CN201716393U - 太阳能硅片表面线痕测试仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能硅片表面线痕测试仪，包括驱动器，探针组件，工作台、数据处理器和竖直在工作台上的立柱，探针组件安装在驱动器上，驱动器安装在立柱上，探针组件的头端是探针，探针在硅片表面滑动，探针组件将硅片表面的滑动曲线输入数据处理器，驱动器响应于来自数据处理器的指令来移动探针组件或沿着立柱在竖直方向上下移动，在工作台上设置陶瓷高精密平台，待测试的硅片放置在陶瓷高精密平台上。使用该线痕测试仪可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准，准确，及时的实行线痕SPC控制；在双方对线痕存在异议时，可以作为第三方仲裁。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能硅片表面线痕测试仪技术领域。
背景技术
目前的线痕测试存在的问题：1.很多情况并不能直接被测量出。2.自动分选仪可以直接测量出但是价格昂贵，约RMB一千万，并且测试原理只是扫瞄规定部分线痕。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：在线痕测试方面需要投资小，效果明显的机器或测量方法。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太阳能硅片表面线痕测试仪，包括驱动器，探针组件，工作台、数据处理器和竖直在工作台上的立柱，探针组件安装在驱动器上，驱动器安装在立柱上，探针组件的头端是探针，探针在硅片表面滑动，探针组件将硅片表面的滑动曲线输入数据处理器，驱动器响应于来自数据处理器的指令来移动探针组件或沿着立柱在竖直方向上下移动，在工作台上设置陶瓷高精密平台，待测试的硅片放置在陶瓷高精密平台上。
本实用新型的有益效果是：使用该线痕测试仪可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准，准确，及时的实行线痕SPC控制；在双方对线痕存在异议时，可以作为第三方仲裁。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是本实用新型的结构示意图；
其中：1.驱动器，2.探针组件，2-1.探针，3.工作台，4.数据处理器，5.立柱，6.硅片，7.陶瓷高精密平台。
具体实施方式
如图1所示，该太阳能硅片表面线痕测试仪包括探针组件2，该探针组件2用来测量放置于陶瓷高精密平台7上的硅片6，该探针组件2固定于驱动器1上。探针组件2的头端是探针2-1，驱动器1安装在直立于工作台3上的立柱5上，并且响应于来自数据处理器4的指令来移动探针组件2。同样，整个驱动器1可以根据硅片6的高度沿着立柱5在竖直方向上下移动，该竖直方向垂直于工作台3的表面，在工作台3上设置陶瓷高精密平台7。一旦探针2-1与硅片6表面保持接触，驱动器1驱动探针2-1移动，则探针2-1将此滑动曲线通过传感器输入数据处理器4中。
线痕测量：接触式测量，通过尖端半径为2um的探针2-1在硅片6表面滑动测量，并将此滑动曲线传入数据处理器4的振幅指示部，在振幅指示部中将曲线图形显示出并计算该曲线的各种相关数据，包括线痕和翘曲。
线痕值的确定：测量线痕时，取较小一段约4mm长度测量，所得曲线通过滤波器过滤硅片本身弯曲后，得到线痕曲线并进行计算，可以得出所选部位线痕值Rt：线痕曲线中波峰与波谷的最大差值。使用Rt评定线痕的原因在于，Ry只反映小范围取样长度(0.5mm)的情况，而Rt反映的是评定长度(4mm)内的整体情况，电池端刻蚀需求的是整体的情况。电池端可以根据Rt体现整体情况，调整刻蚀深度，为电池的刻蚀提供依据，而并非小范围的取样长度的情况。例如台阶片，取用Ry则难以体现硅片的台阶性，而取用Rt却能准确的反映评定长度内的总体情况，台阶片是指凹凸较多的硅片。
翘曲测量：测量翘曲时，需要取较长距离，根据所捕捉的图形，可以计算出所测量部位硅片的翘曲值：图形中波峰与波谷的最大差值。
Claims (1)
1.一种太阳能硅片表面线痕测试仪，其特征是：包括驱动器(1)，探针组件(2)，工作台(3)、数据处理器(4)和竖直在工作台(3)上的立柱(5)，探针组件(2)安装在驱动器(1)上，驱动器(1)安装在立柱(5)上，探针组件(2)的头端是探针(2-1)，探针(2-1)在硅片(6)表面滑动，探针组件(2)将硅片(6)表面的滑动曲线输入数据处理器(4)，驱动器(1)响应于来自数据处理器(4)的指令来移动探针组件(2)或沿着立柱(5)在竖直方向上下移动，在所述的工作台(3)上设置陶瓷高精密平台(7)，硅片(6)放置在陶瓷高精密平台(7)上。
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20110119 Termination date: 20130610 |