CN105803415A - 用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，包括本体、本体盖板、抽气泵及首部气管和尾部气管，所述的抽气泵与首部气管连接，当所述的本体盖板盖在本体上时，所述的两抽气管在所述的接头处形成气密性连接；本发明可以节省用来进行两抽气管拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率。

Description

用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统

技术领域

本发明涉及抽气系统，尤其属于真空抽气系统。

背景技术

目前在真空生产线中，一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，真空腔室内的气体经抽气泵抽出进入两侧的支管,再由两侧支管汇合进入主管,由前级抽气泵排出，这样涉及到抽气泵连接的支管与主管连接的问题，现有技术中往往是主管位于高于真空腔室的上盖，抽气泵连接支管与主管通过金属软管进行连接，这样一方面每个真空腔室在需要打开或盖上上盖时都需要将抽气泵连接的支管与主管的金属软管进行手工拆卸，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样需要花费大量的时间来进行抽气泵连接的支管与主管的金属软管的拆装工作，从而大大影响了生产效率，而且也浪费了大量的能源，不仅造成生产成本大大提高，而且也不利于环保；另一方面，抽气泵连接的支管与主管管内真空度较高，对连接处的密封要求较高，现有技术的设置往往导致连接处漏气。

发明内容

本发明的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、安装方便、气密性能好、不容易漏气的用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统。

本发明的目的可以通过采取以下技术方案达到：

一种用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，包括本体、本体盖板、抽气泵、首部气管和尾部气管组成，所述抽气泵固定在本体盖板上，所述的抽气泵与首部气管一端连接，首部气管和尾部气管一端都具有与水平面平行的首部气管接头和尾部气管接头，首部气管接头水平面与本体上表面平齐或低于本体上表面，当所述的本体盖板盖在本体上时，所述的首部气管和尾部气管在所述首部气管接头和尾部气管接头处形成气密性连接。

作为本发明专利的优选实施例，所述的尾部气管通过金属软管与首部气管接头连接，所述的首部气管接头沿圆周方向有圆环型槽，圆环型槽内放置有气密封垫，所述的尾部气管通过金属软管与尾部气管接头连接，当所述的本体盖板盖在本体上时,首部气管接头和尾部气管接头形成气密性连接。并且首部气管接头和尾部气管接头结合面与本体和本体盖板结合面平齐。

与现有技术相比较，本发明具有以下优点：

一、采用本发明专利用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，拆装本体盖板时不需要人工来拆装尾部气管与首部气管的连接装置，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样可以节省用来进行首部气管与尾部气管的拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率。

二、由于本发明专利泵用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统使得与尾部气管连接的首部气管接头水平，当所述的本体盖板盖在本体上时,首部气管接头靠重力的作用形成气密性连接，而且在抽真空的过程中，由于尾部气管和首部气管都具有一定的真空度，这样首部气管接头和尾部气管接头靠大气压力自然形成更为紧固的密封。

附图说明

图1是本发明用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统的整体结构图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细描述。

如图1所示，本发明用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统包括本体2、本体盖板1、抽气泵3、首部气管4和尾部气管5组成，尾部气管5低于本体盖板1，尾部气管5通过金属软管6与首部气管接头7连接，首部气管接头7沿圆周方向有圆环型槽，圆环型槽内放置有气密封垫，所述的首部气管4通过金属软管8与尾部气管接头9连接，当所述的本体盖板盖1盖在本体2上时,由于尾部气管接头9和首部气管接头7结合面与本体和本体盖板结合面平行即与水平面平行，尾部气管接头7依靠首部气管4及本体盖板1的重力压在首部气管接头7上，同时，首部气管接头7沿圆周方向有圆环型槽，圆环型槽内放置有气密封垫，因此，首部气管接头7和第尾部气管接头9不需要任何的机械连接即可形成气密性连接,使得吊装本体盖板非常方便，这样，对于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，可以节省用来进行尾部气管5与首部气管4拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，而且也有利于环保。

同时，在抽空的过程中，首部气管4和尾部气管5具有一定的真空度，首部气管接头7和尾部气管接头9的接触面靠大气的压力会越吸越紧，不会产生漏气的问题，这样，很好地解决了目前现有技术的容易漏气的难题。

以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,因此，依本发明申请专利范围所作的等同变化,仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (2)

1.一种用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，其特征在于：包括本体、本体盖板、抽气泵、首部气管和尾部气管组成，所述抽气泵固定在本体盖板上，所述的抽气泵与首部气管一端连接，首部气管和尾部气管一端都具有与水平面平行的首部气管接头和尾部气管接头，首部气管接头水平面与本体上表面平齐或低于本体上表面，当所述的本体盖板盖在本体上时，所述的首部气管和尾部气管在所述的首部气管接头处和尾部气管接头形成气密性连接。

2.根据权利要求1所述的抽气泵用于真空镀膜生产线的全自动高效真空系统，其特征在于所述的尾部气管通过金属软管与首部气管接头连接，所述的首部气管接头沿圆周方向有圆环型槽，圆环型槽内放置有气密封垫，所述的尾部气管通过金属软管与尾部气管接头连接，当所述的本体盖板盖在本体上时,首部气管接头和尾部气管接头形成气密性连接。