CN203098583U - 旋干机的轴承结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种旋干机的轴承结构，包含有轴承基座于表面的中央位置上设有凸型环，凸型环于中心位置上具有第一中空开口，轴承接合座于表面的中央位置上设有凹型环，凹型环于中心位置上具有第二中空开口，第一中空开口与第二中空开口相通，凸型环结合凹型环以形成环状气室，多个气孔环设于凸型环的周围，且气孔与环状气室、第一中空开口及第二中空开口相通。因此气孔可由气嘴连接至真空泵，当真空泵开始对气嘴抽真空，将可使得第一中空开口、第二中空开口及环状气室呈现为真空环境以抽离污染物，由此可以提高制程腔体的环境的洁净度。

Description

旋干机的轴承结构

技术领域

本实用新型有关一种旋干机的轴承结构，特别是有关一种利用真空技术的旋干机的轴承结构。 

背景技术

在半导体制程当中，若是晶圆上有表面污染物，例如微粒、有机物、金属与原生氧化物，这些污染物会严重影响晶圆制程良率以及芯片的电特性，因此要如何控制半导体晶圆在制造过程当中不遭受污染是个重要课题。 

在诸多半导体制程机台当中，例如湿式蚀刻或清洁设备当中，在制程过后，晶圆上通常会残留着制程液体，例如去离子水，此时通常会采用旋干机用来旋干半导体晶圆，使半导体晶圆保持干净。 

因此，在旋干机设备中如何保持半导体晶圆不受污染的议题就变得格外重要，现有旋干机通常是将欲旋干的晶圆置放于反应室的治具上，治具连接一轴承，而轴承的另一端则与电动机相连。旋干机在电动机的高速旋转时，可连动治具旋转，进而旋干晶圆上残留液体。 

然而电动机在高速旋转的过程当中，非常容易将污染物带入反应室，而造成晶圆污染。因此，在过去通常解决办法是将轴承通入气体形成气墙，使反应室与电动机及电动机的电控区域可利用气墙隔开，然而在通入气体形成气墙的过程当中，会将轴承内的污染物带入反应室，又由于反应室湿式制程，水气也容易由反应室带入电控区域，反而使电控区域操受毁损，因此效果不佳。 

有鉴于此，本设计人针对上述产生的问题进行研究与探讨，由大量分析，终于开发出一种旋干机的轴承结构，将得以一并改善以上所述的缺失。 

发明内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种旋干机的轴承结构，其利用凸型环及凹型环的相互结合，以形成环状气室，多个气孔环设于凸型环的周围，且环状气室可延伸至气嘴相通，气孔再与第一中空开口、第二中空开口及环状气室相通， 气孔可由气嘴连接至真空泵，因此当真空泵开始对气嘴抽真空时，将可使得第一中空开口、第二中空开口及环状气室呈现为真空环境，以抽离污染物，由此以提高制程腔体的环境的洁净度。 

为达上述的目的，本实用新型提供一种旋干机的轴承结构，包含有轴承基座于表面的中央位置上设有凸型环，凸型环于中心位置上具有第一中空开口，轴承接合座于表面的中央位置上设有凹型环，凹型环于中心位置上具有第二中空开口，第一中空开口与第二中空开口相通，且凸型环可结合凹型环，并形成环状气室，多个气孔环设于凸型环的周围，且气孔与环状气室、第一中空开口及第二中空开口相通。 

该气孔由一气嘴连接至一真空泵。 

该轴承基座于相对的另一表面设有一O型环，以与一电动机连接。 

该轴承接合座相对的另一表面环设于该第二中空开口设有一联结体，该联结体与一制程腔体连接。 

更包括：多个第一穿孔，设置于该轴承基座的周围；多个第二穿孔，设置于该轴承接合座的周围，且对应所述第一穿孔；以及多个连接件，对应接合所述第一穿孔及所述第二穿孔。 

该轴承基座及该轴承接合座的形状为圆形。 

该轴承基座及该轴承接合座的材质为金属。 

该轴承基座及该轴承接合座的材质为塑料。 

本实用新型达到的有益技术效果在于：可以提高制程腔体40的环境的洁净度。 

底下由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。 

附图说明

图1为本实用新型的旋干机的轴承结构立体图。 

图2为本实用新型的旋干机的轴承结构的一侧面结构示意图。 

图3为本实用新型的旋干机的轴承结构的另一侧面结构示意图。 

图4为本实用新型的图2沿A-A’剖视图。 

图5为本实用新型的轴承基座及轴承接合座连结示意图。 

图6为本实用新型的旋干机的轴承结构与电动机及制程腔体连接示意图。 

附图标记说明 

10-旋干机的轴承结构；12-轴承基座；14-凸型环；16-第一中空开口；18-轴承接合座；20-凹型环；22-第二中空开口；24-环状气室；26-气孔；28-第一穿孔；30-第二穿孔；32-连接件；34-O型环；36-电动机；38-联结体；40-制程腔体；42-转轴；44-气嘴。 

具体实施方式

本实用新型于此列举一实施例，请参阅图1、图2、图3及图4，以说明本实用新型的旋干机的轴承结构立体图、一侧面结构示意图、另一侧面结构示意图及图2沿A-A’剖视图。 

如图所示，本发明提出一种旋干机的轴承结构10，且此处旋干机可用于半导体、发光二极管或是太阳能电池基板；旋干机的轴承结构10包含有轴承基座12于一表面的中央位置上设有凸型环14，凸型环14于中心位置上具有第一中空开口16，轴承接合座18于一表面的中央位置上设有凹型环20，凹型环20于中心位置上具有第二中空开口22，其中第一中空开口16可与第二中空开口22相通，且凸型环14可结合凹型环20，并形成环状气室24，多个气孔26环设于凸型环14的周围，且气孔26与第一中空开口16、第二中空开口22及环状气室24相通。 

如前所述的旋干机的轴承结构10，其中轴承基座12及轴承接合座18的形状为圆形，且轴承基座12及轴承接合座18的材质为金属或塑料。 

接续参阅图5，以说明本实用新型的轴承基座及轴承接合座连结示意图，参阅同时辅以图1及图2，如图所示，本实用新型的旋干机的轴承结构10，更包含有多个第一穿孔28设置于轴承基座12的周围，多个第二穿孔30设置于轴承接合座18的周围，且对应此等第一穿孔28，多个连接件32对应接合此些第一穿孔28及此些第二穿孔30，由此以结合轴承基座12及轴承接合座18。 

接续参阅图6，以说明本实用新型的旋干机的轴承结构与电动机及制程腔体连接示意图，参阅同时辅以图2及图3。 

如图所示，轴承基座12于相对的另一表面设有O型环34，以与电动机36相连接，本实用新型于此利用O型环34可防止外部气体进入旋干机的轴承结构10，得以保持旋干机的轴承结构10绝佳的气密性；轴承接合座18相对的另一表面环设于第二中空开口22则设有联结体38，联结体38可与制程腔体40连接，电动机36则利用转轴42连动制程腔体40，使制程腔体40得以旋转。 

综上所述，再次一并参阅图2、图3、图4及图6，本实用新型于此揭示一种 旋干机的轴承结构10，当电动机36上的转轴42穿越第一中空开口16及第二中空开口22以连接制程腔体40时，因此第一中空开口16及第二中空开口22将呈现密封环境，此时本实用新型利用轴承基座12及轴承接合座18上的凸型环14结合凹型环20，以形成环状气室24，且环状气室24可延伸至气嘴44相通，多个气孔26环设于凸型环14的周围，气孔26再与第一中空开口16、第二中空开口22及环状气室24相通，因此气孔26可由气嘴44连接至真空泵，当真空泵开始对气嘴44抽真空，即可使得第一中空开口16、第二中空开口22及环状气室24呈现为真空环境，且此真空环境仅需达到粗略真空（760毫米～1托）或是到达中度真空1托～10^-3托，即可抽离原先存在于第一中空开口16、第二中空开口22及环状气室24的污染物，由此可以提高制程腔体40的环境的洁净度。 

以上对本实用新型的描述是说明性的，而非限制性的，本专业技术人员理解，在权利要求限定的精神与范围内可对其进行许多修改、变化或等效，但是它们都将落入本实用新型的保护范围内。 

Claims (8)

1.一种旋干机的轴承结构，其特征在于，包括：

一轴承基座，于一表面的中央位置上设有一凸型环，该凸型环于中心位置上具有一第一中空开口；

一轴承接合座，于一表面的中央位置上设有一凹型环，该凹型环于中心位置上具有一第二中空开口，该第一中空开口与该第二中空开口相通，且该凸型环结合该凹型环，并形成一环状气室；以及

多个气孔，环设于该凸型环的周围，且该气孔与该环状气室、该第一中空开口及该第二中空开口相通。

2.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该气孔由一气嘴连接至一真空泵。

3.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该轴承基座于相对的另一表面设有一O型环，以与一电动机连接。

4.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该轴承接合座相对的另一表面环设于该第二中空开口设有一联结体，该联结体与一制程腔体连接。

5.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，更包括：

多个第一穿孔，设置于该轴承基座的周围；

多个第二穿孔，设置于该轴承接合座的周围，且对应所述第一穿孔；以及

多个连接件，对应接合所述第一穿孔及所述第二穿孔。

6.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该轴承基座及该轴承接合座的形状为圆形。

7.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该轴承基座及该轴承接合座的材质为金属。

8.如权利要求1所述的旋干机的轴承结构，其特征在于，该轴承基座及该轴承接合座的材质为塑料。

Images