Ⅰ滑动连接；在机械臂Ⅰ101上设置有千分表，千分表包括千分表表身2与千分表表针3，千分表表身2与机械臂Ⅰ101相互固定；水平台面上还设置有料板5。

实际使用的时候，可控制机架103沿着Z轴方向调整，再将机械臂Ⅱ102沿着X轴方向调整，再将机械臂Ⅰ101沿着Y轴方向调整，具体步骤如下：

1、将料板5放置于水平台6上；

2、将可控制机架103沿着Z轴方向调整，再将机械臂Ⅱ102沿着X轴方向调整，将千分表表针3调整到料板5的正上方；

3、再将机械臂Ⅰ101沿着Y轴方向调整，直到千分表表针3与料板5的侧壁相接触；

4、再将可控制机架103和机械臂Ⅰ101分别固定，机械臂Ⅱ102沿着X轴方向调整，千分表表针3沿着料板5的X轴向边缘移动，在移动的过程中，如果料板5与机械臂Ⅱ102不平行，则千分表表针3沿着料板5的边缘移动时，千分表表针3会跳动，导致千分表表身2内表针转动，按照千分表表身2内表针的转动，开始调整料板5的角度，当千分表表身2内表针的转动趋于零时，证明千分表表针3不会跳动，则可以停止千分表表针3沿着料板5的X轴向边缘移动，校正完毕。

5、将料板5固定在水平台6上。

6、将晶棒4放置在料板5上。

7、固定可控制机架103的Z轴方向，再将机械臂Ⅰ101沿着Y轴方向调整，直到千分表表针3搭住晶棒4的侧壁；再将机械臂Ⅱ102沿着X轴方向调整，观察千分表表身2内表针，如果转动的很厉害，就调整晶棒4的角度，直到千分表表身2内表针不再转动为止。

8、用粘结胶将晶棒4和料板5粘在一起。

9、在粘结胶冷却凝固之前，再用千分表表针3沿着X轴方向调整，观察千分表表身2内表针是否转动，如果转动，则对晶棒4的角度进行微调。

10、粘结胶完全凝固之后，将固定在料板5上的晶棒4送去进行金刚石线切割。

最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的一个具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims

1.蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置；其特征是：包括水平台（6），所述水平台（6）上设置有水平台面，所述水平台面上设置有机械臂装置（1），所述机械臂装置（1）上设置有千分表，所述千分表的正下方设置有料板（5）。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置，其特征是：所述机械臂装置1包括可控制机架（103）、机械臂Ⅱ（102）和机械臂Ⅰ（101）；

所述水平台面设置有可控制机架导轨，所述可控制机架导轨上设置可控制机架（103），所述可控制机架（103）上设置有机械臂导轨Ⅱ，所述机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ（102），所述机械臂Ⅱ（102）上设置有机械臂导轨Ⅰ，所述机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ（101）。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置，其特征是：所述可控制机架导轨、机械臂导轨Ⅱ和机械臂导轨Ⅰ分别为Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向设置。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置，其特征是：所述千分表包括千分表表身（2），所述千分表表身（2）上设置有千分表表针（3）；

所述千分表表身（2）与机械臂Ⅰ（101）固定连接。