CN203177833U - 一种涂胶工艺参数检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种涂胶工艺参数检测装置，其包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元；所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元；所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元；所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。本实用新型所述供涂胶工艺参数检测装置既能够实时测量涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量，又能根据所使用的实际涂胶量推算出膜厚，结构简单、可靠、适用范围广。

Description

一种涂胶工艺参数检测装置

技术领域

本实用新型涉及涂胶技术领域，具体涉及一种涂胶工艺参数检测装置。 

背景技术

在现有的涂胶工艺中，一般采用直接刮涂方式或者旋涂方式将液态胶涂覆在基板表面，然后再将涂覆在基板表面的液态胶烘干即完成了涂胶工艺，所述直接刮涂方式指的是使用刮刀将液态胶均匀涂覆在基板表面的工艺，所述旋涂方式指的是使基板沿垂直于其自身表面的轴进行旋转的同时将液态胶均匀涂覆在基板表面的工艺。上述两种涂胶方式中，最终反映涂胶工艺的参数是膜厚（即涂覆在基板表面的液态胶被烘干后所成薄膜的厚度），而直接影响膜厚的参数是涂胶量的大小，但是现有的涂胶工艺中，并没有直接测量涂胶量的工序，仅仅是假定涂胶工艺完成后所使用的涂胶量与预先设定的涂胶量相同，而无法得知涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量。 

现有的膜厚测量方法可分为段差法和光学检测法。 

所述段差法的测量原理为：使探针与已完成涂胶工艺的被测基板表面垂直接触，然后利用驱动器以一定的速度拖动探针，使其在被测基板表面的薄膜上滑动，根据探针在滑动时所产生的上下位移量可得出被测基板表面不同位置处的膜厚，这种测量方法中探针在滑动时会对被测基板表面的薄膜造成损伤，从而影响产品品质。 

所述光学检测法的测量原理是：采用光源（如激光光源或白光光源）照射已完成涂胶工艺的被测基板表面所成的薄膜，然后通过CCD接收薄膜的图像，根据所接收的薄膜图像及薄膜的光学 特性（如干涉、反射、透射等）可计算出所述薄膜的厚度，这种测量方法与段差法相比虽然不会对被测基板表面所成薄膜造成损伤，但是这种方法只能测量透明、半透明的薄膜的厚度，而无法测量不透明的薄膜的厚度，因而具有局限性。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种既能够实时测量涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量，又能根据所使用的实际涂胶量推算出膜厚的检测装置。 

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案： 

所述涂胶工艺参数检测装置包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元； 

所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，然后将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元； 

所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在分别接触到已涂胶的基板和未涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后分别测量已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶 的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的基板的重量信息发送给输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元、输入单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述输入单元用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶 的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述接触单元包括至少一个接触探头。 

优选地，所述重量检测单元包括升降单元和基板重量计算单元； 

所述升降单元与接触单元相连，用于在已涂胶的基板或未涂胶的基板被运送至接触单元上方时将接触单元升起以接触已涂胶的基板或未涂胶的基板，以及用于在所述接触单元接触到已涂胶的基板或未涂胶的基板时下降，且升降单元下降的位移量与已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量成正比，并将所述下降的位移量发送给所述基板重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板或未涂胶的基板时发送测量信号给基板重量计算单元； 

所述基板重量计算单元内置有升降单元下降的位移量与已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量的比例关系映射表，其用于在接收到升降单元发送的所述下降的位移量以及接触单元发送的测量信号后根据所述下降的位移量及其内置的所述比例关系映射表得出所述已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述升降单元包括至少一个气缸。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板和未涂胶的基板的机械手上；所述机械手在分别接触到已涂胶的基板和未涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后分别测量已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信 息分别发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板的机械手上；所述机械手在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的基板的重量信息发送给输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元、输入单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板的机械手上；所述机械手在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述输入单元用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

优选地，所述重量检测单元包括重力传感器。 

有益效果： 

1）本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置可直接测量出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量（即实际涂胶量），克服了现有技术中无法得知涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量的缺陷； 

2）本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置能够根据测得的所述薄膜的重量计算出所述薄膜的厚度（即膜厚），故省略了直接测量膜厚的工序，与现有技术相比既不会划伤所述薄膜，又可得出不透明薄膜的厚度，也就是说该检测装置的使用不受薄膜特性的限制； 

3）本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置可应用于在线涂胶工艺中，可依次检测流水线中各个已涂胶基板的实际涂胶量和膜厚，从而起到实时监控的作用，当检测出某一个已涂胶基板的实际涂胶量和膜厚不符合要求时，操作人员可及时将不合格的基板脱胶后重新涂胶，有利于产品的再生； 

4）本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置结构简单、可靠、适用范围广。 

附图说明

图1为本实用新型实施例1中所述检测装置的结构框图； 

图2为本实用新型实施例2中所述检测装置的结构框图； 

图3为本实用新型实施例2中所述检测装置的结构示意图； 

图4为本实用新型实施例4中所述检测装置的结构框图； 

图5为本实用新型实施例6中所述检测装置的结构框图； 

图6为本实用新型实施例6中所述检测装置的结构示意图； 

图7为本实用新型实施例8中所述检测装置的结构框图。 

图中：1－待测基板；2－接触探头；3－支撑件；4－重力传感器；5－机械手。 

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和实施例对本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置作进一步详细描述。 

实施例1： 

如图1所示，本实施例提供一种涂胶工艺参数检测装置，包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元。 

所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，然后将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度（即膜厚），并将所述薄膜的厚度发送给输出单元； 

所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。 

本实施例中，所述输出单元可输出文字、图形、数字、视频或语音等信息，以告知操作人员当前已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息（即实际涂胶量）。 

优选地，所述膜厚计算单元按照如下公式计算得出所述薄膜 的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元； 

T=(Q/ρ*S)*t            （1） 

式（1）中，T为所述薄膜的厚度，Q为所述薄膜的重量，ρ为所述胶呈液态时的密度（即涂覆在基板表面的液态胶的密度），S为所述薄膜的表面积，t为膜减率，所述膜减率指的是涂覆在基板表面的液态胶被烘干后所成薄膜的厚度（即膜厚）与被烘干前所述液态胶的厚度的比率。 

可见，本实施例所述检测装置既能够实时测量涂胶工艺完成后所使用的实际涂胶量，又能根据所使用的实际涂胶量推算出膜厚。 

实施例2： 

如图2所示，本实施例提供一种涂胶工艺参数检测装置，包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元。 

所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元和膜厚计算单元。 

所述接触单元用于在接触到待测基板时发送测量信号给重量检测单元。 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后测量待测基板的重量信息。这里，待测基板分别表示已涂胶的基板和未涂胶的基板，也就是说，待测基板表示的是已涂胶的基板时，所述重量检测单元测得的是已涂胶的基板的重量信息，待测基板表示的是未涂胶的基板时，所述重量检测单元测得的是未涂胶的基板的重量信息。在分别得出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息后，所述重量检测单元还用于将测得的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元。 

所述薄膜重量计算单元用于根据重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板信息计算二者的的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息（即实际涂胶量）， 并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元。 

所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元。 

所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

如图3所示，本实施例中，所述重量检测单元包括重力传感器4，其用于在收到接触单元发送的测量信号后直接感应出待测基板的重量信息。 

优选地，所述接触单元包括至少一个接触探头2。为了更好地保证重力传感器4在测量待测基板的重量信息时，所述待测基板能保持稳定，优选所述重量检测单元还包括多个支撑件3，其数量以能够支撑所述待测基板使其保持稳定即可，例如采用四个；如图3所示，所述接触探头2可设置在支撑件3的顶端。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例1相同，这里不再赘述。 

实施例3： 

本实施例与实施例2的区别在于： 

本实施例所述涂胶量检测单元中的重量检测单元只用于测量已涂胶的基板的重量信息（即待测基板仅表示已涂胶的基板），而无需测量未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元及薄膜重量计算单元；所述薄膜重量计算单元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于根据重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和内置的未涂胶的基板的重量信息计算二者的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息（即实际涂胶量），并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的 基板的重量信息发送给输出单元；所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的未涂胶的基板的重量信息和所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例2相同，这里不再赘述。 

实施例4： 

如图4所示，本实施例与实施例2的区别在于： 

本实施例中涂胶量检测单元还包括输入单元，其用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元；所述重量检测单元只用于测量已涂胶的基板的重量信息（即待测基板仅表示已涂胶的基板），而无需测量未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元及薄膜重量计算单元；所述薄膜重量计算单元用于根据输入单元发送的未涂胶的基板的重量信息及重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息计算二者的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息（即实际涂胶量），并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元；所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息、输入单元发送的未涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例2相同，这里不再赘述。 

实施例5： 

本实施例与上述实施例2-4的区别在于： 

本实施例中，所述重量检测单元不包括重力传感器，而是包括升降单元和基板重量计算单元； 

所述升降单元与接触单元相连，用于在待测基板被运送至接触单元上方时将接触单元升起以接触待测基板，以及用于在所述接触单元接触到待测基板时下降（因承受待测基板的重力），且升降单元下降的位移量与待测基板的重量成正比，并将所述下降的位移量发送给所述基板重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到待测基板时发送测量信号给基板重量计算单元； 

所述基板重量计算单元内置有升降单元下降的位移量与待测基板的重量的比例关系映射表，其用于在接收到升降单元发送的所述下降的位移量以及接触单元发送的测量信号后根据所述下降的位移量及其内置的所述比例关系映射表得出所述待测基板的重量信息，并将其分别发送给输出单元和薄膜重量计算单元。可见，升降单元、接触单元和基板重量计算单元共同作用以测出待测基板的重量信息。 

优选地，所述升降单元包括至少一个气缸。 

实施例6： 

如图5、6所示，本实施例提供一种涂胶工艺参数检测装置，包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元。 

所述涂胶量检测单元包括重量检测单元和膜厚计算单元。 

所述重量检测单元集成在用于运送待测基板的机械手5上；所述机械手5在接触到待测基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手5发送的测量信号后测量待测基板的重量信息。这里，待测基板分别表示已涂胶的基板和未涂胶的基板，也就是说，待测基板表示的是已涂胶的基板时，所述重量检测单元测得的是已涂胶的基板的重量信息，待测基板表示的是未涂胶的基板时，所述重量检测单元测得的是未涂胶的基板的重量信息。在分别得出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息后，所述重量检测单元还用于将测得的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄 膜重量计算单元和输出单元。 

所述薄膜重量计算单元用于根据重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息计算二者的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元。 

所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元。 

所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

在涂胶工艺中，用于运送待测基板的机械手是必不可少的，本实施例所述涂胶量检测单元中的机械手可采用现有涂胶工艺中所使用的机械手，在实际应用中，只需在现有的机械手上集成重量检测单元即可在运送待测基板的同时测量得到待测基板的重量信息，方便易行。 

优选地，本实施例中，所述重量检测单元包括重力传感器，其用于在收到机械手发送的测量信号后直接感应出待测基板的重量信息。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例1相同，这里不再赘述。 

实施例7： 

本实施例与实施例6的区别在于： 

本实施例中，所述机械手5只用于运送已涂胶的基板（即待测基板仅表示已涂胶的基板），故所述涂胶量检测单元中的重量检测单元只用于测量已涂胶的基板的重量信息，而无需测量未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元及薄膜重量计算单元；所述薄膜重量计算单 元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于根据重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息和内置的未涂胶的基板的重量信息计算二者的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的基板的重量信息发送给输出单元；所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的未涂胶的基板的重量信息和所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例6相同，这里不再赘述。 

实施例8： 

如图7所示，本实施例与实施例6的区别在于： 

本实施例中涂胶量检测单元还包括输入单元，其用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元；所述机械手5只用于运送已涂胶的基板（即待测基板仅表示已涂胶的基板），故所述重量检测单元只用于测量已涂胶的基板的重量信息，而无需测量未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元及薄膜重量计算单元；所述薄膜重量计算单元用于根据输入单元发送的未涂胶的基板的重量信息及重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息计算二者的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息（即实际涂胶量）；所述输出单元用于分别输出重量检测单元发送的已涂胶的基板的重量信息、输入单元发送的未涂胶的基板的重量信息、薄膜重量计算单元发送的所述薄膜的重量信息以及膜厚计算单元发送的所述薄膜的厚度。 

本实施例中的其他结构及作用都与实施例6相同，这里不再赘述。 

本实用新型所述涂胶工艺参数检测装置可应用于半导体及TFT-LCD（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶输出器）领域中的涂胶工艺中。 

需要说明的是，本实用新型所述已涂胶的基板指的是已完成涂胶工艺的基板，且涂覆在基板表面的液态胶已经被烘干而形成薄膜，所述未涂胶的基板指的是该已涂胶的基板在没有进行涂胶工艺之前的基板。 

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。 

Claims (11)

1.一种涂胶工艺参数检测装置，其特征在于，包括涂胶量检测单元、膜厚计算单元和输出单元； 

所述涂胶量检测单元用于获取已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并根据二者重量之差得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，然后将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述膜厚计算单元用于根据涂胶量检测单元发送的所述薄膜的重量信息计算得出所述薄膜的厚度，并将所述薄膜的厚度发送给输出单元； 

所述输出单元用于输出所述薄膜的重量信息和所述薄膜的厚度。 

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在分别接触到已涂胶的基板和未涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后分别测量已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶 量检测单元包括接触单元、重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的基板的重量信息发送给输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶量检测单元包括接触单元、重量检测单元、输入单元和薄膜重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到接触单元发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元及薄膜重量计算单元； 

所述输入单元用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未 涂胶的基板的重量信息。 

5.根据权利要求2-4中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述接触单元包括至少一个接触探头。 

6.根据权利要求2-4中任一项所述的检测装置，其特征在于， 

所述重量检测单元包括升降单元和基板重量计算单元； 

所述升降单元与接触单元相连，用于在已涂胶的基板或未涂胶的基板被运送至接触单元上方时将接触单元升起以接触已涂胶的基板或未涂胶的基板，以及用于在所述接触单元接触到已涂胶的基板或未涂胶的基板时下降，且升降单元下降的位移量与已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量成正比，并将所述下降的位移量发送给所述基板重量计算单元； 

所述接触单元用于在接触到已涂胶的基板或未涂胶的基板时发送测量信号给基板重量计算单元； 

所述基板重量计算单元内置有升降单元下降的位移量与已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量的比例关系映射表，其用于在接收到升降单元发送的所述下降的位移量以及接触单元发送的测量信号后根据所述下降的位移量及其内置的所述比例关系映射表得出所述已涂胶的基板或未涂胶的基板的重量信息。 

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述升降单元包括至少一个气缸。 

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板和未涂胶的基板的机械手上；所述机械手在分别接触到已涂胶的基板和未涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后分 别测量已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息分别发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板的机械手上；所述机械手在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述薄膜重量计算单元内置有未涂胶的基板的重量信息，其用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元，以及将其内置的未涂胶的基板的重量信息发送给输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述涂胶量检测单元包括重量检测单元、输入单元和薄膜重量计算单元； 

所述重量检测单元集成在用于运送已涂胶的基板的机械手上；所述机械手在接触到已涂胶的基板时发送测量信号给重量检 测单元； 

所述重量检测单元用于在接收到机械手发送的测量信号后测量已涂胶的基板的重量信息，并将测量得到的已涂胶的基板的重量信息发送给输出单元和薄膜重量计算单元； 

所述输入单元用于接收用户输入的未涂胶的基板的重量信息，并将未涂胶的基板的重量信息分别发送给薄膜重量计算单元和输出单元； 

所述薄膜重量计算单元用于计算所述已涂胶的基板和未涂胶的基板的重量之差以得出已涂胶的基板表面所成薄膜的重量信息，并将所述薄膜的重量信息分别发送给膜厚计算单元和输出单元； 

所述输出单元还用于分别输出已涂胶的基板的重量信息和未涂胶的基板的重量信息。 

11.根据权利要求2-4、8-10中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述重量检测单元包括重力传感器。 

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