CN203026488U - 一种扩张翻转一体化设备 - Google Patents

Abstract

一种扩张翻转一体化设备，涉及半导体行业晶圆扩张、翻转技术领域。该设备包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣。本实用新型既可以实现常规的扩张步骤，也可以实现翻转步骤，达到投资费用低，操作步骤少，降低耗材的消耗，提高生产效率等目的。

Description

一种扩张翻转一体化设备

技术领域

 本实用新型涉及半导体行业芯片生产设备领域，尤其涉及新型扩张翻转一体化设备。

背景技术

半导体芯片尺寸小，排列密集，生产过程中为了测试、分选通常需要将晶圆进行扩张；同时由于主流切割工艺是切割晶圆的背面，而测试时又要求晶圆正面向上，所以需要将扩张后的晶圆进行翻转。

现在的普通生产流程是先将晶圆进行扩张、套上子母环、切下多余白膜，然后粘在蓝膜上一起上翻转机、取下后撕掉白膜。现在的操作方式存在几个主要的缺点：

首先，套子母环的过程中容易造成扩张不均匀，即芯片排列不齐。

其次，生产步骤多，操作时间长，增加子母环的损耗。

再次，需要采用扩张机和翻转机两种设备，在成本上较高。

所以该种生产方式有一定的局限性，不利于简化生产步骤、降低生产时间、提高产品良率，这是现在技术存在的主要问题。

发明内容

本实用新型为克服上述现有技术存在的缺陷，提供了一种扩张翻转一体化设备，能简化生产步骤和时间。

本实用新型的技术方案是：

一种扩张翻转一体化设备，包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣；

所述支撑架固定在操作台上方；

所述上气缸固定在支撑架上；

所述上托盘安装在上气缸下部，可由上气缸带动上下运动；

所述下托盘安装在操作台上，位置与上托盘相对应，并可上下运动；

所述金属环支架设置在操作台上，环绕在下托盘周围，并可上下运动，通过所述锁扣与操作台锁紧固定；金属环支架带有滑道；

所述切膜刀设有与金属环支架的滑道相匹配的滑道，与金属环支架通过滑道相连接；切膜刀设有刀片，所述刀片可在金属环支架的半径方向上摆动。

一种优选方案为所述切膜刀设有马达，由马达推动切膜刀绕金属环支架做圆周运动。

本实用新型可实现扩张和反转晶圆的功能，具体操作方法为：

抬起金属环支架，将需要进行扩张的带有晶圆的白膜放置在下托盘上，摆正后压下金属环支架，锁住锁扣，压住白膜；

启动设备，下托盘开始上升，达到预设高度后，下托盘自动停止；

将粘好铁环的蓝膜放到白膜上方，再次启动设备，此时上气缸带动上托盘开始下降，以预设的压力值压在下托盘上；

切膜刀的刀片摆向白膜处，切膜刀由手动或在马达的驱动下绕金属环支架运动一周，将白膜切开；

当上托盘压膜的预设时间达到后，上托盘升起，取出铁环，此时白膜贴附在蓝膜上，撕掉白膜即可。

本实用新型大大地简化了生产步骤，提高生产效率，同时避免了常规扩张步骤中套子母环的操作，将大幅提升良率，降低耗材的使用量；一套设备实现了原有两套设备的功能，大大降低设备成本。

附图说明

图1为本实用新型正面的结构示意图；

图2为本实用新型侧面的结构示意图；

图3为金属环支架示意图；

图4为切膜刀与金属环支架连接示意图；

其中：1-上气缸；2-上托盘；3-下托盘；4-金属环支架；5-白膜铁环；6-蓝膜；7-支撑架；8-切膜刀；9-锁扣；10-白膜；11-操作台；12-刀片。

具体实施方式

实施例1

如图1、2所示，一种扩张翻转一体化设备，包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣。

支撑架固定在操作台上方，跨接在操作台的两侧；

上气缸固定在支撑架上，位于操作台中间上方位置；

上托盘安装在上气缸下部，可由上气缸带动上下运动；

下托盘安装在操作台上，位置与上托盘相对应，并可上下运动；

金属环支架设置在操作台上，环绕在下托盘周围，并可上下运动，通过所述锁扣与操作台锁紧固定；金属环支架带有滑道，该滑道与金属环支架同样绕下托盘一周；

如图4所示，切膜刀设有与金属环支架的滑道相匹配的滑道，与金属环支架通过滑道相连接，可绕下托盘旋转一周；切膜刀设有刀片，该刀片可在金属环支架的半径方向上摆动，当需要切割白膜时摆向白膜的位置，不需要切割时摆离白膜的位置。

切膜刀设有马达，由马达推动切膜刀绕金属环支架做圆周运动。

该实施例中扩张翻转一体化设备的使用过程为：

抬起金属环支架，将需要进行扩张的带有晶圆的白膜放置在下托盘上，摆正后压下金属环支架，锁住锁扣，压住白膜；

启动设备，下托盘开始上升，达到预设高度后，下托盘自动停止；

将粘好铁环的蓝膜放到白膜上方，再次启动设备，此时上气缸带动上托盘开始下降，以预设的压力值压在下托盘上；

切膜刀的刀片摆向白膜处，切膜刀由马达驱动绕金属环支架运动一周，将白膜切开；

当上托盘压膜的预设时间达到后，上托盘升起，取出铁环，此时白膜贴附在蓝膜上，撕掉白膜即可。

实施例2

该实施例的结构与实施例1基本相同，区别在于切膜刀未设有马达，由手动实现绕金属环支架运动一周。

Claims (2)

1.一种扩张翻转一体化设备，其特征在于：包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣；

所述支撑架固定在操作台上方；

所述上气缸固定在支撑架上；

所述上托盘安装在上气缸下部，可由上气缸带动上下运动；

所述下托盘安装在操作台上，位置与上托盘相对应，并可上下运动；

所述金属环支架设置在操作台上，环绕在下托盘周围，并可上下运动，通过所述锁扣与操作台锁紧固定；金属环支架带有滑道；

所述切膜刀设有与金属环支架的滑道相匹配的滑道，与金属环支架通过滑道相连接；切膜刀设有刀片，所述刀片可在金属环支架的半径方向上摆动。

2.根据权利要求1所述的扩张翻转一体化设备，其特征在于：所述切膜刀设有马达。

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