CN202846475U

CN202846475U - 拆卸装置

Info

Publication number: CN202846475U
Application number: CN 201220531685
Authority: CN
Inventors: 许亮
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2012-10-17
Filing date: 2012-10-17
Publication date: 2013-04-03
Anticipated expiration: 2022-10-17

Abstract

本实用新型提供一种拆卸装置，至少包括支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件。本实用新型的拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本实用新型设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。

Description

拆卸装置

技术领域

本实用新型涉及一种拆卸装置，特别是涉及一种用于拆卸沉积设备零部件的拆卸装置。

背景技术

薄膜沉积的方法主要分为物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）和化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）两大类。其中，化学气相沉积(Chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相沉积因其工艺较为简单，不需要高真空、便于制备复合产物、沉积速率高，以及沉积的各种薄膜具有良好的阶梯覆盖性能等优点，在半导体器件的制造中被广泛采用。

化学气相沉积设备（CVD设备）中的薄膜沉积是在反应室中进行的，且反应室中存在必不可少的加热部件（heater block），主轴和转动轴分别位于该加热部件的上方及下方，如图1所示，转动轴5上表面覆盖有具有凸缘61的蘑菇状轴连接件6，且该轴连接件6位于所述加热部件中形成的深孔中，所述主轴与转动轴通过螺钉固定于该位于深孔的轴连接件上，并通过该轴连接件进行连接。根据零件的维护检查要求，需定期对安装于深孔中的零件进行拆卸检查或加以更换，尤其是位于加热部件深孔中的轴连接件。

但是，该轴连接件由于直接位于所述反应腔中，在CVD设备的反应腔进行成膜工作之后，所述轴连接件容易同时被覆盖膜，加大了拆卸该轴连接件的难度。

该轴连接件的传统拆卸方法是使用大力钳夹持该轴连接件凸缘的侧面并做向上牵引运动，不过，由于大力钳与该轴连接件凸缘的侧面和下表面相接触，则使用大力钳时，不仅对该轴连接件施加了沿转动轴心方向的向上的牵引力，同时对所述轴连接件及位于其下的转动轴不可避免地施加了垂直于转动轴轴心方向的水平力，该水平力很容易造成位于该轴连接下的转动轴的变形或轴心偏移。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种拆卸装置，用于解决现有技术中拆卸覆盖转动轴的轴连接件时易导致转动轴变形或轴心偏移的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种拆卸装置，所述拆卸装置至少包括：

支撑部件、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件；

所述支撑部件包括多个等高的支撑纵杆及位于各该支撑纵杆顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面，其中，所述支撑面中开设有一具有内螺纹的通孔；

所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓、连接于所述螺栓下部的两个环形固定垫片、及位于所述支撑面之上且连接于所述螺栓的手柄；

所述拔卸部件包括套设于所述螺栓且卡合于两个所述固定垫片之间的水平架、一端连接于所述水平架且在所述水平架中可水平调整连接位置的多个纵向杆体、及连接于各该纵向杆体的另一端且与各该纵向杆体的连接角度可调的钩体部。

可选地，所述支撑面背面设有一限制所述环形固定垫片向上移动的限位件。

可选地，所述限位件为套设于所述螺栓上的中空筒状结构，且所述限位件的直径小于所述环形固定垫片的外圆直径。

可选地，所述支撑面上表面设有一环形缓冲垫片，且所述螺栓穿设于所述环形缓冲垫片中。

可选地，所述螺栓下部沿其横截面方向开设有与所述环形固定垫片匹配的两个平行的环形槽；所述环形固定垫片为两部分，一紧固件将所述两部分环形固定垫片连接且使其固定于所述环形槽中。

可选地，所述环形固定垫片设有与所述螺栓的外螺纹啮合的内螺纹，且所述的环形固定垫片与螺栓通过螺纹连接固定于所述螺栓的下部。

可选地，所述水平架为平面板体，且所述水平架的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的多个凹槽的，各该纵向杆体的一端连接于水平架的各该凹槽中。

可选地，所述水平架为位于同一平面、且一端相互连接形成有连接部的多脚架，所述螺栓穿设于多脚架的连接部，所述多脚架的每个脚部的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的凹槽，各该纵向杆体的一端连接于与水平架的各该凹槽中。

可选地，各该纵向杆体通过穿设于所述水平架且旋紧于所述纵向杆体的紧固件固定于各该凹槽中。

可选地，所述钩体部通过旋紧所述的钩体部至纵向杆体的紧固件固定预调整的角度。

如上所述，本实用新型的拆卸装置，具有以下有益效果：由于该拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本实用新型设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。

附图说明

图1显示为CVD设备中轴连接件的剖视图。

图2显示为本实用新型拆卸装置的俯视图。

图3和图4显示为图2沿A-A方向的剖视图，其中，图3为旋转升降部件降至最低的情况，图4为旋转升降部件升高到最高的情况。

图5a显示为本实用新型拆卸装置中水平架为四脚架的俯视图，其中，在所述水平架中心上方配有一环形固定垫片。

图5b显示为本实用新型拆卸装置中水平架为三脚架的俯视图，其中，在所述水平架中心上方配有一环形固定垫片。

元件标号说明

1支撑部件

11支撑纵杆

12支撑面

13固定脚

14限位件

21螺栓

22环形固定垫片

23手柄

3拔卸部件

31水平架

32纵向杆体

33钩体部

4环形缓冲垫片

5转动轴

6轴连接件

61凸缘

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图2至图5b。须知，本实用新型的拆卸装置说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

位于CVD设备加热部件中心深孔处的轴连接件的传统拆卸方法，是使用大力钳夹持该轴连接件凸缘的侧面并做向上牵引运动，不过，由于大力钳与该轴连接件凸缘的侧面和下表面相接触，则使用大力钳时，不仅对该轴连接件施加了沿转动轴心方向的向上的牵引力，同时对所述轴连接件及位于其下的转动轴不可避免地施加了垂直于转动轴心方向的水平力，该水平力很容易造成位于该轴连接下的转动轴的变形或轴心偏移。

有鉴于此，本实用新型提供了一种拆卸装置，由于该拆卸装置中拔卸部件的钩体部只与该轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本实用新型设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。以下将详细阐述本实用新型的拆卸装置的实施方式，使本领域技术人员不需要创造性劳动即可理解本实用新型的拆卸装置。

如图2至图5b所示，本实用新型提供一种拆卸装置，所述拆卸装置至少包括支撑部件1、穿设于所述支撑部件内的旋转升降部件以及与所述旋转升降部件连接的拔卸部件3。

所述支撑部件1包括多个等高的支撑纵杆11及位于各该支撑纵杆11顶端同一侧且与各该支撑纵杆固定连接的支撑面12，其中，所述支撑面12中开设有一具有内螺纹的通孔（未标识）。需要指出的是，为了更好的固定和支撑，各该支撑纵杆11的底端还连接有固定脚13，所述固定脚13为吸盘或可夹持在一固定面上的夹持结构。各该支撑纵杆11和所述支撑面12的材料为不锈钢、铁或铝等。

在本实施例中，如图2至图4所示，所述，各该支撑纵杆11和所述支撑面12的材料为不锈钢；各该支撑纵杆11穿设于所述支撑面12中，各该支撑纵杆11顶端暴露于所述支撑面12之上，且各该支撑纵杆11与所述支撑面12通过螺纹连接并通过螺母进一步固定；所述支撑纵杆11为4个，且以所述支撑面12的中心呈中心对称分布于所述支撑面12的角部附近，但并不局限于此，所述支撑纵杆11的个数还可以为3个、5个等；所述固定脚13为吸盘。

所述旋转升降部件包括穿设于所述通孔内、设有与所述通孔内螺纹啮合的外螺纹的螺栓21、连接于所述螺栓21下部的两个环形固定垫片22、及位于所述支撑面12之上且连接于所述螺栓21的手柄23；所述螺栓21、环形固定垫片22和手柄23的材料为不锈钢、铁或铝等。

在本实施例中，如图2至图4所示，所述手柄23穿设于所述螺栓21的顶部，其中，所述螺栓21的顶部与螺栓21一体形成，所述手柄23两端设有管帽，所述手柄23做水平的圆周运动时带动所述螺栓21及环形固定垫片22同步进行旋转式的升降运动；两个所述环状固定垫片22之间具有一定的距离，以使所述拔卸部件3与旋转升降部件通过两个所述环状固定垫片22进行连接；所述螺栓21、环形固定垫片22和手柄23的材料为不锈钢。

需要指出的是，两个所述环形固定垫片22与所述螺栓21的连接方式为螺纹连接或卡合连接。其中，当螺纹连接时，所述环形固定垫片22设有与所述螺栓21的外螺纹啮合的内螺纹，且所述的环形固定垫片22与螺栓21通过螺纹连接固定于所述螺栓的下部；当卡合连接时，所述螺栓21下部沿其横截面方向开设有与所述环形固定垫片22匹配的两个平行的环形槽，且每个所述环形固定垫片22为两部分，一紧固件将所述两部分环形固定垫片连接且使其固定于所述环形槽中，此时，所述环形固定垫片22的内圆直径小于所述螺栓21的直径，二者的直径差为环形槽的深度，换言之，所述环形固定垫片22的两部分经连接后，刚好卡合于所述螺栓21的环形槽中。本实施例中，所述环形固定垫片22与所述螺栓21采用上述螺纹连接的方式进行连接固定。

需要说明的是，所述支撑面12背面还设有一限制所述环形固定垫片22向上移动的限位件14。具体地，在本实施例中，如图3和图4所示，所述限位件14为套设于所述螺栓21上的中空筒状结构，且所述限位件14的直径小于所述环形固定垫片22的外圆直径。

需要进一步说明的是，在本实施例中，如图2至图4所示，所述支撑面12上表面设有一环形缓冲垫片4，且所述螺栓21穿设于所述环形缓冲垫片4中，换言之，所述螺栓21降至最低时在螺栓21的螺帽下表面和支撑面12的上表面之间存在与二者直接接触的环形缓冲垫片4，以起到缓冲作用。其中，所述环形缓冲垫片4的材料为镍、铁或不锈钢等，在本实施例中，所述环形缓冲垫片4为镍。

所述拔卸部件3包括套设于所述螺栓21且卡合于两个所述固定垫片22之间的水平架31、一端连接于所述水平架31且在所述水平架31中可水平调整连接位置的多个纵向杆体32、及连接于各该纵向杆体32的另一端且与各该纵向杆体32的连接角度可调的钩体部33，其中，所述水平架31的厚度与两个所述环状固定垫片22之间的距离相匹配，以使所述水平架31卡合于两个所述环状固定垫片22之间；所述纵向杆体32借助所述旋转升降部件调整其纵向升降位置；所述水平架31、纵向杆体32和钩体部33的材料为不锈钢、铁或铝等。在本实施例中，所述纵向杆体32为4个，但并不局限于此，所述纵向杆体32的个数还可以为3个、5个等；所述水平架31、纵向杆体32和钩体部33的材料为不锈钢。

需要说明的是，所述水平架31套设于所述螺栓21外，但所述水平架31并不与所述螺栓21相接触，以减少二者的摩擦，且所述水平架31可为平面板体或位于同一平面的多脚架：

当所述水平架31为平面板体时，所述水平架31的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的多个凹槽的，各该纵向杆体32的一端连接于水平架31的各该凹槽中，进一步，为了使拔卸部件3施加的向上牵引力均匀分布，所述螺栓21穿设于平面板体的所述水平架31的中心，所述多个凹槽以螺栓21的中心轴呈中心对称分布，从而，各该纵向杆体32以螺栓21的中心轴呈中心对称分布；

当所述水平架31为位于同一平面、且一端相互连接形成有连接部的多脚架时，所述多脚架的每个脚部以所述连接部为中心呈放射状分布，所述螺栓21穿设于多脚架（水平架31）的连接部，所述多脚架（水平架31）的每个脚部的下表面开设有与各该纵向杆体32相匹配的凹槽，各该纵向杆体32的一端连接于多脚架（水平架31）的各该凹槽中，进一步，为了使拔卸部件3施加的向上牵引力均匀分布，所述螺栓21穿设于所述多脚架的连接部中心，且所述多脚架的每个脚部以螺栓21的中心轴呈中心对称分布。

需要进一步说明的是，无论所述水平架31为平面板体或位于同一平面的多脚架，各该纵向杆体32均通过穿设于所述水平架31且旋紧于所述纵向杆体32的紧固件固定于各该凹槽中，通过调整所述纵向杆体32在凹槽中的位置以调整所述纵向杆体32的水平位置。

在本实施例中，如图5a所示，所述水平架31为位于同一平面的、且一端相互连接形成有连接部的四脚架，具有四个以所述连接部为中心呈放射状分布的脚部，但所述多脚架并不局限与此，在另一实施例中，如图5b所示，所述多脚架为三脚架，且三个脚部以所述连接部为中心呈放射状分布。

所述钩体部33通过旋紧所述的钩体部33至纵向杆体32的紧固件固定预调整的角度，从而使钩体部与蘑菇状轴连接件6的凸缘下表面能够更好地贴合，其中，所述轴连接件6覆盖于转动轴5上表面。

为使本领域技术人员进一步理解本实用新型的拆卸装置的实施方式，以下将详细说明本实用新型的拆卸装置连接步骤及工作过程：

1）连接支撑部件1:将固定脚13连接与支撑纵杆11上，并将4个支撑纵杆11通过螺纹连接固定于支撑面12的角部附近，调整各该支撑纵杆11与支撑面12的连接位置并通过螺母进一步固定该位置，以保证所述支撑面12位于一水平面上；

2）将旋转升降部件连接至支撑部件1：将环形缓冲垫片4放置于所述支撑面12的上表面，且所述环形缓冲垫片4的中心孔与所述通孔位置相对应，然后使所述螺栓21穿过所述环形缓冲垫片4及所述通孔，而后从螺栓底部分别将一个环形固定垫片22连接于所述螺栓21的下部，之后，将手柄穿设于所述螺栓21的顶部；

3）将拔卸部件3连接至旋转升降部件：将所述水平架31从所述螺栓21的底部套装于所述螺栓21上，然后，将另一环形固定垫片22从所述螺栓21的底部连接与所述螺栓21的下部，使所述水平架31卡合于两个固定于螺栓21下部的环形固定垫片之间，而后，将所述纵向杆体32的一端连接至所述水平架31的凹槽中，并用紧固件固定其位置，之后，将所述钩体部33连接至所述纵向杆体32的另一端。

使用本实施例的拆卸装置，对CVD设备中位于加热部件深孔中的蘑菇状轴连接件6进行拆卸时：先将所述支撑部件1固定于加热部件上，并调整所述拔卸部件3中钩体部33与纵向杆体32之间的角度、水平调整所述纵向杆体32与水平架31的连接位置，以使所述拔卸部件3可通过旋转升降部件下降至所述加热部件的深孔中；而后，如图3所示，通过旋转升降部件调整钩体部33和纵向杆体32的纵向高度位置、水平调整所述纵向杆体32与水平架31的连接位置、并且调整钩体部33与纵向杆体32之间的角度，以使所述拔卸部件3的钩体部33可与所述轴连接件6凸缘的下表面贴合；之后，使用手柄使所述旋转升降部件上升，同时带动所述拔卸部件3向上升，此时所述钩体部33对所述轴连接件6施加一向上的牵引力，从而使所述轴连接件6脱体位于其下的转动轴5，如图4所示。

综上所述，本实用新型的拆卸装置，由于其拔卸部件的钩体部只与轴连接件的凸缘下表面接触，因此通过拆卸装置的旋转部件及拔卸部件对该轴连接件施加向上牵引力时，避免了对该轴连接件及位于其下的转动轴施加垂直于转动轴轴心方向的水平力，进而消除了对转动轴变形或轴心偏移的影响，同时，本实用新型设计简单，安装方便，还可以灵活调整拔卸部件的水平及纵向高度位置，使拆卸轴连接件省时省力。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims

1.一种拆卸装置，用于将覆盖于转动轴上表面的蘑菇状轴连接件拆卸下来，其特征在于，所述拆卸装置至少包括：

2.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：所述支撑面背面设有一限制所述环形固定垫片向上移动的限位件。

3.根据权利要求2所述的拆卸装置，其特征在于：所述限位件为套设于所述螺栓上的中空筒状结构，且所述限位件的直径小于所述环形固定垫片的外圆直径。

4.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：所述支撑面上表面设有一环形缓冲垫片，且所述螺栓穿设于所述环形缓冲垫片中。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的拆卸装置，其特征在于：所述螺栓下部沿其横截面方向开设有与所述环形固定垫片匹配的两个平行的环形槽；所述环形固定垫片为两部分，一紧固件将所述两部分环形固定垫片连接且使其固定于所述环形槽中。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的拆卸装置，其特征在于：所述环形固定垫片设有与所述螺栓的外螺纹啮合的内螺纹，且所述的环形固定垫片与螺栓通过螺纹连接固定于所述螺栓的下部。

7.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：所述水平架为平面板体，且所述水平架的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的多个凹槽的，各该纵向杆体的一端连接于水平架的各该凹槽中。

8.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：所述水平架为位于同一平面、且一端相互连接形成有连接部的多脚架，所述螺栓穿设于多脚架的连接部，所述多脚架的每个脚部的下表面开设有与各该纵向杆体相匹配的凹槽，各该纵向杆体的一端连接于与水平架的各该凹槽中。

9.根据权利要求7或8所述的拆卸装置，其特征在于：各该纵向杆体通过穿设于所述水平架且旋紧于所述纵向杆体的紧固件固定于各该凹槽中。

10.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于：所述钩体部通过旋紧所述的钩体部至纵向杆体的紧固件固定预调整的角度。