CN203011806U - 一种检测洁净度的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测洁净度的装置，包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够吹出洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。本实用新型通过罩体与密封圈的结合使用，实现了对待测物体表面的空间隔离，从根本上杜绝了待测物体表面粒子的溢出和待测区域外粒子的混入，从源头上确保了对待测区域进行洁净度检测的准确度，有效提高了洁净度检测的准确性。

Description

一种检测洁净度的装置

技术领域

本实用新型涉及洁净度检测领域，具体涉及一种检测洁净度的装置。

背景技术

目前，在对待测物体表面的待测区域进行洁净度检测时，通常需要将待测区域上方的空气吸入粒子计数器，以使粒子计数器能够根据所吸入的空气中的粒子检测待测区域的洁净度。但上述操作中很可能产生明显的待测区域中粒子的溢出以及待测区域外粒子的混入，从而严重影响洁净度检测的准确性。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种检测洁净度的装置，以提高洁净度检测的准确性。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种检测洁净度的装置，该装置包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够提供洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，

所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。

所述密封圈的形状与所述罩体朝向待测物体的一端的形状相匹配。

所述密封圈的形状为圆形。

所述负压吸气组件的吸气口和/或正压供气组件的进气口与所述密封圈处于相同的水平面。

所述正压供气组件包括相连的正压输气管、进气管道和进气口；

所述负压吸气组件包括负压吸气管和吸气口。

所述负压吸气管穿过所述罩体并进入罩体所形成的空间，所述负压吸气管包括用于将所述罩体所形成的空间中的气体吸入所述粒子计数器的吸气口；

所述进气管道位于所述罩体侧壁的内部，并且所述进气管道面向所述密封圈的一端穿过所述罩体进入所述密封圈所形成的空间；所述进气管道在进入所述密封圈所形成空间的一端上包括能够将待测物体表面的待测区域中的粒子吹离待测物体表面的进气口。

所述正压输气管和/或负压吸气管的数量为一个或多个。

所述进气管道的数量为一个或多个。

所述进气管道的数量为多个，该装置还包括用于将所述正压输气管与进气管道相连的连接管道。

所述进气口为能够自动控制开启和关闭的单向阀。

本实用新型通过罩体与密封圈的结合使用，实现了对待测物体表面的空间隔离，从根本上杜绝了待测物体表面粒子的溢出和待测区域外粒子的混入，因而从源头上确保了对待测区域进行洁净度检测的准确度，有效提高了洁净度检测的准确性。

附图说明

图1为本实用新型实施例检测洁净度的装置的结构示意图；

附图标记说明：

1、粒子计数器；2、正压输气管；3、进气管道；4、进气口；5、连接管道；6、负压吸气管；7、吸气口；10、待测物体；20、罩体；30、密封圈。

具体实施方式

在实际应用中，本实用新型检测洁净度的装置可以包括粒子计数器、负压吸气组件、正压供气组件、罩体以及密封圈。

具体而言，罩体能够罩在待测物体表面的待测区域上方，密封圈的形状与罩体朝向待测物体的一端的形状相匹配，如环状；并且，密封圈在罩体朝向待测物体的方向上与罩体紧密连接，以尽量避免待测区域中粒子的溢出以及待测区域外粒子的混入。

可以根据实际应用场景将密封圈非常靠近(比如在待测物体表面的待测区域有粘性或易磨损等情况下)或贴合(比如在待测物体表面的待测区域无粘性或不易磨损等情况下)待测物体表面的待测区域。这样，罩体与密封圈就能够形成罩住待测物体表面的待测区域的密封空间，因而能够尽量避免待测区域中粒子的溢出以及待测区域外粒子的混入。

负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与粒子计数器相连，另一端分别深入到罩体与待测区域之间的空间中(比如：罩体所形成的空间中)。在实际应用时，负压吸气组件能够将气体吸入粒子计数器(比如：将罩体所形成的空间中的气体吸入粒子计数器)，使得罩体所形成的空间中形成负压；正压供气组件则能够吹出洁净气体(比如：向罩体所形成的空间中吹入洁净气体)，该洁净气体通常能够将待测物体表面的待测区域中的粒子吹离待测物体表面，便于负压吸气组件将被吹离待测物体表面的粒子吸入粒子计数器。

需要说明的是，负压吸气组件与正压供气组件相配合，使罩体所形成的空间中形成负压或常压，以尽量避免待测区域中粒子的溢出以及待测区域外粒子的混入。另外，负压吸气组件和/或正压供气组件在罩体中的位置可以根据实际应用场景设置。在需要时，负压吸气组件的吸气口和/或正压供气组件的进气口可以尽量向待测区域延伸(比如与密封圈处于相同的水平面)，这样正压供气组件可以更有效地将待测物体表面的待测区域中的粒子吹离待测物体表面，负压吸气组件则可以更有效地将被吹离待测物体表面的粒子吸入粒子计数器。

粒子计数器能够根据吸入的粒子检测出待测物体表面的待测区域的洁净度，由于避免了待测区域中粒子的溢出以及待测区域外粒子的混入，因此洁净度检测的准确性能够得到有效提高。

在具体应用中，可以进行如图1所示的设置。图1中，负压吸气管6穿过罩体20并进入罩体20所形成的空间，负压吸气管6进入罩体20的一端上的吸气口7能够将罩体20所形成的空间中的气体吸入粒子计数器1。正压输气管2与位于罩体20侧壁内部的进气管道3相连，进气管道3面向密封圈30的一端穿过罩体20进入密封圈30所形成的空间，进气管道3进入密封圈30所形成空间的一端上的进气口4能够将待测物体10表面的待测区域中的粒子吹离待测物体10表面。吸气口7可以进一步向待测物体10延伸，可以与进气口4位于相同的水平面。

正压输气管2和/或负压吸气管6的数量可以为一个或多个；同样，进气管道3的数量可以为一个或多个。当进气管道3的数量为多个时，可以应用连接管道5将正压输气管2与进气管道3相连。

上述的正压输气管2、进气管道3等用于实现正压吹气的器件属于正压供气组件，上述的负压吸气管6等用于实现负压吸气的器件属于负压吸气组件。

在应用图1所示装置进行洁净度检测时，可以选定待测物体10的表面，据此确认待测区域，并将密封圈30贴近待测区域，使待测区域的表面与周围区域实现表面部分的空间隔离。之后，可以由负压吸气管6通过吸气口7向粒子计数器1吸气，使罩体20内形成负压。至此，进气管道3的进气口4(可以是能够自动控制开启和关闭的单向阀)一直是关闭的，因此罩体20与待测物体10之间产生一定的吸附力。

接下来，开启进气口4，洁净气体通过正压输气管2、进气管道3，最后由进气口4进入待测区域，将待测物体10表面的待测区域中的粒子吹离待测物体10表面，并被负压吸气管6通过吸气口7吸入粒子计数器1，由粒子计数器1根据吸入的粒子数量检测出待测物体10表面的待测区域的洁净度。

结合以上描述可见，本实用新型检测洁净度的装置，通过罩体与密封圈的结合使用，实现了对待测物体表面的空间隔离，从而从根本上杜绝了待测物体表面粒子的溢出和待测区域外粒子的混入，因而从源头上确保了对待测区域进行洁净度检测的准确度，有效提高了洁净度检测的准确性。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种检测洁净度的装置，其特征在于，该装置包括粒子计数器、能够将气体吸入所述粒子计数器的负压吸气组件、能够提供洁净气体的正压供气组件、能够罩在待测物体表面的待测区域上方的罩体、与所述罩体紧密连接的密封圈；其中，

所述负压吸气组件以及正压供气组件的一端分别与所述粒子计数器相连，另一端分别深入到所述罩体与待测区域之间的空间中。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述密封圈的形状与所述罩体朝向待测物体的一端的形状相匹配。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述密封圈的形状为圆形。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述负压吸气组件的吸气口和/或正压供气组件的进气口与所述密封圈处于相同的水平面。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，

所述正压供气组件包括相连的正压输气管、进气管道和进气口；

所述负压吸气组件包括负压吸气管和吸气口。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，

所述负压吸气管穿过所述罩体并进入罩体所形成的空间，所述负压吸气管包括用于将所述罩体所形成的空间中的气体吸入所述粒子计数器的吸气口；

所述进气管道位于所述罩体侧壁的内部，并且所述进气管道面向所述密封圈的一端穿过所述罩体进入所述密封圈所形成的空间；所述进气管道在进入所述密封圈所形成空间的一端上包括能够将待测物体表面的待测区域中的粒子吹离待测物体表面的进气口。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述正压输气管和/或负压吸气管的数量为一个或多个。

8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述进气管道的数量为一个或多个。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述进气管道的数量为多个，该装置还包括用于将所述正压输气管与进气管道相连的连接管道。

10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述进气口为能够自动控制开启和关闭的单向阀。

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