CN202048001U

CN202048001U - 一种分子泵真空抽气装置

Info

Publication number: CN202048001U
Application number: CN2010206227675U
Authority: CN
Inventors: 苏贵方
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2010-11-23
Filing date: 2010-11-23
Publication date: 2011-11-23
Anticipated expiration: 2020-11-23

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵真空抽气装置，包括真空腔体2、真空腔体盖板2、分子泵3、抽气管A4和抽气管B6组成，所述的分子泵3可拆卸地连接在真空腔体盖板2上，所述的分子泵3与抽气管A4连接，抽气管A4和B6一端都具有有与水平面平行的法兰，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的抽气管A4和B6在所述的法兰处形成气密性连接；本实用新型可以节省用来进行抽气管A4与抽气管B6的拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，提高设备的利用率，而且也有利于环保。

Description

一种分子泵真空抽气装置

技术领域

本实用新型涉及真空抽气装置，尤其属于真空镀膜生产线中的分子泵真空抽气装置。

背景技术

目前在真空镀膜生产线中，一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，真空腔室内的气体经分子泵抽出进入两侧的支管，再由两侧支管汇合进入主管，由前级真空泵排出，这样涉及到分子泵连接的支管与主管连接的问题，现有技术中往往是主管位于高于真空腔室的上盖，分子泵连接支管与主管通过波纹软管进行连接，这样一方面每个真空腔室在需要打开或盖上上盖时都需要将分子泵连接的支管与主管的波纹软管进行手工拆卸，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样需要花费大量的时间来进行分子泵连接的支管与主管的波纹软管的拆装工作，从而大大影响了生产效率，而且也浪费了大量的能源，不仅造成生产成本大大提高，而且也不利于环保；另一方面，分子泵连接的支管与主管管内真空度较高，对连接处的密封要求较高，现有技术的设置往往导致连接处漏气。

实用新型内容

本实用新型的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、适用范围广、安装方便的分子泵真空抽气装置。

本实用新型的目的可以通过采取以下技术方案达到：

一种分子泵真空抽气装置，包括真空腔体、真空腔体盖板、分子泵、抽气管A和抽气管B组成，所述的分子泵可拆卸地连接在真空腔体盖板上，所述的分子泵与抽气管A连接，抽气管B和A一端都具有与水平面平行的法兰，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的抽气管A和B在所述的法兰处形成气密性连接。

作为本实用新型专利的优选实施例，所述的抽气管B通过波纹软管与法兰B连接，法兰B固结在真空腔体上，法兰B沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，所述的抽气管A通过波纹软管与法兰A连接，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，法兰B和法兰A形成气密性连接，并且法兰A和法兰B结合面与真空腔体和真空腔体盖板结合面平齐。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：

一、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利分子泵真空抽气装置，拆装真空腔体盖板时不需要人工来拆装抽气管A与抽气管B的连接装置，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样可以节省用来进行抽气管A与抽气管B的拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，而且也有利于环保。

二、由于本实用新型专利分子泵真空抽气装置使得与抽气管B连接的法兰B水平，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，法兰B和法兰A连接处靠重力的作用形成气密性连接，而且在抽真空的过程中，由于抽气管A和抽气管B都具有一定的真空度，这样法兰B和法兰A靠大气压力自然形成更为紧固的密封，因此，解决了现有技术的设置往往导致连接处漏气的难题。

附图说明

图1是现有技术分子泵真空抽气装置的整体结构图。

图2是本实用新型分子泵真空抽气装置的整体结构图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细描述。

如图1所示，现有技术中分子泵真空抽气装置包括真空腔体2、真空腔体盖板1、分子泵3、抽气管A4和抽气管B6组成，抽气管B6高于真空腔体盖板1，抽气管A4通过波纹软管I5与抽气管B6用手工进行机械连接。

如图2所示，本实用新型分子泵真空抽气装置包括真空腔体2、真空腔体盖板1、分子泵3、抽气管A4和抽气管B6组成，抽气管B6低于真空腔体盖板1，抽气管B6通过波纹软管II8与法兰B7连接，法兰B7沿圆周方向有凹槽(图中为示)，凹槽内放置有密封胶圈(图中为示)，所述的抽气管A4通过波纹软管I5与法兰II9连接，当所述的真空腔体盖板盖1盖在真空腔体2上时，由于法兰II9和法兰B7结合面与真空腔体和真空腔体盖板结合面平行即与水平面平行，法兰I6依靠抽气管A4及真空腔体盖板1的重力压在法兰B7上，同时，法兰B7沿圆周方向有凹槽(图中为示)，凹槽内放置有密封胶圈(图中为示)，因此，法兰B7和法兰II9不需要任何的机械连接即可形成气密性连接，使得吊装真空腔体盖板非常方便，这样，对于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，可以节省用来进行抽气管B6与抽气管A4拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，而且也有利于环保。

同时，在抽空的过程中，抽气管A4和抽气管B6具有一定的真空度，法兰B7和法兰II9的接触面靠大气的压力会越吸越紧，不会产生漏气的问题，这样，很好地解决了目前现有技术的容易漏气的难题。

[0016] 以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此，依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims

1.一种分子泵真空抽气装置，包括真空腔体、真空腔体盖板、分子泵、抽气管A和抽气管B组成，所述的分子泵可拆卸地连接在真空腔体盖板上，所述的分子泵与抽气管A连接，其特征在于：抽气管B和A一端都具有有与水平面平行的法兰，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的抽气管A和B在所述的法兰处形成气密性连接。

2.根据权利要求1所述的分子泵真空抽气装置，其特征在于所述的抽气管B和抽气管A的法兰连接处与真空腔体和真空腔体盖板结合面平齐。

3.根据权利要求1所述的分子泵真空抽气装置，其特征在于所述的抽气管B通过波纹软管与法兰B连接，所述的法兰B沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，所述的抽气管A通过波纹软管与法兰A连接，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，法兰B和法兰A形成气密性连接。