CN202824030U - 一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，由浸酸间、过渡舱、鼓泡浸水槽间、超声波浸泡清洗间、耐酸隔离门、PLC控制系统、变频控制系统、光电传感器、耐酸传动辊道、除雾系统等组成。本设备在PLC控制下，通过光电传感器检测定位，石英坩埚在变频电机带动下，在传动辊道上分别经过浸酸间通过丝杠升降台将石英坩埚浸入酸槽，鼓泡槽，超声波清洗槽、过渡舱、喷水间，完成对石英坩埚表面渣滓的清洗，除雾系统可以及时吸除此过程中产生的酸雾和水雾，在提高工作效率的同时也避免了对人身的伤害。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚清洗的自动化设备，尤其是一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备。
背景技术
目前石英坩埚生产工艺流程中，坩埚酸洗过程多为人工搬运，酸池浸泡方式；冲洗过程则是靠小型冲淋设备进行冲洗。主要缺点有以下几点：
1、坩埚人工搬运，安全系数不高，工作效率不高。
2、酸池浸泡清洗对人造成危险度较大。
3、酸洗过程，酸浓度不好监测，易造成浪费。
实用新型内容
发明目的：针对现有技术的不足，申请人在施工中经过长期的实践摸索，设计了一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备。
技术方案：为了实现上述发明目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，本设备通过PLC自动完成整个设备控制，同时通过人机画面达到人对自动控制过程的监控。整体结构包括坩埚装载单元、纯水鼓泡槽、氢氟酸浸泡槽、超声波清洗槽、喷水间、PLC控制系统、变频控制系统、光电传感器、传送平台、前隔离升降门、后隔离升降门和纯水鼓泡槽隔离升降门及排风除雾系统组成，整个清洗工艺流程为自动控制，操作者通过监控画面完成对过程的监控，所述传送平台、氢氟酸浸泡槽和喷水间均为耐酸材料制做的封闭隧道空间。所述PLC控制系统采用西门子s7-300系列PLC控制，人机画面通过以太网通讯，完成人机监控和过程自动。所述坩埚在整个流程中位置的检测通过光电传感完成，并传送给PLC控制系统。整个控制过程中，各个传感器、电机、隔离门以及喷酸压力、浓度等状态和参数，均由人机画面监控和显示。
所述传动平台由耐酸传动辊道组成，进入纯水鼓泡槽、氢氟酸浸泡槽、超声波清洗槽过程中采用升降平台将装入夹具的石英坩埚沉入水槽中。所述排风除雾系统由风机通过隧道上部的管道吸除流程中产生的雾气。所述纯水鼓泡槽、氢氟酸浸泡槽、超声波清洗槽、喷水间由耐酸PVC材料制做，喷水间采用上下喷淋方式，坩埚在清洗室中来回往复移动清洗。
有益效果：本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：1、全部传动过程 由变频器控制变频电机传动运输，传送过程平稳，避免人为搬运造成坩埚损坏；2、浸酸、喷水过程在密封空间中完成，同时有雾气回收系统，减少对人和环境的危害；3、整个控制过程中的信号可以通过PLC采集到监控画面，方便操作控制和设备维护；4、酸浓度采用传感器检测，通过HMI画面显示，可有效监控容器中酸的浓度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，通过一个最佳实施例，对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。为了叙述的方便和语言的简练，省去清水喷淋间的描述，喷水间采用上下喷淋方式，坩埚在清洗室中来回往复移动清洗。
如图1所示，一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，包括坩埚装载单元1、纯水鼓泡槽9、氢氟酸浸泡槽8、超声波清洗槽10、喷水间、PLC控制系统、变频控制系统、光电传感器、传送平台6、前隔离升降门2、后隔离升降门4和纯水鼓泡槽隔离升降门5及排风除雾系统7，清洗工艺流程为自动控制，操作者通过监控画面完成对过程的监控，所述传送平台6、氢氟酸浸泡槽8和喷水间均为耐酸材料制做的封闭隧道空间。PLC控制系统采用西门子s7-300系列PLC控制，人机画面通过以太网通讯，完成人机监控和过程自动。所述坩埚在整个流程中位置的检测通过光电传感完成，并传送给PLC。传送平台6由耐酸传动辊道组成，进入纯水鼓泡槽9、氢氟酸浸泡槽8、超声波清洗槽10过程中采用升降平台3将装入夹具的石英坩埚沉入水槽中。排风除雾系统7由风机通过隧道上部的管道吸除流程中产生的雾气。
所述纯水鼓泡槽9、氢氟酸浸泡槽8、超声波清洗槽10、喷水间由耐酸PVC材料制做。
实际工作时，将石英坩埚装入坩埚装载单元1后进入装载缓冲区，等前隔离升降门2打开后，坩埚通过传送平台6送达指定位置，升降平台3启动将坩埚沉入氢氟酸浸泡槽8中浸泡，结束浸泡时间后，通过传送平台6到达纯水鼓泡槽9，平台启动将坩埚沉入纯水鼓泡槽9中浸泡预订时间后，平台提升回到原始位置，传送平台6转动，将坩埚输送到超声波清洗槽10上执行上述相同步骤。
最后坩埚被输送至中间转换平台，操作员将坩埚从夹具中取出反扣平放在输送平台上，坩埚开始传送进入喷淋清洗室，平放后的坩埚依次经过三道上下喷淋 冲洗后被操作员取出，这样坩埚就清洗完毕。
Claims (6)
1.一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，包括坩埚装载单元（1）、纯水鼓泡槽（9）、氢氟酸浸泡槽（8）、超声波清洗槽（10）、喷水间、PLC控制系统、变频控制系统、光电传感器、传送平台（6）、前隔离升降门（2）、后隔离升降门（4）和纯水鼓泡槽隔离升降门（5）及排风除雾系统（7），其特征在于：清洗工艺流程为自动控制，操作者通过监控画面完成对过程的监控，所述传送平台（6）、氢氟酸浸泡槽（8）和喷水间均为耐酸材料制做的封闭隧道空间。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，其特征在于：所述PLC控制系统采用西门子s7-300系列PLC控制，人机画面通过以太网通讯，完成人机监控和过程自动。
3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，其特征在于：所述坩埚在整个流程中位置的检测通过光电传感完成，并传送给PLC。
4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，其特征在于：所述传送平台（6）由耐酸传动辊道组成，进入纯水鼓泡槽（9）、氢氟酸浸泡槽（8）、超声波清洗槽（10）过程中采用升降平台（3）将装入夹具的石英坩埚沉入水槽中。
5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，其特征在于：所述排风除雾系统（7）由风机通过隧道上部的管道吸除流程中产生的雾气。
6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚浸酸清洗及喷淋清洗一体自动化设备，其特征在于：所述纯水鼓泡槽（9）、氢氟酸浸泡槽（8）、超声波清洗槽（10）、喷水间由耐酸PVC材料制做，喷水间采用上下喷淋方式，坩埚在清洗室中来回往复移动清洗。
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