CN112452986A - 一种坩埚自动清洗设备 - Google Patents

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CN112452986A CN202011330030.0A CN202011330030A CN112452986A CN 112452986 A CN112452986 A CN 112452986A CN 202011330030 A CN202011330030 A CN 202011330030A CN 112452986 A CN112452986 A CN 112452986A
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孟宁宁
李愫
李胤冉
唐俊生
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Kunshan Silicon Rui Automation Equipment Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种坩埚自动清洗设备，包括机架、安装板、放置件、真空干燥件、酸洗槽、冷水槽以及喷淋组件；所述机架上设置有底板和上板，所述安装板通过模组与上板活动连接，所述放置件通过上气缸的活塞杆与安装板活动连接，所述放置件位于底板的上方，所述酸洗槽位于预洗槽和冷水槽之间，所述底板上设置有超声槽和热水槽，所述超声槽位于冷水槽和喷淋槽之间，所述热水槽位于喷淋组件和真空干燥件之间。本发明提供一种坩埚自动清洗设备，降低了清洁的时间，提高了工作效率，提高了清洁的效果，节约了生产成本。

Description

一种坩埚自动清洗设备
技术领域
本发明涉及清洗领域，具体涉及一种坩埚自动清洗设备。
背景技术
石英坩埚是硅生产过程中常用烧结的载具，但是烧结后在石英坩埚上会残留残渣，影响石英坩埚的后期烧结的品质，需要对石英坩埚定期清理。
目前常用的清洗石英坩埚的方法是酸泡法，因为大多数烧结的材料基本上都可以与酸产生反应，但是酸泡法浸泡的时间长，有些渣滓在长时间浸泡后仍然不能清除；现在急需一种坩埚自动化清洗设备。
发明内容
本发明的目的是：提供一种坩埚自动清洗设备，解决以上问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下的技术方案：
一种坩埚自动清洗设备，包括机架、安装板、放置件、真空干燥件、酸洗槽、冷水槽以及喷淋组件；所述机架上设置有底板和上板，所述安装板通过模组与上板活动连接，所述放置件通过上气缸的活塞杆与安装板活动连接，所述放置件位于底板的上方，所述酸洗槽位于预洗槽和冷水槽之间，所述底板上设置有超声槽和热水槽，所述超声槽位于冷水槽和喷淋槽之间，所述热水槽位于喷淋组件和真空干燥件之间。
进一步的，所述放置件与预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件位置相对应，所述放置件通过导向轴与安装板活动连接，所述放置件上设置有放置框、小气缸以及横板，所述超声槽具体为超声波清洗槽。
进一步的，所述放置件位于预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件的上方，所述放置框通过小气缸与横板连接。
进一步的，所述放置框与预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件位置相对应，所述放置框通过竖板与横板连接，所述放置框通过连接轴与竖板活动连接。
进一步的，所述放置框位于预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件的正上方，所述放置框上设置有坩埚和旋转件，所述放置框通过旋转件与小气缸的活塞杆活动连接。
进一步的，所述坩埚位于预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件的上方，所述小气缸的缸体与横板活动连接，所述真空干燥件上设置有进气件和出气件。
进一步的，所述预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽以及真空干燥件的数量不少于一个，所述出气件具体为真空发生器，所述进气件上设置有电磁阀。
进一步的，所述冷水槽和热水槽均有多个，所述进气件通过真空干燥件的腔体与出气件连通。
本发明的有益效果为：提供一种坩埚自动清洗设备，通过机架、安装板、放置件、真空干燥件、酸洗槽、冷水槽以及喷淋组件相互配合使用，实现使用自动化清洗设备代替酸泡法清洗石英坩埚的效果，降低了清洁的时间，提高了工作效率，提高了清洁的效果，节约了生产成本。
附图说明
图1为本发明一种坩埚自动清洗设备的整体结构轴测图。
图2为本发明一种坩埚自动清洗设备的另一整体结构轴测图。
图3为本发明一种坩埚自动清洗设备的整体结构主视图。
图4为图2中A的局部放大图。
图5为图2中B的局部放大图。
图中：1、机架；2、底板；3、上板；4、模组；5、安装板；6、放置件；61、竖板；62、放置框；63、坩埚；64、旋转件；65、小气缸；66、横板；7、上气缸；8、真空干燥件；81、进气件；82、出气件；83、电磁阀；9、热水槽；10、喷淋组件；11、超声槽；12、冷水槽；13、酸洗槽；14、预洗槽。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参考图1至图5，一种坩埚自动清洗设备，包括机架1、安装板5、放置件6、真空干燥件8、酸洗槽13、冷水槽12以及喷淋组件10；所述机架1上设置有底板2和上板3，所述安装板5通过模组4与上板3活动连接，所述放置件6通过上气缸7的活塞杆与安装板5活动连接，用于带动放置框62和其上的石英坩埚63运动，进而实现将石英坩埚63搬运到不同的功能元件处，对石英坩埚63进行清洗和干燥工序，所述放置件6位于底板2的上方，所述酸洗槽13位于预洗槽14和冷水槽12之间，所述底板2上设置有超声槽11和热水槽9，所述超声槽11用于对石英坩埚63进行超声波清洗，所述超声槽11位于冷水槽12和喷淋槽之间，所述喷淋组件10用于对石英坩埚63进行喷淋清洗，所述热水槽9位于喷淋组件10和真空干燥件8之间，所述模组4、上气缸7、真空干燥件8、热水槽9、喷淋组件10、超声槽11、冷水槽12、酸洗槽13以及预洗槽14均与外部控制系统连接。
所述放置件6与预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8位置相对应，所述冷水槽12和热水槽9用于对石英坩埚63进行漂洗，所述放置件6通过导向轴与安装板5活动连接，所述放置件6上设置有放置框62、小气缸65以及横板66，所述超声槽11具体为超声波清洗槽。
所述放置件6位于预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8的上方，所述放置框62通过小气缸65与横板66连接，用于带动放置框62旋转，进而实现带动石英坩埚63旋转。
所述放置框62与预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8位置相对应，所述放置框62通过竖板61与横板66连接，所述放置框62通过连接轴与竖板61活动连接。
所述放置框62位于预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8的正上方，所述放置框62上设置有坩埚63和旋转件64，所述放置框62通过旋转件64与小气缸65的活塞杆活动连接。
所述坩埚63位于预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8的上方，所述小气缸65的缸体与横板66活动连接，所述真空干燥件8上设置有进气件81和出气件82，用于分别对真空干燥件进行通气和抽真空，进而实现清洁和干燥石英坩埚63的目的。
所述预洗槽14、酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、热水槽9以及真空干燥件8的数量不少于一个，所述出气件82具体为真空发生器，用于将真空干燥件8内的气体抽走，所述进气件81上设置有电磁阀83，用于控制向真空干燥件8内通气。
所述冷水槽12和热水槽9均有多个，用于增加工作效率，所述进气件81通过真空干燥件8的腔体与出气件82连通。
本发明的工作原理为：当开始清洗工作前，将需要清洗的石英坩埚63放置于放置框62内，然后开始清洗工序：在外部控制系统的控制下模组4和上气缸7带动放置框62和石英坩埚63到达预洗槽14内对石英坩埚63进行预清洗，在此过程中小气缸65的活塞杆收缩带动通过旋转件64带动放置框62旋转，进而实现翻转石英坩埚63的目的，确保石英坩埚63预清洗的彻底性，预清洗结束后小气缸65的活塞杆复位，进一步的模组4和上气缸7相配合带动石英坩埚63依次进入酸洗槽13、冷水槽12、超声槽11、喷淋组件10以及热水槽9，最后外部辅助机构将石英坩埚63搬运到真空干燥件8内，对石英坩埚63进行抽真空干燥工序，进而在真空干燥件8内清洗后的石英坩埚63被干燥，外部搬运机构将清洗后的石英坩埚63搬运到指定位置处。
上述实施例用于对本发明作进一步的说明，但并不将本发明局限于这些具体实施方式。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：包括机架(1)、安装板(5)、放置件(6)、真空干燥件(8)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)以及喷淋组件(10)；所述机架(1)上设置有底板(2)和上板(3)，所述安装板(5)通过模组(4)与上板(3)活动连接，所述放置件(6)通过上气缸(7)的活塞杆与安装板(5)活动连接，所述放置件(6)位于底板(2)的上方，所述酸洗槽(13)位于预洗槽(14)和冷水槽(12)之间，所述底板(2)上设置有超声槽(11)和热水槽(9)，所述超声槽(11)位于冷水槽(12)和喷淋槽之间，所述热水槽(9)位于喷淋组件(10)和真空干燥件(8)之间。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述放置件(6)与预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)位置相对应，所述放置件(6)通过导向轴与安装板(5)活动连接，所述放置件(6)上设置有放置框(62)、小气缸(65)以及横板(66)，所述超声槽(11)具体为超声波清洗槽。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述放置件(6)位于预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)的上方，所述放置框(62)通过小气缸(65)与横板(66)连接。
4.根据权利要求3所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述放置框(62)与预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)位置相对应，所述放置框(62)通过竖板(61)与横板(66)连接，所述放置框(62)通过连接轴与竖板(61)活动连接。
5.根据权利要求4所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述放置框(62)位于预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)的正上方，所述放置框(62)上设置有坩埚(63)和旋转件(64)，所述放置框(62)通过旋转件(64)与小气缸(65)的活塞杆活动连接。
6.根据权利要求5所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述坩埚(63)位于预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)的上方，所述小气缸(65)的缸体与横板(66)活动连接，所述真空干燥件(8)上设置有进气件(81)和出气件(82)。
7.根据权利要求6所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述预洗槽(14)、酸洗槽(13)、冷水槽(12)、超声槽(11)、热水槽(9)以及真空干燥件(8)的数量不少于一个，所述出气件(82)具体为真空发生器，所述进气件(81)上设置有电磁阀(83)。
8.根据权利要求4所述的一种坩埚自动清洗设备，其特征在于：所述冷水槽(12)和热水槽(9)均有多个，所述进气件(81)通过真空干燥件(8)的腔体与出气件(82)连通。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114887982A (zh) * 2022-05-25 2022-08-12 合肥升滕半导体技术有限公司 一种适用于化学清洗的半自动化清洗线

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